真空閥的制作方法
【專利摘要】本發明涉及一種真空閥(1)，包括：螺栓元件(9a；9b)，其用于將真空閥(1)的第一部件部分(10)機械聯接地連接至第二部件部分(11)。螺栓元件(9a；9b)具有力傳遞表面部分(18)，其布置于具有第一螺紋(14a；14b)的螺紋表面部分(12)和布置于第一氣體區域(5)中用于工具(17)的接合表面部分(15)之間。第一部件部分(10)和第二部件部分(11)能夠通過第一螺紋(14a；14b)和關聯至第二部件(11)的第二螺紋(21a；21b)之間的螺接接合以形狀配合方式機械聯接，該螺接接合通過第一部件(10)中的通孔(20)執行。螺栓元件(9a；9b)具有在螺紋表面部分(12)和接合表面部分(15)之間的密封表面部分(24)。在密封表面部分(24)和第一部件(10)的密封面(25)之間，密封用密封元件(26a；26b)布置成使得第一氣體區域(5)以氣密或者微粒不滲透方式與布置螺紋表面部分(12)的第三氣體區域(27)分離。
【專利說明】真空閥
[0001] 本發明設及一種根據權利要求1的前序部分所述的真空閥W及根據權利要求19的 前序部分所述的用于真空閥的螺栓元件。
[0002] 真空閥通常公知于現有技術的不同實施例，其用于基本氣密地關閉引導通過形成 在閥殼體中的開口的流動路徑。
[0003] 真空閩閥尤其使用在ICW及半導體制造領域，其必須發生在可能不存在污染微粒 的保護氣氛中。作為例子，在用于半導體晶片或者液晶基板的制造設備中，高靈敏度半導體 或者液晶元件依次通過多個處理腔室，布置在處理腔室內的半導體元件借助機加工裝置被 機加工。在處理腔室內的機加工程序期間W及在從處理腔室傳輸至處理腔室期間，高靈敏 度半導體元件必須始終處于保護氣氛中，尤其處于真空中。
[0004] 處理腔室作為例子經由連接通路彼此連接，其中，處理腔室能夠借助真空閩閥打 開W將部件從一個處理腔室傳遞至下一個處理腔室，然后能夠W氣密方式被關閉W實施特 定制造步驟。由于本申請的描述的領域，該類型的閥還稱為真空傳遞閥，由于它們的矩形開 口截面還稱為矩形閩閥。
[0005] 因為使用傳遞閥，尤其在高靈敏度半導體元件的生產中使用傳遞閥，尤其因閥的 致動W及因機械加載閥閉合件會引起粒子生成，閥腔室中自由粒子的數量還必須保持盡可 能低。粒子生成主要是作為例子因金屬間接觸W及磨耗摩擦的結果。
[0006] 取決于特定驅動技術，尤其閩閥（還稱為閥閩或者矩形閩閥）和梭閥之間具有區 另IJ，其中，在現有技術中閥的關閉W及打開通常發生在兩個步驟中。在第一步驟中，閥閉合 件(尤其閉合盤)在閩閥的情形下，作為例子公知于US6,416,037(Geiser)或者公知于US6， 056,266(Blecha)，尤其具有L類型，其線性移位越過大致平行于閥座的開口，或者在梭閥的 情形下，正如作為例子公知于US6，089，537(Olmsted)，其繞樞轉軸線樞轉越過開口，而閉合 盤和閥殼體的閥座之間沒有任何接觸。在第二步驟中，閉合盤借助其閉合側被壓靠閥殼體 的閥座，使得開口 W氣密方式被關閉。例如經由布置在閉合盤的閉合側的密封件或者經由 閥座上的密封圈能夠提供密封效應，所述密封件靠著繞開口運行的閥座被按壓，閉合盤的 閉合側被壓靠所述密封圈。密封件、尤其密封圈能夠被保持和/或硫化在凹槽中。
[0007] 不同的密封設備公知于現有技術，例如US6,629,682B2(Duelli)的例子。作為例 子，用于真空閥中的密封圈W及密封的合適材料是氣化橡膠，還稱為FKM，尤其氣橡膠公知 為商標名稱VhonK，W及還稱為全氣化橡膠，或者簡稱為FFKM。
[0008] 在描述的兩個階段移動中，首先閉合件橫向滑動越過開口而不密封接觸閥座，然 后閉合件大致垂直地被壓靠閥座，除了精確調整流量的可能性之外，描述的兩個階段移動 具有的主要優勢在于，密封件實際上專口地垂直被按壓而無任何密封件的橫向或者縱向加 載。為了該目的，使用單個驅動器或者多個驅動器(例如兩個線性驅動器或者線性驅動器W 及擴散驅動器），單個驅動器能夠使閉合件呈L狀移動。
[0009] 此外，閩閥是公知的，在閩閥中，關閉W及密封操作實際上經由單個線性移動執 行，但是密封幾何形狀使得完全避免橫向加載密封件。該類型的閥作為例子公知為產品名 稱"M0N0VAT系列02和03" W及公知為瑞±哈格的VAT化kimmteiler AG公司的傳遞閥，具體 為矩形插閥。該類型閥的結構W及操作原理作為例子在US4,809,950(Geiser)和US4,881， 717(Geiser)中被描述。
[0010]在運些專利中描述的閥在其殼體中具有密封面，密封面被認為在閥貫通開口的軸 線方向上具有布置于其他部分后面的部分，并且密封面經由連續曲線過渡至橫向向外延伸 的扁平密封面部分，其中，該密封面形成在一件但是具有多個部分，該密封面的假想發生器 平行于閥貫通開口的軸線。
[0011] 在JP6241344(Bu;riida F^mberuto)中提出了用于能夠借助線性移動關閉的該類 型傳遞閥的合適驅動器。該專利中描述的驅動器具有偏屯、安裝的操作桿，用于線性移位連 接桿，閉合件安裝在連接桿上。
[0012] 在上述提到的閥類型的普遍實施例中，閉合件和閥驅動器經由至少一個移位臂 (尤其連接桿或者閥桿)連接。此處，剛性移位臂經由其一個端部剛性地連接至閉合件W及 經由其另一端部剛性地連接至閥驅動器。在大多數閥中，閉合盤借助螺栓連接至至少一個 連接桿。
[0013] CH699258B1描述了一種真空閥，其包括閉合盤和至少一個連接桿，至少一個桿插 座形成在閉合盤中，閉合盤經由接合在桿插座中的連接桿的連接部分可移除地安裝在至少 一個連接桿上。桿插座形成為盲孔，連接桿經由其連接部分插入該盲孔中。閉合盤具有夾緊 元件，夾緊元件W可移位方式突出至盲孔中，并且形成為使得夾緊連接存在于閉合盤和連 接部分之間并且能夠通過夾緊元件的移位被釋放。密封粒子的密封圈布置于盲孔和連接桿 之間，使得防止因夾緊連接產生的粒子離開盲孔，由此在閥腔室中因材料摩擦引起的不期 望粒子的數量保持低，W及使得能夠快速W及舒適地組裝和分解至少一個連接桿上的閉合 盤。
[0014] DE102008061315B4描述了借助相對于閥桿橫向延伸的橫桿將閥板安裝在閥桿上。 橫桿尤其通過螺栓連接在閥桿的中間連接點處，并且尤其借助螺栓至少在布置于中間連接 點的兩側的兩個橫向連接點處連接至閥板。橫桿位于與中間部分的閥板一定距離處，中間 部分包括中間連接點W及在兩側郵連所述連接點的橫桿的部分。借助簡單設計的該安裝， 例如在1°的區域中，借助扭轉橫桿能夠實現閥板相對于閥桿繞與閥桿成直角的樞轉軸線的 特定樞轉運動。因而能夠實現非常簡單的設計。橫桿能夠優選形成為一件，尤其完全由金屬 形成。
[0015] US6471181B2描述了一種類似裝備。連接至閥桿的橫桿包括第一板，第一板具有錐 形開口，用于接收螺接至第一板的閥桿的端部。彈性支承塊在閥桿的連接件的中間點的兩 側附接至第一板，第二板附接至與第一板相對的所述支承塊的側面，所述第二板均螺接至 閥板。借助運些彈性支承塊，能夠繞與閥桿布置成直角的軸線傾斜，使得實現將閥板的密封 件更均勻地壓靠閥座。
[0016] US2008/0066811A1描述了一種真空閥，其中，閥板連接至第一和第二橫桿。橫桿經 由連接構件連接至閥板。連接構件具有連接臂，連接臂在橫桿的縱向方向上在與橫桿的連 接點的兩側延伸，所述連接臂在它們的端部連接至連接肢，連接肢在橫桿的縱向方向上共 同延伸，所述連接肢在橫桿的縱向方向上隔開的多個點上螺接至閥板。結果，實現在橫桿的 縱向方向上更均勻地傳遞力。
[0017] 運些實施例的共同特征是，布置在真空閥的真空區域內的閉合件借助同樣布置在 該真空區域內的至少一個螺栓連接件直接連接至閥驅動器的移位臂，或者尤其經由橫桿間 接連接至閥驅動器的移位臂。
