專利名稱：一種波紋管固定架的制作方法
技術領域：
本實用新型涉及一種固定架，具體涉及一種用于MOCVD設備氣體管道連接處的波紋管固定架。
背景技術：
MOCVD (金屬有機化學氣相沉積)設備，是LED外延芯片生產所必需的設備之一。MOCVD設備上大部分氣體管道中間是用波紋管連接的，經過長時間使用后，波紋管會出現變形的情況，導致波紋管連接處的卡箍由于變形松動帶來漏氣，從而導致工藝參數發生變化，不利于外延生長。
實用新型內容本實用新型的目的在于克服上述現有技術的不足，提供一種結構簡單、操作方便、能夠避免波紋管在安裝后出現松動，從而造成漏氣故障的波紋管固定架。一種波紋管固定架，包括底板，所述底板兩端分別設有與其相垂直的波紋管，所述波紋管之間套設有與底板相平行的調節板，所述調節板具有沿波紋管移動的自由度，所述調節板與波紋管的相接端設有固定調節板位置的調節螺母。本實用新型結構簡單，制作方便，可方便將波紋管的長度固定，使其不會由于長時間使用發生變形連接處松動漏氣，而且操作方便，制造成本也較低。
圖1為本實用新型的結構示意圖。
具體實施方式
實施例1參見圖1，本實用新型提供的一種波紋管固定架，包括底板I，所述底板I兩端分別設有與其相垂直的波紋管2，所述波紋管2之間套設有與底板I相平行的調節板3，所述調節板3具有沿波紋管2移動的自由度，所述調節板3與波紋管2的相接端設有固定調節板3位置的調節螺母4。使用時，通過旋動調節螺母4，便可實現對調節板3的位置調節，當波紋管2被調節板3帶動，調整至合適長度時，鎖緊調節螺母4，波紋管2的長度便得到了固定，不會由于外界原因而導致伸長或縮短，使連接處松動，從而發生漏氣而影響工藝參數。
權利要求1.一種波紋管固定架，包括底板，其特征在于所述底板兩端分別設有與其相垂直的波紋管，所述波紋管之間套設有與底板相平行的調節板，所述調節板具有沿波紋管移動的自由度，所述調節板與波紋管的相接端設有固定調節板位置的調節螺母。
專利摘要本實用新型公開了一種波紋管固定架，包括底板，所述底板兩端分別設有與其相垂直的波紋管，所述波紋管之間套設有與底板相平行的調節板，所述調節板具有沿波紋管移動的自由度，所述調節板與波紋管的相接端設有固定調節板位置的調節螺母。本實用新型結構簡單，制作方便，可方便將波紋管的長度固定，使其不會由于長時間使用發生變形連接處松動漏氣，而且操作方便，制造成本也較低。
文檔編號F16L3/00GK202868055SQ20122054070
公開日2013年4月10日 申請日期2012年10月22日 優先權日2012年10月22日
發明者林長軍 申請人:合肥彩虹藍光科技有限公司