專利名稱：密封系統(tǒng)的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種密封系統(tǒng)。
本發(fā)明特別涉及一種適用于、但不局限于真空腔的密封系統(tǒng)。在此說明的本發(fā)明是一種用于可抽吸式氣密型的密封系統(tǒng)，它用作汽相淀積腔的前室。但不言而喻，本發(fā)明并不局限于此處應(yīng)用。
背景技術(shù)：
目前已有許多不同的密封系統(tǒng)，用于當(dāng)腔關(guān)閉的時(shí)候能從真空腔中抽空空氣，而當(dāng)腔打開的時(shí)候能將氣體引進(jìn)或排出真空腔。
已知密封系統(tǒng)的缺點(diǎn)不只是費(fèi)用高、不甚可靠，并且在可用的有限空間內(nèi)尺寸偏大。
發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的一個(gè)方面是一種口的密封方法，該口有一個(gè)密封面及帶有相配密封面的一個(gè)門，該方法包括使門的密封表面和口的密封表面接合，并在平行于口的密封表面的方向上，相對(duì)于口的密封表面移動(dòng)門的密封表面。
在最佳實(shí)施例中，密封表面的接合和門的密封表面相對(duì)于口的密封表面的移動(dòng)是同時(shí)發(fā)生的，不過它們也可以是順序地動(dòng)作。
在最佳實(shí)施例中，門的密封表面在關(guān)閉過程中以一個(gè)方向靠近口的密封表面，該方向具有相對(duì)于口的密封表面的平面的垂直分量和平行分量。
門的密封表面或口的密封表面通常包括一個(gè)彈性元件，該彈性元件在密封表面的相對(duì)移動(dòng)中滑動(dòng)或變形。在最佳實(shí)施例中，該彈性元件是一個(gè)O型環(huán)，它構(gòu)成門密封表面的一部分。
本發(fā)明的第二方面是一個(gè)密封系統(tǒng)，該密封系統(tǒng)包括一個(gè)具有密封表面的門；和一個(gè)具有互補(bǔ)的密封表面的口，其中，由于關(guān)閉動(dòng)作，遂使相應(yīng)的密封表面接合，并在平行于接合的密封表面的方向上，相對(duì)于口的密封表面移動(dòng)門的密封表面。
這兩個(gè)密封表面中的一個(gè)最好是有一個(gè)彈性元件，而且該彈性元件最好是一個(gè)O型密封圈或叫O型環(huán)。鄰接的密封表面間的這種相對(duì)移動(dòng)是由O型環(huán)的滑動(dòng)或變形造成的，這有利于改進(jìn)其密封效果。
通過一個(gè)可動(dòng)樞軸，該門最好是以樞軸轉(zhuǎn)動(dòng)方式安裝到一個(gè)曲柄件上，接著，該曲柄件又繞著固定樞軸以可轉(zhuǎn)動(dòng)方式安裝，該可動(dòng)樞軸和固定樞軸基本上是平行的。
固定樞軸最好是平行于口的密封表面的平面并與其隔開。
在關(guān)閉過程中，可動(dòng)樞軸最好是在一個(gè)方向上移動(dòng)，該方向具有相對(duì)于口的密封表面的平面的垂直分量和平行分量。
在關(guān)閉過程中，曲柄件在繞著固定樞軸的在第一旋轉(zhuǎn)方向上樞軸運(yùn)動(dòng)，門件相對(duì)于在第一旋轉(zhuǎn)方向上的曲柄件而被推壓。
本發(fā)明的另一方面在于一個(gè)門，該門適于在第一方向上旋轉(zhuǎn)來密封地覆蓋在一個(gè)孔上，該門被可轉(zhuǎn)動(dòng)地安裝在一個(gè)曲柄上，該曲柄繞著一固定軸可轉(zhuǎn)動(dòng)地安裝。
