一種氣路快速連接裝置制造方法
【專利摘要】本實用新型涉及一種氣路快速連接裝置，屬于真空鍍膜設(shè)備【技術(shù)領(lǐng)域】。它包括裝置本體（1），所述裝置本體（1）內(nèi)設(shè)置相互配合的外對接端子（5）和內(nèi)對接端子（6），所述內(nèi)對接端子（6）位于外對接端子（5）下方，所述外對接端子（5）與裝置本體（1）之間設(shè)置有彈簧件（3），所述彈簧件（3）與裝置本體（1）之間設(shè)置有彈簧墊片（2），所述外對接端子（5）與內(nèi)對接端子（6）之間設(shè)置有密封件（4）。本實用新型一種氣路快速連接裝置，它將氣路連接部分的內(nèi)對接端子、外對接端子集成在一個裝置內(nèi)，外接氣路連接不需要采用螺紋等方式與之連接，使得本裝置具有結(jié)構(gòu)簡單，連接可靠，操作簡單，拆裝容易，可清洗、密封性能良好等特點。
【專利說明】一種氣路快速連接裝置
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實用新型涉及一種氣路快速連接裝置，屬于真空鍍膜設(shè)備【技術(shù)領(lǐng)域】。
【背景技術(shù)】
[0002]目前，由于維護和檢修的需要，真空鍍膜設(shè)備的氣體分配器與氣體管路之間需要經(jīng)常性的分離和結(jié)合，故而在氣體分配器與氣體管路之間需要一個可以實現(xiàn)快速連接及分離的連接裝置。目前的連接裝置多采用螺紋連接的方式(如專利:CN101893147A)，其不足在于插頭、插座分屬兩個部分，且插頭、插座與氣路連接仍需螺紋、卡套等連接，所述連接及分離操作不方便，并且這種連接方式需要精確對位，長時間使用后會因插合不到位產(chǎn)生泄露及損傷，因此需要一種新的裝置及連接方式來滿足這些應(yīng)用。
【發(fā)明內(nèi)容】
[0003]本實用新型的目的在于克服上述不足，提供一種氣路快速連接裝置，它能夠在真空環(huán)境下實現(xiàn)快速連接及分離。
[0004]本實用新型的目的是這樣實現(xiàn)的:一種氣路快速連接裝置，它包括裝置本體，所述裝置本體內(nèi)設(shè)置相互配合的外對接端子和內(nèi)對接端子，所述內(nèi)對接端子位于外對接端子下方，所述外對接端子與裝置本體之間設(shè)置有彈簧件，所述彈簧件與裝置本體之間設(shè)置有彈簧墊片，所述外對接端子與內(nèi)對接端子之間設(shè)置有密封件。
[0005]所述外對接端子外側(cè)設(shè)置有裝置蓋板。
[0006]所述彈簧墊片采用橡膠材質(zhì)。
[0007]與現(xiàn)有技術(shù)相比，本實用新型具有以下有益效果:
[0008]本實用新型一種氣路快速連接裝置，它將氣路連接部分的內(nèi)對接端子(等效于氣路插頭)、外對接端子(等效于氣路插座)集成在一個裝置內(nèi)，外接氣路連接不需要采用螺紋等方式與之連接，使得本裝置具有結(jié)構(gòu)簡單，連接可靠，操作簡單，拆裝容易，可清洗、密封性能良好等特點，更由于本裝置采用了具有密封作用的彈簧墊片使本裝置尤其適合在有污染物生成的環(huán)境下工作。
【專利附圖】
【附圖說明】
[0009]圖1為本實用新型一種氣路快速連接裝置的結(jié)構(gòu)示意圖。
[0010]圖2為本實用新型一種氣路快速連接裝置處于分離狀態(tài)的示意圖。
[0011]圖3為本實用新型一種氣路快速連接裝置處于連接狀態(tài)的示意圖。
[0012]其中:
[0013]裝置本體I
[0014]彈簧墊片2
[0015]彈簧件3
[0016]密封件4[0017]外對接端子5
[0018]內(nèi)對接端子6
[0019]緊固螺栓7
[0020]氣體管路密封件8
[0021]氣體分配器入氣口 9
[0022]氣體分配器10
[0023]裝置蓋板11
[0024]外端子密封件12
[0025]氣體管路入氣口 13
[0026]真空腔室內(nèi)壁14。