[0018] 真空區域內的螺栓連接件造成的風險公知為虛擬內部真空泄漏，因為當內部閥腔 室被抽空時螺栓連接件的螺紋的特定部分W氣密方式W可變程度隔絕剩余的周圍環境，因 此某些情形下保留在螺紋中的氣體隨著抽空會慢慢泄漏并且污染內部閥腔室。基于該原 因，在現有技術中已經創建了進入螺紋部分的連接通道W及狹槽，由此螺紋被排氣。因而， 在抽空的情形下沒有氣體能夠保留在螺紋中。
[0019] 換句話說，為了避免任何內部氣體區域，在真空閥的情形下進行特定測量，內部氣 體區域布置在真空閥的真空區域內并且被真空區域封閉，尤其借助排放僮孔通過對運些內 部氣體區域進行排氣，因而將它們連接至真空區域。在螺栓連接件的情形下，運借助所描述 的連接通道或者狹槽進行。
[0020] 該有意的螺紋排氣公知于真空閥的真空區域內的螺栓連接件的情形下，并且已經 使用在市場上發現的閥類型中。
[0021] 但是，已經發現，為了避免虛擬內部真空泄漏，該有意創建的螺紋排氣在特定程度 上會是不利的，尤其借助螺栓連接件所連接的部分之間具有期望或者不期望最小相對移 動，因為呈微粒形式的小摩擦粒子產生在螺紋內并且漏出排放通道或者狹槽并且污染閥的 內部。在金屬螺紋時尤其如此。運導致對制造處理的負面影響。但是，在真空區域的常規螺 栓連接件的情形下，螺紋部分的相對移動如此低，使得粒子生成先前被認為是可W忽略的。
[0022] 但是，在一些連接類型的情況下，螺紋的相對移動是不可避免的。尤其在 DE102008061315B4中描述的W上類型的閥中，會導致螺紋中該類型的相對移動W及產生粒 子生成，因為為了能夠繞虛擬樞轉軸線進行樞轉運動，在該閥的情況下存在橫桿的有意彈 性變形。
[0023] 真空閥的真空區域內的螺栓連接件通常造成的風險是，生成不期望的呈微粒形式 的破壞處理的摩擦粒子，它們是螺紋之間的相對移動創建的結果。
[0024] 因此，本發明的目的是提供一種真空閥，其在真空區域中具有螺栓元件，用于將真 空閥的第一部件部分W機械聯接方式連接至第二部件部分，并且還具有適合于該目的的螺 栓元件，借助螺栓元件，在真空區域內，因在螺栓連接件的螺紋中的材料摩擦而產生的摩擦 粒子的數量保持低。
[0025] 該目的通過實現獨立權利要求的特征而實現。能夠從從屬權利要求推論出W可替 換或者有利方式進一步發展本發明的特征。
[0026] 簡而言之，本發明包括一種真空閥，其具有螺栓元件，用于將真空閥的第一部件部 分W機械聯接方式連接至第二部件部分。螺栓元件具有力傳遞表面部分，力傳遞表面部分 在具有第一螺紋的螺紋表面部分W及用于工具的接合表面部分之間，所述接合表面部分布 置在第一氣體區域中。第一部件部分和第二部件部分能夠通過第一螺紋和關聯至第二部件 部分的第二螺紋之間的螺接接合W形狀配合方式機械聯接，所述螺接接合通過第一部件部 分中的通孔來執行。螺栓元件具有螺紋表面部分和接合表面部分之間的密封表面部分。
[0027] 根據本發明，密封用密封元件W運種方式布置于第一部件部分的密封表面部分W 及密封面之間，使得第一氣體區域W密封氣體或者粒子的方式與第=氣體區域分離，螺紋 表面部分布置于第=氣體區域中。
[0028] 為了避免閥內部被產生在布置于閥內部的螺栓連接件的螺紋中的摩擦粒子所污 染，因而采取措施，該措施初始出現看起來與現有技術中的教導相反，根據現有技術的教 導，為了避免虛擬內部真空泄漏應該要對螺紋進行排氣。
[0029] 根據本發明，布置在閥內部的螺栓連接件W氣密或者不透粒子方式借助至少一個 密封件被封裝。因而螺栓連接件的螺接區域W與其余區域氣密或者不透粒子的方式在閥內 部被密封。在真空區域內，因而隔離區域被有意地創建W用于被封裝的螺接連接件，W便防 止粒子離開該區域。
[0030] 根據本發明的真空閥包括閉合件，閉合件尤其形成為閉合板、閉合盤或者形成為 閉合桿。
[0031] 閉合件具有用于氣密地關閉將第一氣體區域連接至第二氣體區域的開孔的閉合 面。該閉合面尤其由閉合件的前側形成。開口尤其形成在閥的閥壁或者殼體中。如果閉合件 關閉開口，那么閉合件分離開口一側的第一氣體區域與開口另一側的第二氣體區域。在閉 合件的打開位置，第一氣體區域和第二氣體區域實際上經由打開開口而彼此連接并且形成 共同氣體區域，但是，下文將考慮運兩個氣體區域，甚至在閉合件的打開位置，它們也作為 幾何上分離的氣體區域，在閉合件的關閉位置，它們彼此在被閉合面橫跨的幾何界面處交 接。
[0032] 真空閥例如形成為傳遞閥，具有尤其大致矩形的開口截面，并且具有平面的、尤其 同樣大致矩形的閉合桿，其中，如上所述，閉合件能夠借助一階段或者兩階段移動而移位。
[0033] 閉合件布置在至少一個移位臂上，移位臂尤其由線性延伸或者W彎曲方式延伸的 連接桿形成，或者通過閥桿形成，并且尤其沿著幾何移位軸線而延伸。
[0034] 為了移位閉合件，驅動單元機械聯接至該移位臂。該驅動單元W運種方式布置及 設計，使得通過借助驅動單元移位所述移位臂，第一氣體區域中的閉合件能夠在打開位置 和關閉位置之間來回移位。因而閉合件能夠在第一氣體區域內移動。在打開位置，閉合件釋 放開口，而在關閉位置，閉合件的閉合面W氣密方式關閉開口，并且W氣密方式分離第一氣 體區域與第二氣體區域。尤其是，閉合面的邊緣部分W氣密方式擱置在圍繞開口的閥座上， 其中，用于產生氣密接觸的密封件固定在該邊緣區域中或者固定在閥座上。
[0035] 真空閥額外地具有螺栓元件，用于將真空閥的第一部件部分W機械聯接方式連接 至第二部件部分，第一部件部分至少局部布置在第一氣體區域中。第一部件部分是真空閥 的部件部分，而第二部件部分還能夠被分配至另一單元(例如真空室）。但是，第二部件部分 也能夠是真空閥的部件部分。第一部件部分或者第二部件部分機械聯接至驅動單元。尤其 是，兩個部件部分中的一個是能夠由驅動單元機械移動或者驅動的部件部分。可替換地，兩 個部件部分中的一個間接或者直接機械聯接至驅動單元的殼體。
[0036] 尤其是，第一部件部分由移位臂形成，第二部件部分由閉合件形成，或者反之亦 然，即第一部件部分由閉合件形成，第二部件部分由移位臂形成，其中，移位臂和閉合件借 助螺栓元件連接。
[0037] 螺栓元件的外表面，即幾何上在外部限定螺栓元件的表面，被分成多個功能部分 和/或結構部分，具體地至少分成螺紋表面部分、接合表面部分W及布置它們之間并且分離 所述螺接W及接合表面部分的力傳遞表面部分。所有表面部分優選繞螺栓元件的第一軸線 環形延伸。
[0038] 繞幾何第一軸線延伸的第一螺紋形成在螺紋表面部分上。該第一螺紋可W是外螺 紋或者內螺紋。螺紋通常理解為意思是異形槽，也即是說螺栓元件中的螺紋圈，其繞螺旋體 內部或外部的柱形壁W螺旋方式連續延伸。
[0039] 接合部形成在接合表面部分上，使得螺栓元件能夠尤其借助工具繞第一軸線旋轉 和/或W形狀配合方式固定而不能繞第一軸線旋轉，所述工具能夠W形狀配合方式接合在 接合部中。布置在第一氣體區域中的接合表面部分能夠作為例子通過內或外多邊形插口 (尤其六邊形或者正方形插口、多齒插口、12點插口或者具有多個倒圓邊緣的插口 W及狹槽 或者十字槽)形成。換句話說，該接合表面部分W運種方式成型，使得繞螺栓元件的第一軸 線的轉矩能夠借助螺栓元件W及接合在該接合表面部分中的接合元件之間的形狀配合接 合被傳遞。例如，該接合元件能夠是工具或者抗旋轉保護器件。
[0040] 力傳遞表面部分布置于螺紋表面部分和接合表面部分之間，至少局部指向沿著第 一軸線延伸的螺栓關閉方向。該力傳遞表面部分作為例子通過徑向向外突出超過第一螺紋 的臺階或者肩部形成。
[0041] 第一部件部分具有沿著第一軸線延伸的通孔，尤其是貫通僮孔。通孔能夠具有任 何截面，尤其具有圓形截面。通孔被接觸面圍繞，尤其被接觸面環形包圍，接觸面至少局部 指向與螺栓關閉方向相反的螺栓打開方向。接觸面和力傳遞表面部分形成用于相互接觸W 及在平行于第一軸線的方向上的力傳遞。