一個(gè)偏壓件最好是配置在曲柄和門之間，以相對(duì)于曲柄在第一方向上推壓該門。
附圖概述為了更容易地理解本發(fā)明和其實(shí)際效果，將參照附圖描述本發(fā)明的最佳實(shí)施例，其中
圖1是位于關(guān)閉狀態(tài)的密封系統(tǒng)的門的側(cè)視圖。
圖2是位于打開狀態(tài)的密封系統(tǒng)的門的側(cè)視圖。
圖3是位于關(guān)閉狀態(tài)的密封系統(tǒng)的門的前視圖。
最佳實(shí)施例在此顯示的本發(fā)明是一個(gè)用于汽相淀積工藝中的密封系統(tǒng)，其中采用真空。需涂鍍的物件可以是印刷線路板，因此圖中所示的口又窄又長。
參照附圖，軸1可轉(zhuǎn)動(dòng)地安裝在軸承座10上，以相應(yīng)于通過齒輪11的輸入來繞著一固定軸轉(zhuǎn)動(dòng)。由于口的相對(duì)長度，該軸具有重要的直徑尺寸來抵抗偏轉(zhuǎn)，其中該偏轉(zhuǎn)可能危及密封的安全。
曲柄3固定在軸1上，并隨著軸1相應(yīng)轉(zhuǎn)動(dòng)。門板2通過樞軸銷4可轉(zhuǎn)動(dòng)地安裝在曲柄3上，其中樞軸銷4形成一可動(dòng)軸。
彈簧5在逆時(shí)針方向上，如圖1和圖2中所示，相對(duì)于曲柄3推壓門板2。
注意該口的密封表面是由加硬密封板7提供的，而該門的密封表面則可采用例如是O型環(huán)的一個(gè)彈性元件6。如果該加硬密封板的表面被刮擦或磨損了，可以更換該加硬密封板。該加硬密封板7可拆除地安裝在腔壁9上，在加硬板7和腔壁9之間設(shè)置有另一個(gè)O型環(huán)8來進(jìn)行密封。
門板2具有一個(gè)槽，該槽具有保持O型環(huán)6不動(dòng)的形狀。也可以設(shè)置一個(gè)O型環(huán)夾緊板，其可以簡化O型環(huán)的安裝和拆除。該O型環(huán)具有相對(duì)較大的直徑，以提供一完全封閉小表面物體的較大的密封表面并提供一良好的真空密封。
在圖2中顯示了打開的結(jié)構(gòu)。為了關(guān)閉該密封系統(tǒng)，整個(gè)門組件繞著軸1所形成的固定軸在順時(shí)針方向上轉(zhuǎn)動(dòng)。我們記得門板2相對(duì)于曲柄3在逆時(shí)針方向上被推壓。這意味著在關(guān)閉的過程中，門板2的引導(dǎo)邊(或門板的跟部)初始把持地離開加硬板7。結(jié)果，尾邊(或門板的頂部)首先與加硬板7接觸。因此，門板2抵抗彈簧的推壓相對(duì)于曲柄順時(shí)針轉(zhuǎn)動(dòng)，使得門板與加硬板面對(duì)面地接合。更具體地說，該O型環(huán)與加硬板面對(duì)面地接合。由于O型環(huán)是彈性的，該門就可被關(guān)得更緊一點(diǎn)?？梢韵胂?，這時(shí)門板2在一個(gè)方向上連續(xù)地靠近該口，其中該方向包括相對(duì)于口的密封表面的平行分量和垂直分量。該垂直分量使板和口之間的O型環(huán)壓縮。平行分量使O型環(huán)相對(duì)于加硬板滑動(dòng)，這種滑動(dòng)具有清除或清掃的效果。特別是那些微觀碎片體在O型環(huán)前面被掃除使得在O型環(huán)和加硬板間可以得到一更好的密封。
本發(fā)明的最佳實(shí)施例提供了一個(gè)密封系統(tǒng)，它緊湊、可靠和價(jià)廉。