【具體實施方式】
[0027]參見圖f圖3，本實用新型一種氣路快速連接裝置，它包括裝置本體1，所述裝置本體I內(nèi)設(shè)置相互配合的外對接端子5和內(nèi)對接端子6，所述內(nèi)對接端子6位于外對接端子5下方，所述外對接端子5與裝置本體I之間設(shè)置有彈簧件3，所述彈簧件3與裝置本體I之間設(shè)置有彈簧墊片2，所述外對接端子5與內(nèi)對接端子6之間設(shè)置有密封件4，所述外對接端子5外側(cè)設(shè)置有裝置蓋板11，所述彈簧墊片2采用橡膠材質(zhì)。
[0028]緊固螺栓7本裝置固定于真空腔室內(nèi)壁并使氣體管路入氣口 13、氣體管路密封件
8、裝置主體I緊密結(jié)合，氣體管路與本裝置氣路實現(xiàn)氣密連接，裝置與氣體分配器10快速連接過程說明:當(dāng)氣體分配器10與本裝置接觸時，外對接端子5承擔(dān)外力將向下運動與內(nèi)對接端子6接觸，由于內(nèi)對接端子6外圓有一定錐度以及外對接端子5內(nèi)部的喇叭口設(shè)計使外對接端子5與內(nèi)對接端子6能快速準確結(jié)合，由于外對接端子5內(nèi)嵌至少一條密封件使得外對接端子5與內(nèi)對接端子6導(dǎo)通的同時能得到有效的密封。外對接端子5向下運動的同時，彈簧件3將被壓縮并對外對接端子5形成反作用力，由于反作用力及外對接端子5承擔(dān)外力的作用使得外對接端子5、氣體分配器入氣口 9、外對接端子密封件12緊密結(jié)合并達到良好的密封效果。至此氣體快速連接裝置完成快速連接過程。
[0029]所述裝置與氣體分配器快速分離過程說明:當(dāng)氣體分配器10由于外力作用與本裝置分離時，外對接端子5由于彈簧件3的作用將向上運動與內(nèi)對接端子6分離，使本裝置恢復(fù)到待連接狀態(tài)。所述真空腔室內(nèi)壁14與裝置主體I結(jié)合面及氣體管路入氣口 13與裝置主體I結(jié)合面，均為光滑平面以利于氣密連接；所述氣體分配器入氣口 9處與裝置主體I結(jié)合面為光滑平面以利于氣密連接；所述彈簧墊片2采用橡膠材質(zhì)，在裝置快速連接時，將被外對接端子5嚴密擠壓并由于橡膠材質(zhì)的膨脹性在彈簧件3上方起到了阻隔外界氣體的作用保護彈簧件3不受腐蝕及外部污染。
[0030]以上僅是本實用新型的優(yōu)選實施方案，對本【技術(shù)領(lǐng)域】的技術(shù)人員來說，在不脫離本實用新型的前提下，還可以做出若干改進和潤飾，這些改進和潤飾也應(yīng)視為本實用新型的保護范圍。
【權(quán)利要求】
1.一種氣路快速連接裝置，其特征在于:它包括裝置本體(1)，所述裝置本體(I)內(nèi)設(shè)置相互配合的外對接端子(5)和內(nèi)對接端子(6)，所述內(nèi)對接端子(6)位于外對接端子(5)下方，所述外對接端子(5)與裝置本體(I)之間設(shè)置有彈簧件(3)，所述彈簧件(3)與裝置本體(I)之間設(shè)置有彈簧墊片(2)，所述外對接端子(5)與內(nèi)對接端子(6)之間設(shè)置有密封件(4)。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種氣路快速連接裝置，其特征在于:所述外對接端子(5)夕卜側(cè)設(shè)置有裝置蓋板(11)。
3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的一種氣路快速連接裝置，其特征在于:所述彈簧墊片(2)采用橡膠材質(zhì)。
【文檔編號】F16L37/00GK203656421SQ201320685169
【公開日】2014年6月18日 申請日期:2013年11月4日 優(yōu)先權(quán)日:2013年11月4日
【發(fā)明者】黃躍龍, 劉逸飛, 承維龍, 謝東, 陳大英, 李興國, 裴皓 申請人:江陰萬事興技術(shù)有限公司