真空管道安裝支架的利用的制作方法
【專利摘要】本發明提供了一種在半導體芯片的制造過程、光伏太陽能電池版的制造等領域，涉及到真空管道系統及其管道系統安裝的新方法。此方法是將集中式的動力條件供應，分解為利用本機臺真空管道的支架，安裝本機臺的所有動力管道(包括冷卻水循環水、氮氣和壓空等)，使人們可以清楚地分辨出那些管道屬于是那部機臺的，且使用點很近，可以有效地節約動力管線，減少由于軟管過長而引起的漏水、漏氣事故的發生。由于采用了真空管道的支架，節省了獨立安裝支架所占用的空間，使潔凈空間的利用更有效。
【專利說明】真空管道安裝支架的利用
【技術領域】
[0001]本發明涉及半導體芯片的制造過程、光伏太陽能電池版的制造等領域，特別涉及在上述領域硅片制造過程中的真空管道系統及其相應的管路系統。
【背景技術】
[0002]在半導體芯片和硅基光伏太陽能電池的制造過程中，有多道工序需要在真空條件下進行，如半導體芯片制造中的刻蝕、CVD、注入等工序，需要使用較多臺的真空泵，有時一部機臺就要使用兩至四臺的真空泵。為了節約有限的潔凈空間，機臺的真空泵大多安裝在機臺的下一層，即下夾層。在下夾層中需要布置除真空泵外，還要安放機臺的電源變壓器、電源開關柜、射頻電源、Chiller Unit、機臺的控制柜等,還要安裝機臺的配電柜、機臺的尾氣處理設備、VMB等，這些機臺的配件同樣要占用了有限的凈化空間。
[0003]在一般情況下，真空泵的安裝位置要與機臺的真空接口有一段距離，所以真空泵的進氣管道和排氣管道都需要管道支架進行固定。真空泵、射頻電源、Chiller Unit和機臺的主機，在運行過程中，需要冷卻水進行冷卻，有的設備還需要氮氣和壓縮空氣等氣體供應。在電子廠房的某個區域，通常會集中安裝冷卻水、氮氣和壓縮空氣等動力管道，然后再分別用軟管接至各使用點。集中安裝這些冷卻水、氮氣和壓縮空氣需要有一定的空間進行管道支架的安放，由于這些動力條件的需求點都比較遠，所以散布在地面和支架上的軟管很多，即不美觀，也不安全，常有跑水的事故發生，同時這些集中供應的動力條件還要占用了有限的潔凈室空間，在設備安裝集中的區域，有時可能沒有空間安置這些動力管道，這樣就將無法進行機臺的安裝。
【發明內容】
[0004]為了最大限度地節約有限的潔凈空間，本發明提供了一種方法。
[0005]將集中式的動力條件供應，分解為利用本機臺真空管道的支架，安裝本機臺的所有動力管道(包括冷卻水循環水、氮氣和壓空等)，使人們可以清楚地分辨出那些管道屬于那部機臺，且使用點很近，可以有效地節約動力管線，減少由于軟管過長而引起的漏水、漏氣事故的發生。
[0006]如果支架上還有位置可以將真空泵的開關箱也安裝到此支架上。
【專利附圖】
【附圖說明】
[0007]此圖為真空管道安裝支架的俯視圖。
【具體實施方式】
[0008]首先按照設備平面布置的要求定位真空泵1，然后確認真空管道安裝支架2的位置，要求真空管道安裝支架2的安裝要能方便真空泵I進出，進行真空泵I的檢修。所有豎直的真空管道安裝支架2要采用H型鋼，為了保持真空管道支架2的穩定，支架2與地面和上部的建筑結構要有固定。
[0009]見附圖，真空泵I進氣、排氣管道可以安裝在真空管道支架2的內側和外側，但為了最大限度地利用管道支架，真空泵進氣和排氣管道最好安裝在管道支架2的內側。管道支架2的前側和后側可以安裝動力管道，如冷卻水管道、氮氣管道和壓縮空氣管道等，在這些動力管道上可以按照各類管道的安裝規范，安裝相應的閥門、壓力表、流量計和減壓閥坐寸ο
[0010]如果真空管道支架2上還有位置，可以安裝真空泵的開關箱等。
[0011]附圖的左、右兩側可以并排安放多臺真空泵，真空管道的支架2可以整體考慮，動力管道的安裝也要進行整體考慮。
[0012]此方法不僅僅限于半導體芯片的制造過程和光伏太陽能電池版的制造，在其它應用到此類高真空的場所，也同樣可以采用此方法進行真空泵及其相應管道的安裝。
【權利要求】
1.真空管道安裝支架的利用，提供了一種真空泵安裝的新方法。首先確認真空泵的位置，并將其固定，然后按要求進行真空管道的支架安裝。見附圖，真空泵的進氣和排氣管道可以安裝在真空管道安裝支架2的外側，也可以安裝在真空管道安裝支架的內側，為了更有效地利用真空管道安裝支架2，真空泵進氣和排氣管道最好安裝在真空管道安裝支架2的內側。
2.真空管道安裝支架2安裝完成后，在真空管道安裝支架2的前、后兩側，見附圖按要求安裝動力管道，如循環冷卻水、氮氣管道、壓縮空氣管道等。
3.附圖的左右兩側可以安裝多臺真空泵，真空管道支架可以一并考慮，動力管道的安裝也要整體進行考慮。
4.在真空管道安裝支架還有位置的情況下，可以將真空泵的開關箱安裝在此支架上。
5.此方法不僅僅限于半導體芯片的制造過程和光伏太陽能電池版的制造，在其它應用到此類高真空的場所，也同樣可以采用此方法進行真空泵及其相應管道的安裝。
【文檔編號】F16L3/00GK104295796SQ201410390830
【公開日】2015年1月21日 申請日期:2014年8月11日 優先權日:2014年8月11日
【發明者】林博強 申請人:林博強