[0042] 第一部件部分和第二部件部分能夠或者通過如下W形狀配合方式機械聯接:通過 通孔進行的螺栓元件的第一螺紋和關聯至第二部件部分的第二螺紋之間的螺接接合；W及 還通過將力傳遞表面部分擱置在第一部件部分的接觸面上。換句話說，第一部件部分和第 二部件部分能夠或者W形狀配合方式借助螺栓元件彼此連接，其中，經由螺栓元件的第一 螺紋和機械聯接至第二部件部分的第二螺紋之間的螺接接合斷開連接。
[0043] 根據本發明，螺栓元件具有密封表面部分。該密封表面部分布置于螺紋表面部分 和接合表面部分之間，包圍第一軸線，并且將螺紋表面部分和接合表面部分彼此分離。密封 表面部分優選相對于第一軸線在軸向上位于螺紋表面部分和接合表面部分之間。
[0044] 第一部件部分具有與接觸面相鄰的包圍所述通孔的密封面。包圍第一軸線的密封 用密封元件布置于螺栓元件的密封表面部分和第一部件部分的密封面之間，使得第一氣體 區域與布置有螺紋表面部分的第=氣體區域分離。換句話說，密封面和密封表面部分被設 計W及布置成，使得固定在密封面或者密封表面部分上的中間密封元件W密封氣體或者粒 子的方式將第一氣體區域與第=氣體區域分離，螺栓元件的接合表面部分布置于第一氣體 區域中，螺紋表面部分布置于第=氣體區域中。
[0045] 因而繞著第一軸線環形延伸的密封元件形成密封表面部分和密封面之間的氣密 或者不透粒子式連接，使得該密封元件在第一氣體區域和第=氣體區域之間形成氣密或者 不透粒子式的分離。
[0046] 借助第一氣體區域(閉合件布置在第一氣體區域中并且第一氣體區域保持沒有會 對處理造成破壞的摩擦粒子)和第=氣體區域(具有第一螺紋的螺紋表面部分布置于第= 氣體區域中）之間的該分離，通過螺栓元件的第一螺紋和分配至第二部件部分的第二螺紋 之間的相對移動在第=氣體區域內形成的摩擦粒子，被防止入侵第一氣體區域。因而根據 本發明能夠保持布置在第一和第二氣體區域中的較低數量的潛在破壞處理的摩擦粒子，運 是因為運些摩擦粒子保留在第=氣體區域中。
[0047] 在一個實施例中，密封表面部分能夠布置在力傳遞表面部分和接合表面部分之 間，使得力傳遞表面部分在第=氣體區域中。在該情況下，還防止因力傳遞表面部分和接觸 面之間的相對移動所創建的摩擦粒子滲入第一氣體區域。可替換地，但是，密封表面部分還 能夠布置于力傳遞表面部分和螺紋表面部分之間。
[0048] 本發明的一個變型提議第一部件部分具有內側面，該內側面至少局部向內指向第 一軸線并且形成密封面。螺栓元件具有外側面，其至少局部向外指向并且形成密封表面部 分。外側面和/或內側面尤其具有幾何形狀，即幾何直圓柱體側面或者幾何直圓錐體側面。 內側面和外側面優選具有共同的幾何第一軸線。
[0049] 在第一特殊變型中，內側面具有的幾何形狀為幾何直圓柱體側面，其尤其由第一 部件部分中的沉孔形成，所述沉孔軸向相鄰于通孔布置并且繞著第一軸線延伸。在第二特 殊變型中，內側面具有的幾何形狀為幾何直圓錐體側面，其尤其由第一部件部分中的埋頭 孔形成，所述埋頭孔軸向相鄰于通孔布置并且繞著第一軸線延伸。
[0050] 密封元件能夠固定在螺栓元件的密封表面部分上。尤其是，密封元件能夠形成為0 形圈，其中，密封表面部分具有周向凹槽，該0形圈固定在周向凹槽中。可替換地，密封元件 能夠形成為硫化式密封件并且能夠被硫化在密封表面部分上。
[0051] 根據本發明，可替換地還存在密封元件固定在第一部件部分的密封面上的可能 性。密封元件能夠形成為0形圈，其中，密封面具有周向凹槽，0形圈固定在周向凹槽中，或者 密封元件是被硫化在密封面上的密封件。
[0052] 根據本發明，密封元件能夠密封氣體或者粒子。如果密封元件密封氣體，那么密封 元件布置于密封表面部分和密封面之間，使得第一氣體區域W氣密方式與第=氣體區域分 離。為了該目的，密封元件優選由適合于真空氣密密封的材料組成。尤其是，密封元件基本 由彈性體組成，尤其由橡膠組成。合適的橡膠尤其是氣化橡膠，還稱為FKM或者全氣化橡膠， 還稱為FFKM。
[0053] 在第一氣體區域和第=氣體區域之間氣密分離的情形下，加載有粒子的第=氣體 區域和保持沒有粒子的第一氣體區域之間不存在氣體交換，由此能夠保持第一氣體區域中 的粒子負荷較低。但是，由于氣密分離，壓力差能夠形成在第一氣體區域和第=氣體區域之 間。因此氣密密封件優選形成為，使得甚至在第一氣體區域和第=氣體區域之間具有主要 壓力差時也可確保氣密分離，因而還確保不透粒子式分離。
[0054] 但是，可替換地，根據本發明還存在設計密封元件W便密封粒子的可能性。在該情 況下，密封元件被形成W便密封粒子，使得布置在第=氣體區域中具有的粒子尺寸大于1微 米或者0.1微米或者0.0 l微米的微粒基本上被密封元件阻擋，并且基本上被防止滲入第一 氣體區域。尤其是，該密封元件形成為過濾器，尤其作為皿PA過濾器，用于過濾具有的粒子 尺寸大于1微米或者0.1微米或者0.01微米的微粒，尤其具有的分離程度大于85%或者95% 或者99 %或者99.5%或者99.95%。作為例子，密封元件由纖維材料或者金屬材料組成，尤 其由燒結或者編織的金屬材料組成。尤其是，其由多孔材料組成，尤其由燒結的薄纖維或者 紡織材料組成，尤其由多孔或者薄纖維材料組成，尤其由紡織聚四氣乙締材料組成。但是， 密封元件還能夠由多孔金屬過濾器形成。粒子尺寸尤其是幾何或者物理等同直徑的粒子。
[0055] 該不透粒子(但不必須是氣密分離)的一個優勢是，借助第一氣體區域和第=氣體 區域之間的過濾氣體交換，能夠避免運些氣體區域之間的粒子交換W及壓力差。通過避免 壓力差來降低閥內部的內部虛擬泄漏的風險。
[0056] 但是，借助將第一氣體區域和第=氣體區域彼此連接的連接開口也能夠獲得相同 效果，其中，過濾器元件布置在連接開口中或者布置在連接開口上。該過濾器元件被設計用 于密封粒子，使得布置在第=氣體區域中的具有的粒子尺寸大于1微米或者0.1微米或者 0 . Ol微米的微粒基本被過濾器元件阻擋并且基本被防止滲入第一氣體區域。尤其是，過濾 器元件被設計成過濾出具有的粒子尺寸大于1微米或者0.1微米或者0.01微米的微粒，尤其 具有的分離程度大于85%或者95%或者99%或者99.5%或者99.95 %，例如呈皿PA過濾器 形式。
[0057] 該過濾器元件能夠由與密封粒子的上述密封元件相同的材料組成。當使用密封氣 體的密封元件時，壓力補償W及不透粒子的連接開口是特別有利的，W便避免第一氣體區 域和第=氣體區域之間的壓力差。
[0058] 在特殊實施例中，連接開口和過濾器元件布置在螺栓元件中。
[0059] 螺栓元件能夠尤其形成為螺栓或者螺母。
[0060] 如果螺栓元件是具有螺紋部分W及螺栓頭部的螺栓，那么螺紋表面部分布置在被 引導通過第一部件部分中的通孔的螺紋部分上。接合表面部分、力傳遞表面部分和密封表 面部分布置在螺栓頭部上。尤其是，螺栓元件的第一螺紋形成為第一外螺紋，關聯至第二部 件部分的第二螺紋形成為第二內螺紋，但是相反的設計也是可行的。作為例子，第二螺紋形 成在第二部件部分中的盲孔中。尤其，螺栓頭部形成為柱形螺栓頭部。
[0061] 如果螺栓元件是螺母，那么第二螺紋尤其形成在被引導通過通孔的第二部件部分 的螺接銷上。尤其，第一螺紋形成為第一內螺紋，第二螺紋形成為第二外螺紋。相反設計是 可行的。作為例子，第一螺紋形成在螺母中的盲孔中，其中，螺母能夠形成為蓋形螺母。
[0062] 在一個可能的實施例中，螺紋表面部分布置于第=氣體區域中，所述第=氣體區 域布置在第一氣體區域內，并且與第一氣體區域尤其W氣密或者不透粒子方式分離。因而 該第=氣體區域完全被第一氣體區域封閉。但是，可替換地，還存在第=氣體區域和第一氣 體區域彼此交界并且被密封元件分離的可能性。
[0063] 在本發明的另一發展中，第二密封元件密封氣體或者粒子并且尤其形成為第二0 形圈，其密封地布置于第一部件部分和第二部件部分之間。該第二密封元件額外地在第一 和第二部件部分之間的區域中W氣密或者不透粒子方式分離第一氣體區域和第=氣體區 域并且尤其封閉通孔。
