一種氣動閥門控制裝置制造方法
【專利摘要】本實用新型提供了一種氣動閥門控制裝置，包括截止閥門一，截止閥門二，截止閥門三，三通管一，三通管二和面板；三通管一的三個管接頭分別與截止閥門一，截止閥門二和截止閥門三的一端相連接，截止閥門二的另一端與三通管二的一個管接頭相連接，面板上設置有閥門支架，截止閥門一，截止閥門二和截止閥門三通過閥門支架固定在面板上。截止閥門一的另一端上連接有氣體管路一，截止閥門三的另一端上連接有氣體管路二，三通管二未與截止閥門二連接的兩個管接頭通過快速接頭分別連接有軟管管路。所述裝置可用于半導體化學品制程的自動化設備中，在遇到自動化設備系統關機或機臺斷電情況時，通過操作所述裝置可以對制程中的產品采取保護措施。
【專利說明】一種氣動閥門控制裝置
【技術領域】
[0001]本實用新型涉及一種氣動閥門控制裝置，用于半導體化學品制程的自動化設備中。
【背景技術】
[0002]當前，在半導體制造涉及化學品的制程中，機臺管路的流量都通過氣動閥門控制，當系統關機或機臺斷電時，所有的氣動閥門都將自動關閉，所有的產品停止制程并將滯留在沒有化學循環的化學品槽中，這將對產品產生嚴重影響。如圖1所示，附圖1為現有技術機臺端的化學品槽正常情況下的制程簡圖，在正常情況下，通過氣動閥門的啟閉，控制管路流量，實現化學品槽207的正常制程，包括:化學品供應，化學品流量循環，化學品排放；所述氣動閥門包括:化學品供應管道氣動閥門208，排酸/循環管道氣動閥門一 201和排酸管道氣動閥門二 202。當遇到系統關機或機臺斷電情況，所有的氣動閥門都將自動關閉，所有的產品204停止制程并將滯留在沒有循環的化學品槽207里。
[0003]因此，對于涉及化學品制程的產品，如何解決在系統關機或機臺斷電的情況下，實現對于涉及化學品制程的產品的安全處理就很有必要了。
實用新型內容
[0004]本實用新型要解決的技術問題是克服現有技術的不足，提供一種氣動閥門控制裝置，可以在自動化設備遇到系統關機或機臺斷電時，通過本實用新型氣動閥門控制裝置對氣動閥門的操作，能夠對制程中的產品采取保護措施。
[0005]為解決上述問題，本實用新型的技術方案是:一種氣動閥門控制裝置，包括截止閥門一，截止閥門二，截止閥門三，三通管一，三通管二和面板；三通管一的三個管接頭分別與截止閥門一，截止閥門二和截止閥門三的一端相連接，截止閥門二的另一端與三通管二的一個管接頭相連接，截止閥門一，截止閥門二和截止閥門三固定在面板上。
[0006]優選的，面板上設置有閥門支架，截止閥門一，截止閥門二和截止閥門三通過閥門支架固定在面板上。
[0007]優選的，截止閥門一的另一端上連接有氣體管路一，截止閥門三的另一端上連接
有氣體管路二。
[0008]優選的，氣體管路一和氣體管路二，均由不銹鋼管路，快速接頭和軟管管路組成，不銹鋼管路與軟管管路通過快速接頭連接。
[0009]優選的，截止閥門一與不銹鋼管路通過焊接方式連接，截止閥門三與不銹鋼管路通過焊接方式連接。
[0010]優選的，三通管二未與截止閥門二連接的兩個管接頭通過快速接頭分別連接有軟
管管路。
[0011 ] 優選的，三通管一和三通管二均由不銹鋼管路焊接形成。
[0012]優選的，閥門支架通過焊接方式設置在面板上，閥門支架采用防酸不銹鋼材質。[0013]優選的，面板上設置有3個螺絲孔。
[0014]通過固定面板上的3個螺絲孔，可以將氣動閥門控制裝置固定在機臺上。
[0015]本發明的有益效果是，當系統關機或機臺斷電時，通過對氣動閥門控制裝置的操作，對制程中的產品采取保護措施，實現對化學品槽進行排酸補水(去離子水，可用于清洗產品)，達到改善化學品槽中產品的存在環境，延長產品在化學品槽的安全時間，使工程師有充分的時間對產品進行安全的處理。
