一種推桿閉合式矩形手閥的制作方法

本發明涉及矩形閥，尤其涉及一種推桿閉合式矩形手閥。

背景技術：

1、閥門是真空系統應用中不可或缺的基礎元件。最重要的用途之一就是在兩個真空腔體之間起到隔斷的作用。在半導體行業中，多數時候需要在腔體最外部設置一個手動閥來進行保護隔斷。因此，不僅需要此種手閥有較高的可靠性，還需要有一定的潔凈性。目前國內的手閥多是利用傳統鋼球頂開的閥芯，驅動方式也是通過簡單的齒輪傳動進行。主要問題是因為過多的金屬摩擦會產生大量污染粒子，而且齒輪傳動也不如通過一個擺桿驅動更省力。隨著半導體國產化替代的興起，作為重要組成部件的高潔凈手閥在國內具有十分廣闊的市場。當前在傳統真空領域應用較廣泛的手閥大都采用如下形式的設計：

2、1.通過傳統鋼球和彈簧片撐開閥芯來進行密封；

3、2.通過轉動圓形把手驅動齒輪來驅動閥芯進行開關閥；

4、但是以上形式的設計存在以下問題：

5、1.開關閥時，閥芯金屬面與閥體金屬面直接接觸，易磨損產生粉塵和污染顆粒沉積；

6、2.齒輪驅動不僅會產生一定的金屬硬摩擦，而且也需要較大的扭矩來進行驅動。

7、以上缺點導致傳統手閥不符合半導體等行業較高的應用要求。

技術實現思路

1、為了克服現有技術的不足，本發明提供了一種推桿閉合式矩形手閥，解決現有技術中矩形手閥使用易產生粉塵以及污染顆粒的問題。

2、一種推桿閉合式矩形手閥，包括上閥殼，上閥殼外側套有下閥殼a，上閥殼兩側對稱安裝有基座，基座中心處豎向開有活動軌道，活動軌道內側設置有滑塊，基座間還設置有連桿a以及連桿b，連桿a與連桿b的頂部還連接設置有把手，連桿a外側活動連接有擺桿a，連桿b外側活動連接有擺桿b，基座上位于連桿a的下端還設置有限位桿，上閥殼頂部還設置有連接塊，連接塊為矩形塊，連接塊兩端豎向對稱設置有主軸，主軸豎向插入進上閥殼內部。

3、進一步地，還包括連桿a以及連桿b下端還活動連接有轉軸，轉軸通過轉軸固定片連接至連桿a以及連桿b上，轉軸上設置有驅動筒，驅動筒通過驅動筒固定件連接至連接塊。

4、進一步地，還包括連桿a與擺桿a連接處設置有連桿轉軸，連桿轉軸為頂部為圓臺的圓柱，圓臺一端朝向基座，圓臺封入擺桿a內部，連桿轉軸底部開有安裝孔，連桿轉軸緊固件安裝至連桿轉軸底部，連桿轉軸與連桿轉軸緊固件間還墊有轉軸墊片。

5、進一步地，還包括主軸通過連接塊緊固件固定至連接塊上，還包括主軸穿過上閥殼內側，其上閥殼內側通道設置有主軸滑動軸套，主軸滑動軸套的下方設置有主軸密封件，主軸通過主軸緊固件與下閥殼b頂部固定連接，主軸緊固件與下閥殼b間還墊有密封件，所述下閥殼b設置在下閥殼a內部，上閥殼與下閥殼a間還設置有閥殼密封件303。

6、進一步地，還包括主軸下端還固定設置有下閥殼b，所述下閥殼b橫截面為錐形結構，其錐角向下，下閥殼b側面的頂部以及底部均設置有閥芯墊塊，另一側的頂部以及底部均設置有閥芯密封件。

7、本發明的有益效果：

8、1.閥門的高可靠性：相比于傳統手閥通過齒輪傳動來進行閥門的開關，本發明的手閥采用一種更為省力和可靠的單擺桿結構。對比傳統手閥的效率低下的驅動方式，本發明可以更快速和可靠地進行閥門的開啟與關閉；