[0064] 在本發明的另一發展中，驅動單元W運種方式形成，使得通過借助驅動單元在平 行于移位軸線的軸向方向上移位所述移位臂，閉合件能夠在打開位置W及中間位置之間移 位，W及借助驅動單元在橫向于移位軸線的方向上移位所述移位臂，閉合件能夠在中間位 置和關閉位置之間移位。在打開位置，閉合件釋放開口。在中間位置，閉合面覆蓋開口并且 與圍繞開口的閥座隔開一距離W及相反于閥座。在關閉位置，閉合面W氣密方式關閉開口 并且W氣密方式分離第一氣體區域與第二氣體區域。
[0065] 橫向于移位軸線延伸的橫桿在中間連接點處連接至移位臂。在與閉合面相反的閉 合件后側，橫桿在至少位于布置在中間連接點兩側的兩個橫向連接點處連接至閉合件。橫 桿在中間部分與后側隔開一距離，中間部分包括中間連接點W及在其兩側上郵連該連接點 的部分并且在橫向連接點之間延伸。此外，橫桿是彈性的，W運種方式，借助扭轉橫桿，閉合 件能夠相對于移位臂繞樞轉軸線樞轉，樞轉軸線與移位軸線成直角布置，并且橫桿尤其一 件式形成。DE102008061315B4描述了借助橫向于移位臂延伸的橫桿將該類型閉合件安裝在 移位臂上。
[0066] 本發明的另一發展提議的是，橫桿的中間連接點包括描述的螺栓元件，其中，第一 部件部分由移位臂形成，第二部件部分由橫桿形成，或者反之亦然，即第一部件部分由橫桿 形成，第二部件部分由移位臂形成。
[0067] 可替換地或者附加地，橫向連接點能夠均包括螺栓元件，其中，第一部件部分由閉 合件形成，第二部件部分由橫桿形成，或者第一部件部分由橫桿形成，第二部件部分由閉合 件形成。
[0068] 但是，第一部件部分還能夠由驅動單元形成，第二部件部分還能夠由包括開口的 壁形成，或者反之亦然。在該情況下，螺栓連接件使用在包括開口的壁與驅動單元之間。
[0069] 此外，本發明包括螺栓元件，尤其螺栓或者螺母，用于根據本發明描述的真空閥。 螺栓元件具有螺紋表面部分、接合表面部分、力傳遞表面部分W及端面部分。
[0070] 螺紋表面部分具有繞著幾何第一軸線延伸的第一螺紋。
[0071] 接合部形成在接合表面部分上，使得螺栓元件能夠繞第一軸線旋轉和/或尤其借 助工具W形狀配合方式固定而不能繞第一軸線旋轉，該工具W形狀配合方式接合在接合部 中。
[0072] 力傳遞表面部分布置于螺紋表面部分和接合表面部分之間，并且至少局部指向沿 著第一軸線延伸的螺栓關閉方向。
[0073] 端面部分對置于接合表面部分并且至少局部指向螺栓關閉方向，其中，螺紋表面 部分布置于端面部分和力傳遞表面部分之間。
[0074] 根據本發明的螺栓元件具有密封表面部分，其布置于螺紋表面部分和接合表面部 分之間。密封表面部分將螺紋表面部分和接合表面部分彼此分離并且封閉第一軸線。密封 元件固定在螺栓元件的密封表面部分上。
[0075] 密封元件優選基本由彈性體，尤其由橡膠、尤其由氣化橡膠或者全氣化橡膠組成。 密封元件能夠形成為0形圈，其中，密封表面部分具有周向凹槽，0形圈固定在周向凹槽中。 可替換地，密封元件形成為硫化式密封件并且被硫化在密封表面部分上。
[0076] 連接開口形成在接合表面部分和端面部分之間。過濾器元件布置在該連接開口 中。正如上文已經結合真空閥所描述的，過濾器元件能夠設計成過濾出具有的粒子尺寸大 于1微米或者0.1微米或者0.01微米的粒子，尤其具有的分離程度大于85%或者95%或者 99%或者99.5%或者99.95%，尤其呈肥PA過濾器的形式。過濾器元件由纖維材料或者金屬 材料組成，尤其由燒結或者編織金屬材料組成。螺栓元件尤其具有外側面，其至少局部向外 指向并且形成密封表面部分，所述外側面尤其具有的幾何形狀為幾何直圓柱體側面或者幾 何直圓錐體側面。
[0077] 下文將基于示意性地圖示于附圖的具體示范實施例，純粹作為例子更詳細地描述 根據本發明的真空閥和根據本發明的螺栓元件。
[0078] 在附圖中，更具體來說：
[0079] 圖Ia示出了從處于打開位置的真空閥的第一實施例的側面來看的截面圖；
[0080] 圖化示出了從處于中間位置的真空閥的第一實施例的側面來看的截面圖；
[0081] 圖Ic示出了從處于關閉位置的真空閥的第一實施例的側面來看的截面圖；
[0082] 圖2示出了從處于關閉位置的真空閥的第二實施例的側面來看的截面圖；
[0083] 圖3a示出了真空閥的第S實施例的閉合件、橫桿W及移位臂的斜視圖；
[0084] 圖3b示出了真空閥的第S實施例的斜視圖；
[0085] 圖4a示出了從在聯接狀態中真空閥的第四實施例的第一部件部分、第二部件部分 W及螺栓的側面來看的詳細截面圖，0形圈固定在螺栓的周向凹槽中；
[0086] 圖4b示出了從在斷開狀態中真空閥的第四實施例的第一部件部分、第二部件部分 W及螺栓的側面來看的詳細截面圖，0形圈固定在螺栓的周向凹槽中；
[0087] 圖5a示出了從在聯接狀態中真空閥的第五實施例的第一部件部分、第二部件部分 W及螺栓的側面來看的詳細截面圖，0形圈固定在第一部件部分的沉孔的周向凹槽中；
[0088] 圖化示出了從在斷開狀態中真空閥的第五實施例的第一部件部分、第二部件部分 W及螺栓的側面來看的詳細截面圖，0形圈固定在第一部件部分的周向凹槽的沉孔中；
[0089] 圖6a示出了從在聯接狀態中真空閥的第六實施例的第一部件部分、第二部件部分 W及螺栓的側面來看的詳細截面圖，0形圈固定在第一部件部分的通孔的周向凹槽中；
[0090] 圖6b示出了從在斷開狀態中真空閥的第六實施例的第一部件部分、第二部件部分 W及螺栓的側面來看的詳細截面圖，0形圈固定在第一部件部分的通孔的周向凹槽中；
[0091] 圖7a示出了從在聯接狀態中真空閥的第屯實施例的第一部件部分、第二部件部分 W及螺栓的側面來看的詳細截面圖，連接開口 W及過濾器元件位于螺栓中；
[0092] 圖7b示出了從在斷開狀態中真空閥的第屯實施例的第一部件部分、第二部件部分 W及螺栓的側面來看的詳細截面圖；
[0093] 圖8a示出了從在聯接狀態中真空閥的第八實施例的第一部件部分、第二部件部分 W及螺栓的側面來看的詳細截面圖，埋頭孔在第一部件部分中并且具有硫化至螺栓的密 封；
[0094] 圖8b示出了從在斷開狀態中真空閥的第八實施例的第一部件部分、第二部件部分 W及螺栓的側面來看的詳細截面圖，埋頭孔在第一部件部分中并且具有硫化至螺栓的密 封；
[00M]圖9a示出了從在聯接狀態中真空閥的第九實施例的第一部件部分、第二部件部分 的螺接銷W及螺母的側面來看的詳細截面圖，0形圈固定在螺母的周向凹槽中；W及
[0096] 圖9b示出了從在斷開狀態中真空閥的第九實施例的第一部件部分、第二部件部分 的螺接銷W及螺母的側面來看的詳細截面圖，0形圈固定在螺母的周向凹槽中。
[0097] 附圖示出了處于不同狀態的根據本發明的真空閥的九個不同的實施例，從不同視 圖來看，W及具有不同的細節水平。彼此不同的實施例僅部分地關于特定特征，因此下文將 連帶地描述附圖，在一些情形下將僅討論實施例之間的差異。將不再次討論任何先前的附 圖中已經解釋的附圖標記W及特征。
[0098] 在圖la、圖Ib和圖Ic中，圖示了呈傳遞閥形式的真空閥1。該傳遞閥是閩閥的特定 形式。真空閥1具有矩形平面閉合件2,閉合件2具有閉合面3,用于W氣密方式關閉開口4。開 口4具有對應于閉合件2的截面并且形成在壁47中。開口4被閥座46圍繞。
[0099] 開口 4將第一間隙區域5連接至第二氣體區域6,第一間隙區域5布置在圖la、圖化 和圖Ic中壁47的左邊，第二氣體區域6布置于壁47的右邊。
[0100] 閉合件2布置于移位臂7上，移位臂7是桿形并且沿著幾何移位軸線38延伸。移位臂 7機械聯接至驅動單元8，借助驅動單元8，通過借助驅動單元8使移位臂7進行移位，壁47左 邊的第一氣體區域5中的閉合件2能夠從打開位置0(圖la)經由中間位置K圖Ib)移位至關 閉位置(圖1C)。
[0101] 如圖Ia所示，在打開位置0,閉合件2布置在開口4的突起區域的外側并且完全釋放 所述開口。