【專利附圖】
【附圖說明】
[0016]圖1為現有技術機臺端的化學品槽正常情況下的制程簡圖；
[0017]圖2為本實用新型氣動閥門控制裝置的結構示意圖；
[0018]圖3為裝備本實用新型氣動閥門控制裝置的機臺端化學品槽排酸補水的簡圖。
[0019]附圖中，各標號所代表的部件列表如下:
[0020]101、截止閥門一，102、截止閥門二，103、截止閥門三，104、三通管一，105、三通管二，106、氣體管路一，107、氣體管路二，108、不銹鋼管路，109、快速接頭，110、軟管管路，111、閥門支架，112、螺絲孔，113、面板，201、排酸/循環管道氣動閥門一，202、排酸管道氣動閥門二，203、供水管道氣動閥門，204、產品，205、內槽，206、外槽，207、化學品槽，208、化
學品供應管道氣動閥門。
【具體實施方式】
[0021]以下結合附圖對本實用新型的結構特征和工作原理進行描述，所舉實例只用于解釋本實用新型，并非用于限定本實用新型的范圍。
[0022]圖2為本實用新型氣動閥門控制裝置的結構示意圖,如圖2所示,所述氣動閥門控制裝置，包括截止閥門一 101，截止閥門二 102，截止閥門三103，三通管一 104，三通管二 105和面板113 ;三通管一 104的三個管接頭分別與截止閥門一 101，截止閥門二 102和截止閥門三103的一端相連接，截止閥門二 102未與三通管一 104相連接的另一端與三通管二 105的一個管接頭相連接，面板113上設置有閥門支架111，截止閥門一 101，截止閥門二 102和截止閥門三103通過閥門支架111固定在面板113上。
[0023]截止閥門一 101另一端上連接有氣體管路一 106。氣體管路一 106由不銹鋼管路108，快速接頭109和軟管管路110組成；不銹鋼管路108通過快速接頭109與軟管管路110連接。優選的，截止閥門一 101與不銹鋼管路108通過焊接方式連接。
[0024]截止閥門三103的另一端上連接有氣體管路二 107。氣體管路二 107由不銹鋼管路108，快速接頭109和軟管管路110組成；不銹鋼管路108通過快速接頭109與軟管管路110連接。優選的，截止閥門一 101與不銹鋼管路108通過焊接方式連接。
[0025]三通管二 105未與截止閥門二 102連接的兩個管接頭通過快速接頭109分別連接有軟管管路110。
[0026]三通管一 104和三通管二 105均由不銹鋼管路焊接形成。
[0027]閥門支架111通過焊接方式設置在所述面板113上，閥門支架111的材質為防酸不銹鋼材質。
[0028]面板113上設置有3個螺絲孔112。通過面板113上的3個螺絲孔112，可以將氣動閥門控制裝置安裝在機臺上。
[0029]裝配本實用新型氣動閥門控制裝置的機臺端工作流程簡述如下:正常情況下的流程與現有技術相同，包括=CDA氣體(clean dry air/潔凈干燥的壓縮氣體)通過管路從廠務端直接引入，經過機臺端電磁閥控制系統，作用于機臺端的氣動閥門，實現管路控制；當遇到系統關機或機臺斷電時，CDA氣體通過管路從廠務端引入本實用新型氣動閥門控制裝置，通過本實用新型氣動閥門控制裝置作用于機臺端的氣動閥門，從而通過控制本實用新型氣動閥門控制裝置中的各個截止閥來控制氣動閥門的啟閉，開啟機臺端的排酸管道進行化學品排放，然后開通化學品供應通道進行補水，實現水循環，使產品204脫離化學品環境，延長當前的產品204在化學品槽207的安全時間，從而能夠有充分的時間對產品204進行安全處理。化學品供應管道和補水管道是兩個不同的管道，正常情況下，補水管道是不參與制程的，在關機或斷電情況下，可以通過本裝置手動啟動所述補水管道。
[0030]遇到系統關機或機臺斷電時的具體實施情況如下:
[0031]如圖3所示，圖3為裝備本實用新型氣動閥門控制裝置的機臺端化學品槽排酸補水的簡圖，從廠務端直接引入CDA，CDA的管道通過氣體管路一 106與氣動閥門控制裝置上的截止閥門一 101連接，氣動閥門控制裝置上的截止閥門二 102通過三通管二 105，軟管管路110與機臺端的排酸/循環管道氣動閥門一 201和排酸管道氣動閥門二 202相連接，氣動閥門控制裝置上的閥門三103通過氣體管路二 107與機臺的供水管道氣動閥門203相連接。
[0032]具體操作:通過打開氣動閥門控制裝置上的截止閥門一 101和截止閥門二 102，使CDA氣體作用于機臺端排酸管道上的排酸/循環管道氣動閥門一 201和排酸管道氣動閥門二 202，排酸管道打開，可以達到對化學品槽207進行排酸或排放其它化學品的功能。
[0033]通過打開氣動閥門控制裝置上的的截止閥門一 101與截止閥門三103，可以使CDA氣體作用于機臺的供水管道的供水管道氣動閥門203，供水管道打開，實現供水功能，向化學品槽內槽207中供應去離子水，產品204位于內槽205中，去離子水可用于清洗產品204。
[0034]對化學品槽207進行排酸補水，可以改善化學品槽207中產品204的存在環境，延長產品204在化學品槽207的安全時間，從而能夠有充分的時間對產品204進行安全的處理。
[0035]通過串聯的兩個手動截止閥門實現開關控制功能，可以防止由于單個手動截止閥門未關緊而影響機臺的正常運行。
[0036]以上所述實施步驟和方法僅僅表達了本實用新型的一種實施方式，描述較為具體和詳細，但并不能因此而理解為對本實用新型專利范圍的限制。在不脫離本實用新型專利構思的前提下，所作的變形和改進應當都屬于本實用新型專利的保護范圍。
【權利要求】
1.一種氣動閥門控制裝置，其特征在于:包括截止閥門一，截止閥門二，截止閥門三，三通管一，三通管二和面板，三通管一的三個管接頭分別與截止閥門一，截止閥門二和截止閥門三的一端相連接，截止閥門二的另一端與三通管二的一個管接頭相連接，截止閥門一，截止閥門二和截止閥門三固定在面板上。
2.根據權利要求1所述的一種氣動閥門控制裝置，其特征在于，所述面板上設置有閥門支架，所述截止閥門一，所述截止閥門二和所述截止閥門三通過所述閥門支架固定在所述面板上。
3.根據權利要求1所述的一種氣動閥門控制裝置，其特征在于，所述截止閥門一的另一端上連接有氣體管路一，所述截止閥門三的另一端上連接有氣體管路二。
4.根據權利要求3所述的一種氣動閥門控制裝置，其特征在于，所述氣體管路一和所述氣體管路二，均由不銹鋼管路、快速接頭和軟管管路組成，所述不銹鋼管路與所述軟管管路通過所述快速接頭連接。
5.根據權利要求3或4所述的一種氣動閥門控制裝置，其特征在于，所述截止閥門一與所述不銹鋼管路通過焊接方式連接，所述截止閥門三與所述不銹鋼管路通過焊接方式連接。
6.根據權利要求1所述的一種氣動閥門控制裝置，其特征在于，所述三通管二未與所述截止閥門二連接的兩個管接頭通過快速接頭分別連接有軟管管路。
7.根據權利要求1所述的一種氣動閥門控制裝置，其特征在于，所述三通管一和所述三通管二均由不銹鋼管路焊接形成。
8.根據權利要求2所述的一種氣動閥門控制裝置，其特征在于，所述閥門支架通過焊接方式設置在所述面板上，所述閥門支架采用防酸不銹鋼材質。
9.根據權利要求1或2所述的一種氣動閥門控制裝置，其特征在于，所述面板上設置有3個螺絲孔。
【文檔編號】F16K31/12GK203421265SQ201320535049
【公開日】2014年2月5日 申請日期:2013年8月29日 優先權日:2013年8月29日
【發明者】董新杰, 王懷鋒 申請人:武漢新芯集成電路制造有限公司