一種用于晶圓甩干機的主軸連接結構的制作方法

本技術實施例涉及晶圓甩干機，特別涉及一種用于晶圓甩干機的主軸連接結構。

背景技術：

1、晶圓是指硅半導體集成電路制作所用的硅晶片，由于其形狀為圓形，故稱為晶圓。在硅晶片上可加工制作成各種電路元件結構，而成為有特定電性功能的電子元器件產品。而隨著半導體晶圓上集成電路尺寸向微米級發展，對半導體晶圓制作過程中的清洗要求也越來越高，尤其是半導體晶圓在制作過程中如遭到塵粒、金屬的污染，很容易造成晶片內電路功能的損壞，形成短路或斷路等，從而導致集成電路的失效以及影響幾何特征的形成。因此在制作過程中除了要排除外界的污染源外，還需要進行清洗工作，以在不破壞晶圓表面特性及電特性的前提下，有效地使用化學溶液或氣體清除殘留在晶圓上的微塵、金屬離子及有機物等雜質。

2、濕法清洗工藝是晶圓較為常用的清洗工藝，該清洗工藝完成后需要對晶圓進行干燥，晶圓甩干機用于將潮濕的晶圓通過旋轉及干燥使晶圓表面干燥。晶圓甩干機通常包括外筒、驅動電機、連接盤和片盒架，連接盤位于外筒內，驅動電機的轉軸伸入外筒內并連接旋轉件，片盒架安裝在旋轉件上，通過驅動電機來帶動位于外筒內的片盒架高速旋轉，以對片盒架上的晶圓進行甩干。現有的晶圓甩干機的旋轉件大多是直接驅動電機的轉軸連接，轉軸在與旋轉件安裝時會存在同心度的裝配誤差，進而造成晶圓甩干機的震動較大。

技術實現思路

1、為解決相關技術問題，本實用新型提供一種用于晶圓甩干機的主軸連接結構，以解決驅動電機與旋轉盤連接存在同心度偏差的問題。

2、為實現上述目的，本實用新型實施例采用如下技術方案：

3、一種用于晶圓甩干機的主軸連接結構，其特征在于，所述用于晶圓甩干機的轉軸連接結構包括主軸、連接盤和鎖緊螺母，其中：

4、所述連接盤包括內孔，所述內孔的第一側靠近所述主軸設置，所述內孔的第一側設置第一錐形孔；

5、所述主軸的第一端防轉連接在電機的轉軸，所述主軸的第二端設置有與所述第一錐形孔配合的第一錐形頭，所述第一錐形頭的端面開設有鎖緊螺紋孔；

6、所述主軸的第一錐形頭伸入所述第一錐形孔后，所述鎖緊螺母穿入所述內孔并鎖緊在所述鎖緊螺紋孔內。

7、所述內孔的第二側設置有第二錐形孔，所述鎖緊螺母的第一端設置有與所述第二錐形孔配合的第二錐形頭，所述第二錐形頭上設置有與所述鎖緊螺紋孔配合的螺紋，所述第二錐形頭伸入所述第二錐形孔后與所述鎖緊螺紋孔螺紋連接，所述第一錐形孔和所述第二錐形孔同軸設置。

8、所述用于晶圓甩干機的轉軸連接結構還包括氮氣密封件，所述氮氣密封件安裝在所述主軸的外圍，所述氮氣密封件被配置為將所述轉軸與晶圓甩干機的外筒相接處密封。

9、所述鎖緊螺母的第二端開設有槽體，以便于所述鎖緊螺母的安裝。

10、所述第一錐形孔的第一端設置有第一限位板，所述第一限位板呈環狀設置在所述第一錐形孔的第一端。

11、所述第二錐形孔上設置有第二限位板，所述第二限位板呈環狀設置在所述第二錐形孔的第一端。

12、本實用新型的有益效果為，與現有技術相比本實用新型提供的一種用于晶圓甩干機的主軸連接結構具有以下有益效果：

13、1.通過第一錐形頭和第一錐形孔，保證了主軸與第一錐形孔的同軸度，通過鎖緊螺母和第二錐形孔保證了鎖緊螺母與第二錐形孔的同軸度，通過第一錐形頭和鎖緊螺母螺紋連接，確保了第一錐形頭和鎖緊螺母的同軸度，進而使得主軸、連接盤和鎖緊螺母處于同一軸線上，具有保證主軸、連接盤和鎖緊螺母同心度的效果；

14、2.通過在第一錐形頭上開設螺紋孔以連接鎖緊螺母，結構簡單，且能保證第一錐形頭和鎖緊螺母的同軸度，具有便于使用的效果；

15、3.通過第一限位板和第二限位板的設置，使得鎖緊螺母和主軸在工作時，連接更穩定，具有提高運行穩定性的效果。

技術特征：

1.一種用于晶圓甩干機的主軸連接結構，其特征在于，所述用于晶圓甩干機的轉軸連接結構包括主軸、連接盤和鎖緊螺母，其中：

2.根據權利要求1所述的一種用于晶圓甩干機的主軸連接結構，其特征在于，所述內孔的第二側設置有第二錐形孔，所述鎖緊螺母的第一端設置有與所述第二錐形孔配合的第二錐形頭，所述第二錐形頭上設置有與所述鎖緊螺紋孔配合的螺紋，所述第二錐形頭伸入所述第二錐形孔后與所述鎖緊螺紋孔螺紋連接，所述第一錐形孔和所述第二錐形孔同軸設置。

3.根據權利要求1所述的一種用于晶圓甩干機的主軸連接結構，其特征在于，所述用于晶圓甩干機的轉軸連接結構還包括氮氣密封件，所述氮氣密封件安裝在所述主軸的外圍，所述氮氣密封件被配置為將所述轉軸與晶圓甩干機的外筒相接處密封。

4.根據權利要求2所述的一種用于晶圓甩干機的主軸連接結構，其特征在于，所述鎖緊螺母的第二端開設有槽體，以便于所述鎖緊螺母的安裝。

5.根據權利要求1所述的一種用于晶圓甩干機的主軸連接結構，其特征在于，所述第一錐形孔的第一端設置有第一限位板，所述第一限位板呈環狀設置在所述第一錐形孔的第一端。

6.根據權利要求2所述的一種用于晶圓甩干機的主軸連接結構，其特征在于，所述第二錐形孔上設置有第二限位板，所述第二限位板呈環狀設置在所述第二錐形孔的第一端。

技術總結
本技術公開一種用于晶圓甩干機的主軸連接結構，其包括主軸、連接盤和鎖緊螺母，連接盤包括內孔，內孔的第一側靠近主軸設置，內孔的第一側設置第一錐形孔；主軸的第一端防轉連接在電機的轉軸，主軸的第二端設置有與第一錐形孔配合的第一錐形頭，第一錐形頭的端面開設有鎖緊螺紋孔；主軸的第一錐形頭伸入第一錐形孔后，鎖緊螺母穿入內孔并鎖緊在鎖緊螺紋孔內。上述主軸連接結構通過第一錐形頭和第一錐形孔，保證了主軸與連接盤的同軸度，通過鎖緊螺母和第二錐形孔保證了鎖緊螺母與連接盤的同軸度，通過第一錐形頭和鎖緊螺母螺紋連接，確保了第一錐形頭和鎖緊螺母的同軸度，進而保證了主軸、連接盤和鎖緊螺母的同心度。

技術研發人員：歐陽小泉
受保護的技術使用者：泉芯半導體科技（無錫）有限公司
技術研發日：20231229
技術公布日：2024/10/21