[0102] 通過在平行于移位軸線38和平行于壁47的軸向方向上對移位臂7移位，閉合件2能 夠借助驅動單元8從打開位置0被移位至中間位置I。
[0103] 如圖Ib所示，在該中間位置I，閉合面3覆蓋開口4并且布置成與圍繞開口4的閥座 46隔開一距離并且與閥座46對置。
[0104] 通過在橫向于移位軸線38的方向上，即在垂直于壁47W及垂直于閥座46的方向上 對移位臂7移位，閉合件2能夠從中間位置I被移位至關閉位置C。
[0105] 在關閉位置C，閉合面3W氣密方式關閉開口4并且W氣密方式分離第一氣體區域5 與第二氣體區域6。
[0106] 因而作為閉合件2和移位臂7的L狀移動的結果，真空閥1借助驅動單元8被打開W 及關閉。因此示出的傳遞閥還稱為L型閥。
[0107] 如圖在打開位置0,第一氣體區域1和第二氣體區域6實際上經由打開開口 4彼此連 接并且形成共同氣體區域，但是下文中運兩個氣體區域1和則尋被認為是幾何氣體區域，通 過關閉位置邱角定該幾何氣體區域的分離平面。因而第一氣體區域1和第二氣體區域6之間 的分離平面在該情形下通過一幾何平面形成，壁47的閥座46延伸越過該幾何平面，如圖Ia 所示。
[0108] 閉合件2借助螺栓元件9a在其后側39機械固定至移位臂7,其后側39對置于閉合面 3。螺栓元件由螺栓9a形成，螺栓9a被引導通過形成在閉合件2的后側39的通孔并且接合在 移位臂7的螺紋中。因而該螺栓連接件將閉合件2機械聯接至移位臂7，閉合件2理論上形成 第一部件部分10,移位臂7理論上形成第二部件部分11。部件部分10和部件部分11布置在第 一氣體區域5內，是真空閥1的部件部分，并且機械聯接至驅動單元8。在當前情形中，第二部 件部分11、具體來說移位臂7直接機械聯接至驅動單元8,從而能夠被移位。在螺栓9a附近的 螺栓連接內，布置有第=氣體區域27,第=氣體區域27位于第一氣體區域5內，從而完全被 封閉。下文將更詳細描述該螺栓連接件的精確結構W及第=氣體區域27的布置。
[0109] 在圖la、圖化和圖Ic中，真空閥額外地具有第二螺栓連接件，驅動單元8借助第二 螺栓連接件機械聯接至壁47。該螺栓連接件由螺栓9a形成，螺栓9a被引導通過形成在形成 理論第一部件部分10的驅動單元8中的通孔并且接合在形成理論第二部件部分11的壁47的 螺紋中，其中，相反布置也是可行的。在該情況下，第一部件部分10,具體地驅動單元8是真 空閥1的部件部分，但是第二部件部分11、具體地壁47本身不必須是真空閥1的部件部分，而 是能夠被關聯至另一單元，例如真空室。
[0110] 類似于第一示范實施例的第二示范實施例圖示于圖2,處于關閉位置C。但是，該第 二示范實施例與第一示范實施例的不同之處在于，螺栓9a被引導通過形成在移位臂7中的 通孔并且接合在閉合件2的后側39的螺紋中。因而該螺栓連接件將移位臂7機械聯接至閉合 件2,移位臂7理論上形成第一部件部分10,閉合件2理論上形成第二部件部分11。在當前情 形中，第一部件部分10、具體地移位臂7直接機械聯接至驅動單元8,從而能夠被移位。第= 氣體區域27布置在螺栓9a附近的螺栓連接內，第=氣體區域27位于第一氣體區域5內，從而 完全被封閉。下文還將更詳細描述該螺栓連接件的精確結構W及第=氣體區域27的布置。
[0111] 閉合件2和移位臂7W及橫桿40在圖3a和圖3b中示出，呈第=實施例的形式。橫向 于移位軸線38延伸的橫桿40在中間連接點41處連接至移位臂7。該中間連接點41具有螺栓 9曰，螺栓9a被引導通過橫桿40的沉孔28a和通孔20W及接合在移位臂7中的螺紋中，所述螺 紋形成在盲孔36中。橫桿40因而理論上形成第一部件部分10,移位臂7理論上形成第二部件 部分11。
[0112] 橫桿40在兩個橫向連接點42處連接至閉合件2(在閉合件2的后側39上），后側39與 閉合面3對置，兩個橫向連接點42布置于中間連接點41的兩側。運些橫向連接點42每個具有 螺栓9曰，螺栓均被引導通過通孔20并且接合在盲孔36的螺紋中，通孔20形成在橫桿40中并 且具有沉孔28a，所述螺紋形成在閉合件2的后側39。因而橫桿40理論上形成第一部件部分 10，閉合件2理論上形成第二部件部分11。
[0113] 中間部分43包括中間連接點41和在其任一側郵連所述連接點的部分并且在橫向 連接點42之間延伸，如圖3b所示，在中間部分43中，橫桿40與后側39隔開一距離44。換句話 說，橫桿40在中間部分43與后側39間隔一定距離布置，并且不接觸該區域中的閉合件2。換 句話說，橫桿40橫跨閉合件2的后側39,并且在閉合件2的后側39上僅擱置在橫向連接點42 的區域中。
[0114] 如圖3b所示的，由金屬形成為一體的橫桿40是彈性的，W運種方式使得借助橫桿 40相對于移位臂7扭轉，閉合件2能夠繞樞轉軸線45樞轉，樞轉軸線45與移位軸線38布置成 直角并且平行于開口 4和閥座46延伸。
[0115] 真空閥1額外地具有位于壁47中的兩個閥緊固孔51，聯接至驅動單元8的殼體的壁 47借助閥緊固孔51能夠安裝在一部件上，尤其能夠安裝在真空室上。根據本發明該緊固孔 還能夠借助螺栓連接件提供，其中，具有閥緊固孔51的壁47理論上形成第一部件部分10,所 述部件形成第二部件部分11。
[0116] 因而在圖la、圖化、圖1C、圖2、圖3a和圖3b中描述了多個不同的螺栓連接件，它們 彼此的不同之處主要在于，理論第一部件部分10和理論第二部件部分11均由不同的部分形 成。在圖4a至圖9b中，運些部件部分因此理論上指代為第一部件部分IOW及指代為第二部 件部分11，其中，運些部件部分能夠由不同的部分形成，尤其由真空閥1的不同部分形成。下 文將詳細描述根據本發明的運些螺栓連接件的不同實施例。
[0117] 圖4a和圖4b圖示了第一部件部分10,尤其呈閉合件2的形式，第二部件部分11，尤 其呈移位臂7和螺栓9a的形式。
[0118] 螺栓9a由螺紋部分32和螺栓頭部33組成，并且具有接合表面部分15、密封表面部 分24、力傳遞表面部分18、螺紋表面部分12W及端面部分50。螺栓頭部33是柱形螺栓頭部。
[0119] 接合表面部分15、力傳遞表面部分18和密封表面部分24布置在螺栓頭部33上。
[0120] 繞著幾何第一軸線13延伸的第一螺紋14a形成在螺紋表面部分12上。螺紋是第一 外螺紋14a。
[0121] 接合部16W內六邊形方式形成在接合表面部分15上，使得螺栓9a能夠借助工具17 繞第一軸線13旋轉，工具17能夠W形狀配合方式接合在接合部中，具體地為外六邊形。
[0122] 徑向延伸至第一軸線13的力傳遞表面部分18布置于螺紋表面部分12和接合表面 部分15之間，并且指向沿著第一軸線13延伸的螺栓關閉方向19。
[0123] 第一部件部分10具有沿著第一軸線13延伸的柱形通孔20。呈第二內螺紋21a形式 的第二螺紋形成在第二部件部分11中。該第二螺紋21a形成在第二部件部分11中的盲孔36 中。
[0124] 如圖4a所示，借助通孔20中發生的第一部件部分10的第一外螺紋14a和第二部件 部分11的第二內螺紋21a之間的螺接接合，第一部件部分10和第二部件部分11W形狀配合 方式機械聯接。螺紋表面部分12布置在被引導通過通孔20的螺紋部分32上。力傳遞表面部 分1對闡置在第一部件部分10的接觸面23上。徑向延伸至第一軸線13的該接觸面23環繞通孔 20并且指向與螺栓關閉方向19相反的螺栓打開方向22。
[0125] 正如圖4a示出的，螺栓9a的接合表面部分15布置在第一氣體區域5中。
[0126] 封閉第一軸線13的密封表面部分24布置于力傳遞表面部分18和接合表面部分15 之間，并且將該力傳遞表面部分18和接合表面部分15彼此分離。
[0127] 螺栓9a的螺栓頭部33具有外側面24,外側面24向外指向并且形成密封表面部分 24,所述外側面具有的幾何形狀為幾何直圓柱體側面。內側面25和外側面24具有共同幾何 第一軸線13。