應(yīng)該理解到，盡管上面以例子的方式顯示了本發(fā)明，但對(duì)于本領(lǐng)域的技術(shù)人員來說很明顯的各種變化和變形，都應(yīng)認(rèn)為落入本發(fā)明的范圍內(nèi)。
權(quán)利要求
1.一種利用具有一互補(bǔ)的密封表面的門來密封一具有一密封表面的口的方法，該方法包括將門的密封表面和口的密封表面鄰接，在平行于口的密封表面的方向上，相對(duì)于口的密封表面移動(dòng)門的密封表面。
2.如權(quán)利要求1所述的方法，其特征在于，密封表面的鄰接和門的密封表面向?qū)τ诳诘拿芊獗砻娴囊苿?dòng)是同時(shí)發(fā)生的。
3.如權(quán)利要求2所述的方法，其特征在于，在關(guān)閉過程中，門的密封表面以一個(gè)方向靠近口的密封表面，該方向包括相對(duì)于口的密封表面的平面的垂直分量和平行分量。
4.如權(quán)利要求1所述的方法，其特征在于，門的密封表面或口的密封表面包括一個(gè)彈性元件，該彈性元件在密封表面的相對(duì)移動(dòng)中滑動(dòng)或變形。
5.一個(gè)密封系統(tǒng)，包括一個(gè)具有一密封表面的門；和一個(gè)具有一互補(bǔ)的密封表面的口，其特征在于，當(dāng)關(guān)閉的時(shí)候，相應(yīng)的密封表面鄰接，在平行于鄰接的密封表面的方向上，相對(duì)于口的密封表面移動(dòng)門的密封表面。
6.如權(quán)利要求5所述的密封系統(tǒng)，其特征在于，這兩個(gè)密封表面之一包括一彈性元件。
7.如權(quán)利要求5所述的密封系統(tǒng)，其特征在于，通過一可動(dòng)樞軸，該門樞軸地安裝到一個(gè)曲柄件上，接著，該曲柄件又繞著一固定樞軸而樞軸地安裝，該可動(dòng)樞軸和固定樞軸基本上是平行的。
8.如權(quán)利要求7所述的密封系統(tǒng)，其特征在于，固定樞軸平行于口的密封表面的平面并與其隔開。
9.如權(quán)利要求8所述的密封系統(tǒng)，其特征在于，在關(guān)閉過程中，可動(dòng)樞軸在一個(gè)方向上移動(dòng)，該方向包括相對(duì)于口的密封表面的平面的垂直分量和平行分量。
10.如權(quán)利要求7所述的密封系統(tǒng)，其特征在于，在關(guān)閉過程中，曲柄件繞著固定樞軸在第一旋轉(zhuǎn)方向上樞軸運(yùn)動(dòng)，門件相對(duì)于在第一旋轉(zhuǎn)方向上的曲柄件而被偏壓。
11.一個(gè)門，該門適于在第一方向上旋轉(zhuǎn)來密封地覆蓋在一個(gè)孔上，該門被樞軸地安裝在一個(gè)曲柄上，該曲柄繞著一固定軸樞軸地安裝。
12.如權(quán)利要求11所述的門，其特征在于，一個(gè)偏壓件配置在曲柄和門之間，以相對(duì)于曲柄在第一方向上偏壓該門。
全文摘要
一個(gè)密封系統(tǒng)包括門(2),它可轉(zhuǎn)動(dòng)地安裝到曲柄(3)上,曲柄(3)被安裝成隨著軸(1)轉(zhuǎn)動(dòng)。彈簧(5)設(shè)置在門(2)和曲柄(3)之間。該門(2)包括O型環(huán)(6),它在關(guān)閉過程中壓縮并滑動(dòng)。
文檔編號(hào)F16J13/20GK1261947SQ98805713
公開日2000年8月2日 申請(qǐng)日期1998年5月26日 優(yōu)先權(quán)日1997年5月30日
發(fā)明者S·布特勒 申請(qǐng)人:林特克有限公司