9、2.低粒子功能：相比于傳統手閥的閥芯是通過鋼球和彈簧片撐開來進行開關閥，本發明采用的是一種閥芯結構為特殊楔形的設計。對比傳統手閥的閥芯結構會因為大量金屬硬摩擦產生大量污染粒子，本發明的特殊楔形閥芯結構不僅避免了大量金屬摩擦，還具有一定的自清潔功能。即使有污染粒子的沉積，也可以被楔形閥芯推離密封座完成可靠的密封。

技術特征：

1.一種推桿閉合式矩形手閥，其特征在于，包括上閥殼（1），上閥殼（1）外側套有下閥殼a（2），上閥殼（1）兩側對稱安裝有基座（4），基座（4）中心處豎向開有活動軌道，活動軌道內側設置有滑塊（13），基座（4）間還設置有連桿a（5）以及連桿b（6），連桿a（5）與連桿b（6）的頂部還連接設置有把手（12），連桿a（5）外側活動連接有擺桿a（7），連桿b（6）外側活動連接有擺桿b（8），基座（4）上位于連桿a（5）的下端還設置有限位桿（15），上閥殼（1）頂部還設置有連接塊（11），連接塊（11）為矩形塊，連接塊（11）兩端豎向對稱設置有主軸（14），主軸（14）豎向插入進上閥殼（1）內部。

2.根據權利要求1所述的一種推桿閉合式矩形手閥，其特征在于，還包括連桿a（5）以及連桿b（6）下端還活動連接有轉軸（10），轉軸（10）通過轉軸固定片（101）連接至連桿a（5）以及連桿b（6）上，轉軸（10）上設置有驅動筒（9），驅動筒（9）通過驅動筒固定件（91）連接至連接塊（11）。

3.根據權利要求1所述的一種推桿閉合式矩形手閥，其特征在于，還包括連桿a（5）與擺桿a（7）連接處設置有連桿轉軸（18），連桿轉軸（18）為頂部為圓臺的圓柱，圓臺一端朝向基座（4），圓臺封入擺桿a（7）內部，連桿轉軸（18）底部開有安裝孔，連桿轉軸緊固件（181）安裝至連桿轉軸（18）底部，連桿轉軸（18）與連桿轉軸緊固件（181）間還墊有轉軸墊片（182）。

4.根據權利要求1所述的一種推桿閉合式矩形手閥，其特征在于，還包括主軸（14）通過連接塊緊固件（111）固定至連接塊（11）上，還包括主軸（14）穿過上閥殼（1）內側，其上閥殼（1）內側通道設置有主軸滑動軸套（141），主軸滑動軸套（141）的下方設置有主軸密封件（142），主軸（14）通過主軸緊固件（143）與下閥殼b（3）頂部固定連接，主軸緊固件（143）與下閥殼b（3）間還墊有密封件（144），所述下閥殼b（3）設置在下閥殼a（2）內部，上閥殼（1）與下閥殼a（2）間還設置有閥殼密封件（303）。

5.根據權利要求1所述的一種推桿閉合式矩形手閥，其特征在于，還包括主軸（14）下端還固定設置有下閥殼b（3），所述下閥殼b（3）橫截面為錐形結構，其錐角向下，下閥殼b（3）側面的頂部以及底部均設置有閥芯墊塊（302），另一側的頂部以及底部均設置有閥芯密封件（301）。

技術總結
本發明公開了一種推桿閉合式矩形手閥，包括上閥殼，上閥殼外側套有下閥殼a，上閥殼兩側對稱安裝有基座，基座中心處豎向開有活動軌道，活動軌道內側設置有滑塊，基座間還設置有連桿a以及連桿b，連桿a與連桿b的頂部還連接設置有把手，連桿a外側活動連接有擺桿a，連桿b外側活動連接有擺桿b，基座上位于連桿a的下端還設置有限位桿，上閥殼頂部還設置有連接塊，連接塊為矩形塊，連接塊兩端豎向對稱設置有主軸，主軸豎向插入進上閥殼內部，本發明的特殊楔形閥芯結構不僅避免了大量金屬摩擦，還具有一定的自清潔功能。即使有污染粒子的沉積，也可以被楔形閥芯推離密封座完成可靠的密封。

技術研發人員：王蓮冀,魏瓊林,林江,羅一,周思遙
受保護的技術使用者：成都中科唯實儀器有限責任公司
技術研發日：
技術公布日：2024/10/21