[0128] 端面部分50與接合表面部分15對置，并且指向螺栓關閉方向19,其中，螺紋表面部 分12布置于端面部分50和力傳遞表面部分18之間。
[0129] 封閉通孔20的密封面25布置成鄰近于接觸面23。密封面25由向內指向朝向第一軸 線13的內側面形成。該內側面25具有的幾何形狀為幾何直圓柱體側面，其由第一部件部分 10中的柱形凹陷28a形成，該沉孔相鄰于通孔20軸向布置并且繞著第一軸線13延伸。該沉孔 28a的底部形成接觸面23。
[0130] 密封用密封元件2&1布置于螺栓9a的密封表面部分24和第一部件10的密封面25之 間。密封元件固定在螺栓9a的密封表面部分24上并且形成為0形圈26曰。為了固定該0形 圈26a，密封表面部分24具有周向凹槽30。該0形圈26a封閉第一軸線13，并且W運種方式布 置，使得第一氣體區域5與第=氣體區域27分離，如圖4a所示，螺紋表面部分12、力傳遞表面 部分18和端面部分50布置于第=氣體區域27中。
[0131] 形成為第二0形圈的第二密封元件35密封氣體或者粒子，并且密封地布置于第一 部件部分10和第二部件部分11之間，W氣密或者不透粒子方式分離第一氣體區域5和第= 氣體區域27,并且包圍通孔20。
[0132] 螺紋表面部分12、力傳遞表面部分18和端面部分50布置于第=氣體區域27中，因 而該第=氣體區域27布置在第一氣體區域5內，并且借助0形圈26a和第二0形圈35W氣密或 者不透粒子方式與第一氣體區域5分離并且完全被第一氣體區域5封閉。
[0133] 密封元件26a和第二密封元件35能夠是氣密式的，其中，密封元件26a和第二密封 元件35W運種方式布置，使得第一氣體區域5W氣密方式與第=氣體區域27分離。例如，合 適的密封材料是彈性體，尤其是橡膠，尤其是氣化橡膠或者全氣化橡膠。在第=氣體區域27 和第一氣體區域5之間氣密分離的情形下，尤其因接觸點的摩擦而在第=氣體區域27中產 生的微粒被保持在該第=氣體區域27中并且不能夠穿到第一氣體區域5,由此后者保持沒 有任何破會處理的微粒。
[0134] 可替換地，至少一個密封元件26a或者35密封粒子，W運種方式，使得布置在第= 氣體區域27中具有的粒子尺寸大于1微米或者0.1微米或者0.01微米的微粒基本被密封元 件26a或者35阻擋，并且基本被防止滲入第一氣體區域5。作為例子，密封元件26a或者35形 成為過濾器，尤其作為肥PA過濾器，用于過濾出具有的粒子尺寸大于1微米或者0.1微米或 者0.01微米的粒子，尤其具有的分離程度大于85%或者95%或者99%或者99.5%或者 99.95 %。尤其，密封元件26a或者35由纖維材料或者金屬材料組成，尤其由燒結或者編織的 金屬材料組成。
[0135] 在圖5a和圖化示出的第五實施例中，與第四實施例相反，密封元件未固定在螺 栓9a的密封表面部分24上的周向凹槽30中，而是被保持在第一部件部分10的密封面25上的 圓形埋頭孔28a中。呈0形圈26a形式的密封元件被保持在形成為柱形內側面的密封面25的 周向凹槽31中。密封表面部分24在該情況下是平滑的柱形外側面。該實施例的優勢在于，能 夠使用常規螺栓9a，其可W具有機加工的柱形外側面。
[0136] 在圖示于圖6a和圖6b的第六示范實施例的情形下，與第四和第五實施例相反，螺 栓9a的密封表面部分24不布置在螺栓頭部33上，而是布置在螺紋部分32的無螺紋的柱形平 滑部分上。密封表面部分24在該情況下是螺紋部分32上的平滑的柱形外側面。換句話說，密 封表面部分24位于螺紋表面部分12和力傳遞表面部分18之間。與第五實施例相反，密封元 件26a不位于第一部件部分10的圓形埋頭孔28a中，而是位于圍繞螺紋部分32的平滑部分的 通孔20的一部分中。呈0形圈26a形式的密封元件被保持在通孔20的該部分內，并且位于形 成為柱形內側面的密封面25的周向凹槽31中。
[0137] 在圖7a和圖7b示出的第屯示范實施例中，螺栓9a具有外側面，其在螺栓頭部33的 上部分中局部向外指向，呈珠緣形式并且形成密封表面部分24,所述外側面具有的幾何形 狀為幾何直圓錐體側面。形成為0形圈的密封元件26a固定在第一部件10的圓形沉孔28a中 的密封面25上，其中，0形圈2&1被保持在密封面25的周向凹槽31中。
[0138] 第屯示范實施例的螺栓9a具有螺紋表面部分12,繞著幾何第一軸線13延伸的第一 螺紋W第一外螺紋Ha方式形成在螺紋表面部分12中。該設計的接合部16形成在接合表面 部分15上，使得螺栓9a能夠借助工具17繞第一軸線13旋轉，工具17能夠W形狀配合方式接 合在該接合部中。力傳遞表面部分18布置于螺紋表面部分12和接合表面部分15之間，并且 指向沿著第一軸線延伸的螺栓關閉方向19。端面部分50對置于接合表面部分15并且指向螺 栓關閉方向19。螺紋表面部分12布置于端面部分50和力傳遞表面部分18之間。螺栓9a具有 密封表面部分24,密封表面部分24布置于螺紋表面部分12和接合表面部分15之間，將螺紋 表面部分12和接合表面部分15彼此分離，并且環繞第一軸線13。
[0139] 呈通道形式、尤其呈柱形通道形式沿著第一軸線13延伸的連接開口 48形成在接合 表面部分15和端面部分50之間。過濾器元件49布置在連接開口48中。該過濾器元件49在螺 栓頭部側在連接開口 48的端部處固定在接合表面部分15和接合部16中。
[0140] 如圖7a所示，借助螺栓9a中的該連接開口 48,第一氣體區域5和第S氣體區域27W 不透粒子但是可透氣體的方式彼此連接。
[0141] 過濾器元件49設計成過濾具有的粒子尺寸大于1微米或者0.1微米或者0.01微米 的粒子，尤其具有的分離程度大于85 %或者95 %或者99%或者99.5 %或者99.95 %，尤其呈 肥PA過濾器形式。作為例子，過濾器元件49由纖維材料或者金屬材料組成，尤其由燒結或者 編織金屬材料組成。
[0142] 圖4a和圖4b示出的第四實施例的變型圖示于圖8a和8b，呈第八實施例的形式。螺 栓9a具有外側面，其向外指向并且形成密封表面部分24,所述外側面具有的幾何形狀為幾 何直圓錐體側面。第一部件10的內側面25還具有的幾何形狀為幾何直圓錐體側面并且由第 一部件部分10中的埋頭孔28b形成，所述埋頭孔相鄰于通孔20軸向布置并且繞著第一軸線 13。密封元件W氣密硬化鋼26b形式被硫化在螺栓9a的錐形外側面24上。
[0143] 第一氣體區域5和第=氣體區域27經由形成在第一部件部分10中的連接開口 52彼 此連接。如圖8a和圖8b所示，該連接開口 5 2徑向延伸至通孔49。過濾器元件49布置于連接開 口52處。正如與在第屯實施例中的情形一樣的，過濾器元件49密封粒子，W運種方式使得布 置在第=氣體區域27中的微粒基本被過濾器元件49阻擋并且基本被防止滲入第一氣體區 域5。
[0144] 而，雖然在先前的實施例中，螺栓元件始終形成為螺栓9曰，但是在圖9a和圖9b的第 九實施例中，螺栓元件由螺母9b形成。
[0145] 在該情形下，第二部件部分11的第二螺紋2化形成在螺接銷34上，螺接銷34被引導 通過通孔20并且關聯至第二部件部分11。
[0146] 螺栓元件9b的第一螺紋形成為第一內螺紋14b，第二部件部分11的螺接銷34的第 二螺紋形成為第二外螺紋21b。
[0147] 如圖9a和9b圖示的，第一內螺紋14b形成在螺母9b中的盲孔37中，其中，螺母形成 為蓋形螺母％。
[014引第一部件部分10具有內側面，其向內指向朝向第一軸線13并且形成密封面25。該 內側面25具有的幾何形狀為幾何直圓柱體側面，其由第一部件部分10的沉孔28a形成，該沉 孔相鄰于通孔20軸向布置并且繞著第一軸線13延伸。
[0149] 蓋形螺母9b具有外側面，其向外指向并且形成密封表面部分24,所述外側面具有 的幾何形狀為幾何直圓柱體側面。密封元件固定在蓋形螺母9b的外側面24上。該密封元 件形成為0形圈26曰。外側面24具有周向凹槽30，0形圈26a固定在周向凹槽30中。
[0150] 所述實施例能夠明顯降低在第一氣體區域中的微粒的數量，由此能夠顯著提高使 用本發明的真空閥的真空應用的處理可靠性。
【主權項】
1. 一種真空閥（1)，該真空閥具有： ?閉合件(2)，該閉合件具有閉合面(3)，所述閉合面(3)用于氣密地關閉將第一氣體區 域(5)連接至第二氣體區域(6)的開口（4)， ?移位臂(7 )，所述閉合件(2)布置在該移位臂上， ?驅動單元(8)，該驅動單元機械聯接至所述移位臂（7)并且被設計成，使得通過借助 所述驅動單元(8)使所述移位臂(7)移位，所述第一氣體區域(5)中的所述閉合件(2)能夠在 打開位置(〇)與關閉位置(C)之間來回移位： -在所述打開位置中，所述閉合件(2)釋放所述開口（ 4 )，以及 -在所述關閉位置中，所述閉合面(3)以氣密方式關閉所述開口（4)并且以氣密方式將 所述第一氣體區域(5)與所述第二氣體區域(6)分離開， 以及 ?螺栓元件(9a;9b)，該螺栓元件用于將所述真空閥（1)的第一部件部分（10)以機械聯 接方式連接至第二部件部分（11)，所述第一部件部分至少局部布置于所述第一氣體區域 (5)中，其中，所述第一部件部分(10)或者所述第二部件部分（11)機械聯接至所述驅動單元 ⑶， 其中， ?所述螺栓元件(9a; 9b)具有： -螺紋表面部分（12)，在該螺紋表面部分上形成有繞幾何第一軸線（13)延伸的第一螺 紋（14a;14b)， -接合表面部分（15)，在該接合表面部分上形成有如此構成的接合部（16)，即，使得所 述螺栓元件(9a;9b)尤其借助工具（17)能夠繞所述第一軸線（13)旋轉和/或以形狀配合方 式固定而不能繞所述第一軸線（13)旋轉，所述工具（17)能夠以形狀配合方式接合在所述接 合部中，以及 -力傳遞表面部分（18)，該力傳遞表面部分布置于所述螺紋表面部分（12)和所述接合 表面部分(15)之間，并且至少局部指向沿著所述第一軸線（13)延伸的螺栓關閉方向（19)， ?所述第一部件部分(10)具有沿著所述第一軸線（13)延伸的通孔(20)， ?所述第一部件部分（10)和所述第二部件部分（11)通過如下方式能夠以形狀配合方 式機械聯接： -所述螺栓元件(9a;9b)的所述第一螺紋（14a; 14b)和關聯至所述第二部件部分（11)的 第二螺紋(21a;21b)之間的螺接接合，這通過所述通孔(20)執行，以及 -將所述力傳遞表面部分（18)擱置在所述第一部件部分（10)的圍繞所述通孔(20)的接 觸面(23)上，并且至少局部指向與所述螺栓關閉方向（19)相反的螺栓打開方向（22)， ?所述螺栓元件(9a;9b)的所述接合表面部分（15)布置在所述第一氣體區域(5)中，其 特征在于， ?所述螺栓元件(9a; 9b)具有密封表面部分(24)， -所述密封表面部分（24)布置于所述螺紋表面部分（12)和所述接合表面部分（15)之 間，以及 -所述密封表面部分（24)將所述螺紋表面部分（12)和所述接合表面部分（15)彼此分 離，以及 -所述密封表面部分(24)包圍所述第一軸線（13)， ?所述第一部件部分（10)具有與所述接觸面(23)相鄰的包圍所述通孔(20)的密封面 (25)，以及 ?包圍所述第一軸線（13)的密封用密封元件（26a; 26b)在所述螺栓元件(9a; 9b)的所 述密封表面部分(24)和所述第一部件部分(10)的所述密封面(25)之間被布置成，使得所述 第一氣體區域(5)與第三氣體區域(27)分離，所述螺紋表面部分（12)布置在所述第三氣體 區域(27)中。2. 根據權利要求1所述的真空閥（1 )，其特征在于， 所述密封表面部分(24)在所述力傳遞表面部分（18)和所述接合表面部分（15)之間被 布置成，使得所述力傳遞表面部分(18)在所述第三氣體區域(27)中。3. 根據權利要求1或2所述的真空閥（1 )，其特征在于， ?所述第一部件部分（10)具有內側面，所述內側面至少局部向內指向所述第一軸線 (13)并且形成所述密封面(25)， ?所述螺栓元件（9a;9b)具有外側面，所述外側面至少局部向外指向并且形成所述密 封表面部分(24)，所述外側面尤其具有的幾何形狀為幾何直圓柱體側面或者幾何直圓錐體 側面，以及 ?所述內側面(25)和所述外側面(24)尤其具有共同的幾何第一軸線（13)。4. 根據權利要求3所述的真空閥（1 )，其特征在于， 所述內側面(25)具有的幾何形狀為： ?幾何直圓柱體側面，其尤其由所述第一部件部分（10)中的沉孔(28a)形成，所述沉孔 軸向相鄰于所述通孔(20)布置并且繞著所述第一軸線（13)延伸，或者 ?幾何直圓錐體側面，其尤其由所述第一部件部分（10)中的埋頭孔(28b)形成，所述埋 頭孔軸向相鄰于所述通孔(20)布置并且繞著所述第一軸線（13)延伸。5. 根據權利要求1至4中任一項所述的真空閥（1 )，其特征在于， 所述密封元件(26a; 26b)固定在所述螺栓元件(9a; 9b)的密封表面部分(24)上，尤其其 中， ?所述密封元件形成為0形圈（26a)，所述密封表面部分(24)具有周向凹槽(30)，所述0 形圈（26a)固定在所述周向凹槽(30)中，或者 ?所述密封元件形成為硫化式密封件(26b)并且硫化在所述密封表面部分(24)上。6. 根據權利要求1至4中任一項所述的真空閥（1 )，其特征在于， 所述密封元件(26a;26b)固定在所述第一部件部分（10)的密封面(25)上，尤其其中， ?所述密封元件形成為0形圈（26a)，所述密封面（25)具有周向凹槽（31)，所述0形圈 (26a)固定在所述周向凹槽(31)中，或者 ?所述密封元件形成為硫化式密封件(26b)并且硫化在密封面(25)上。7. 根據權利要求1至6中任一項所述的真空閥（1 )，其特征在于， 所述密封元件(26a; 26b) ?是氣密性的，并且 ?在所述密封表面部分(24)和所述密封面(25)之間被布置成，使得所述第一氣體區域 (5)與所述第三氣體區域(27)以氣密方式分離， 尤其其中，所述密封元件（26a;26b)基本由彈性體組成，尤其由橡膠組成，尤其由氟化 橡膠或者全氟化橡膠組成。8. 根據權利要求1至6中任一項所述的真空閥（1 )，其特征在于， 所述密封元件(26a; 26b) ?密封粒子，使得布置在所述第三氣體區域(27)中的、具有的粒子尺寸大于1微米或者 0.1微米或者0.01微米的微粒基本被所述密封元件(26a;26b)阻擋并且基本被防止滲入所 述第一氣體區域(5)， ?尤其所述密封元件(26a;26b)形成為過濾器，尤其作為HEPA過濾器，用于過濾具有的 粒子尺寸大于1微米或者0.1微米或者0.01微米的粒子，尤其具有的分離程度大于85%或者 95%或者99%或者99.5%或者99.95%， ?尤其所述密封元件（26a;26b)由纖維材料或者金屬材料組成，尤其由燒結或者編織 的金屬材料組成。9. 根據權利要求1至8中任一項所述的真空閥（1)，其特征在于， ?所述第一氣體區域(5)和所述第三氣體區域(27)經由連接開口（48、52)彼此連接，以 及 ?過濾器元件(49)布置在所述第一連接開口（48、52)中或者布置在所述第一連接開口 (48、52)處， ?所述過濾器元件(49)密封粒子，使得布置在所述第三氣體區域(27)中的大于1微米 或者0.1微米或者0.01微米的微粒基本被所述過濾器元件(49)阻擋并且基本被防止滲入所 述第一氣體區域(5)， ?尤其所述過濾器元件(49)被設計成用于過濾出大于1微米或者0.1微米或者0.01微 米的粒子，尤其具有的分離程度大于85 %或者95%或者99%或者99.5%或者99.95%，所述 過濾器元件尤其呈HEPA過濾器的形式， ?尤其所述過濾器元件(49)由纖維材料或者金屬材料組成，尤其由燒結或者編織的金 屬材料組成。10. 根據權利要求9所述的真空閥（1 )，其特征在于，所述連接開口（48)和所述過濾器元 件(49)布置在所述螺栓元件(9a; 9b)中。11. 根據權利要求1至10中任一項所述的真空閥（1)，其特征在于， ?所述螺栓元件形成為螺栓(9a)，該螺栓具有螺紋部分(32)和螺栓頭部(33)， ?所述螺紋表面部分(12)布置在被引導穿過所述通孔(20)的螺紋部分(32)上， ?所述接合表面部分（15)、所述力傳遞表面部分（18)和所述密封表面部分(24)布置在 所述螺栓頭部(33)上， ?尤其所述第一螺紋形成為第一外螺紋（14a)，所述第二螺紋形成為第二內螺紋 (21a)， ?尤其所述第二螺紋(21a)形成在所述第二部件部分(11)中的盲孔(36)中，以及 ?尤其所述螺栓頭部(33)形成為柱形螺栓頭部。12. 根據權利要求1至10中任一項所述的真空閥（1)，其特征在于， ?所述螺栓元件形成為螺母(9b)， ?所述第二螺紋(21b)形成在被引導穿過所述通孔(20)的所述第二部件部分（11)的螺 接銷(34)上， ?尤其所述第一螺紋形成為第一內螺紋（14b)，所述第二螺紋形成為第二外螺紋 (21b)， ?尤其所述第一螺紋(14b)形成在所述螺母(9b)中的盲孔(37)中，以及 ?尤其所述螺母形成為蓋形螺母(9b)。13. 根據權利要求1至12中任一項所述的真空閥（1)，其特征在于， 其中布置有所述螺紋表面部分(12)的所述第三氣體區域(27) ?布置在所述第一氣體區域(5)內，并且尤其以氣密或者不透粒子方式與所述第一氣 體區域(5)分離，以及 ?被所述第一氣體區域(5)完全封閉。14. 根據權利要求1至13中任一項所述的真空閥（1)，其特征在于， 第二密封元件(35)尤其形成為第二0形圈并且密封氣體或者粒子， ?所述第二密封元件密封地布置于所述第一部件部分（10)和所述第二部件部分（11) 之間， ?所述第二密封元件以氣密或者不透粒子方式分離所述第一氣體區域(5)和所述第三 氣體區域(27)，以及 ?所述第二密封元件尤其封閉所述通孔(20)。15. 根據權利要求1至14中任一項所述的真空閥（1)，其特征在于， ?所述閉合件(2)是平面的，所述真空閥（1)尤其形成為傳遞閥， ?所述移位臂(7)是桿狀的并且沿著幾何移位軸線(38)延伸，以及 ?所述驅動單元(8)形成為，使得通過借助所述驅動單元（8)在平行于所述移位軸線 (38)的軸向方向上移位所述移位臂(7)，所述閉合件(2)能夠在以下位置之間移位： -所述打開位置(〇)，和 -所述中間位置（I)，在所述中間位置，所述閉合面(3)覆蓋所述開口（4)并且與圍繞所 述開口（ 4)的閥座(46)相反布置并隔開一距離， 并且所述閉合件(2)能夠在橫向于所述移位軸線(38)的方向上在以下位置之間移位： -所述中間位置(I);和 -所述關閉位置(C)。16. 根據權利要求1至15中任一項所述的真空閥（1)，其特征在于， ?所述第一部件部分(10)由所述移位臂(7)形成，并且 ?所述第二部件部分(11)由所述閉合件(2)形成， 或者 ?所述第一部件部分(10)由所述閉合件(2)形成，并且 ?所述第二部件部分(11)由所述移位臂(7)形成， 以及 ?所述移位臂(7)和所述閉合件(2)借助所述螺栓元件(9a;9b)連接。17. 根據權利要求15所述的真空閥（1 )，其特征在于， ?橫向于所述移位軸線（38)延伸的橫桿(40)在中間連接點（41)處連接至所述移位臂 ⑴， ?所述橫桿(40): -在所述閉合件(2)的與所述閉合面(3)相反的后側（39)，至少在布置在所述中間連接 點(41)兩側的兩個橫向連接點(42)處連接至所述閉合件(2)， -在中間部分(43)中與所述后側(39)隔開距離(44)布置，所述中間部分(43)包括所述 中間連接點（41)以及在兩側毗連所述中間連接點且在所述橫向連接點(42)之間延伸的部 分， -是彈性的，使得通過扭轉所述橫桿(40)，所述閉合件(2)能夠相對于所述移位臂(7)繞 與所述移位軸線(38)布置成直角的樞轉軸線(45)樞轉，以及 -尤其形成為一件，以及 所述中間連接點（41)包括所述螺栓元件(9a;9b)，所述第一部件部分（10)由所述移位 臂(7)形成并且所述第二部件部分（11)由所述橫桿(40)形成，或者所述第一部件部分（10) 由所述橫桿(40)形成并且所述第二部件部分(11)由所述移位臂(7)形成， 和/或 所述橫向連接點（42)均包括螺栓元件(9a;9b)，所述第一部件部分（10)由所述閉合件 (2)形成并且所述第二部件部分（11)由所述橫桿(40)形成，或者所述第一部件部分（10)由 所述橫桿(40)形成并且所述第二部件部分(11)由所述閉合件(2)形成。18. 根據權利要求1至15中任一項所述的真空閥（1)，其特征在于， ?所述第一部件部分（10)由所述驅動單元(8)形成，所述第二部件部分（11)由包括所 述開口（4)的壁(47)形成，或者 ?所述第一部件部分（10)由包括所述開口（4)的所述壁(47)形成，所述第二部件部分 (11)由所述驅動單元(8)形成。19. 一種用于根據權利要求1至18中任一項所述的真空閥（1)的螺栓元件，尤其是螺栓 (9a)或者螺母(9b)，該螺栓元件具有 ?螺紋表面部分（12)，繞著幾何第一軸線（13)延伸的第一螺紋（14a; 14b)形成在該螺 紋表面部分上， ?接合表面部分（15)，一接合部（16)在該接合表面部分上形成為，使得所述螺栓元件 (9a;9b)能夠尤其借助能夠以形狀配合方式接合在所述接合部中的工具（17)繞所述第一軸 線（13)進行旋轉和/或以形狀配合方式固定而不能繞所述第一軸線（13)旋轉， ?力傳遞表面部分（18)，其布置于所述螺紋表面部分（12)和所述接合表面部分（15)之 間，并且至少局部指向沿著所述第一軸線（13)延伸的螺栓關閉方向（19)， ?端面部分(50)，其與所述接合表面部分（15)對置并且至少局部指向所述螺栓關閉方 向（19)，其中，所述螺紋表面部分（12)布置于所述端面部分（50)和所述力傳遞表面部分 (18)之間，其特征在于， ?所述螺栓元件(9a; 9b)具有密封表面部分(24)， -所述密封表面部分（24)布置于所述螺紋表面部分（12)和所述接合表面部分（15)之 間，以及 -所述密封表面部分（24)將所述螺紋表面部分（12)和所述接合表面部分（15)彼此分 離，以及 -所述密封表面部分(24)包圍所述第一軸線（13)， ?密封元件（26a; 26b)固定在所述螺栓元件(9a; 9b)的所述密封表面部分(24)上，尤其 其中， -所述密封元件（26a;26b)基本由彈性體組成，尤其由橡膠、尤其由氟化橡膠或者全氟 化橡膠組成， 和/或 -所述密封元件形成為0形圈（26a)，所述密封表面部分（24)包括周向凹槽(30)，所述0 形圈（26a)固定在所述周向凹槽(30)中，或者 -所述密封元件形成為硫化式密封件(26b)并且硫化在所述密封表面部分(24)上， ?連接開口（48)形成在所述接合表面部分（15)和所述端面部分(50)之間， ?過濾器元件(49)布置在所述連接開口（ 48)中， ?尤其所述過濾器元件(49)被設計成過濾大于1微米或者0.1微米或者0.01微米的粒 子，尤其具有的分離程度大于85%或者95%或者99%或者99.5%或者99.95%，尤其呈HEPA 過濾器的形式， ?尤其所述過濾器元件(49)由纖維材料或者金屬材料組成，尤其由燒結或者編織的金 屬材料組成，以及 ?尤其是所述螺栓元件(9a;9b)具有外側面，所述外側面至少局部向外指向并且形成 所述密封表面部分(24)，所述外側面尤其具有的幾何形狀為： -幾何直圓柱體側面，或者 -幾何直圓錐體側面。
【文檔編號】F16K51/02GK106030176SQ201580010857
【公開日】2016年10月12日
【申請日】2015年2月6日
【發明人】C·瓦格納, K·祖默, H·弗雷納, M·茲卡爾
【申請人】Vat控股公司