專利名稱：真空閥的制作方法
技術領域：
本發明涉及一種真空閥，其包括閥殼體、閉鎖裝置以及具有縱軸線以及支承該閉鎖裝置的閥桿，所述閥殼體具有帶有軸線的通道、圍繞該通道的、處于第一平面中的底座以及圍繞該通道的處于第二平面中的對應底座，其中第一平面和第二平面彼此成楔形并且分別與通道的軸線成角度；所述閉鎖裝置在釋放所述通道的打開位置與密封所述通道所的閉合位置之間是可調整的，所述閉鎖裝置具有閉鎖板和對應板，所述閉鎖板在閉鎖裝置的閉合位置中被壓緊在該底座上并且在這種情況下與第一平面平行，所述對應板在閉鎖裝置的閉合位置中被壓緊在對應底座上并且在這種情況中與第二平面平行；所述閥桿為了將該閉鎖裝置從其打開位置調整到閉合位置并且相反地調整而可直線地在平行于閥桿的縱軸線的閉合方向上以及逆著該閉合方向移動。
背景技術：
這樣的真空閥從文獻US 4, 301,993 A中已知，該真空閥具有底座和對應底座，底座和對應底座處于彼此成楔形的第一和第二平面中，并且在真空閥的閉合狀態下，閉鎖板和對應板被壓緊到底座和對應底座上。閉鎖板和對應板被裝配在保持片上，所述保持片通過拱起的連接片彼此相連，所述閥桿作用在所述連接片上。在真空閥閉合時，保持片首先與閥桿一起運動，并且當閉鎖板和對應板與底座和對應底座對置時，通過止擋抵靠到閥殼體固定的對應止擋上來阻止保持片的進一步運動，據此閥桿擠壓拱起的連接片并且由此將閉鎖板和對應板擠開，并且在這種情況下略微偏轉并且壓緊到底座和對應底座上。對于這種構造來說，只可能非常困難地將制造公差保持得足夠小，并且在使用的過程中也會發生不同部分的相對位置的改變。在文獻US 6，056，267中公開了一種真空閥，其中壓緊元件固定在閥桿上，該壓緊元件具有斜面，該斜面與閉鎖裝置的斜面共同作用，以便將閉鎖板在真空閥的閉合狀態下壓緊到底座上。因為閉合力必須通過閥桿來傳遞，所以需要非常硬的構造，其中閥桿必須相應堅固地構造。具有楔形的閉鎖部的真空閥從文獻US 6，367，770 BI中已知。該閉鎖部具有楔形地彼此抵靠的側面，在這些側面上布置有在閥的閉合狀態下貼靠到閥座的同樣彼此成楔形的密封面上的密封部。真空閥的閉合利用僅僅小的閉合力來進行，其中在存在壓差的情況下，密封部之一與密封面之一相擠壓。另一種具有楔形閉鎖部的真空閥從文獻US7,011,294 BI中已知。在真空閥閉合時，閉鎖部在其移動路徑的最后一段中通過布置在閉鎖部上的滑動部分相對于閥殼體滑動地引導。另一種具有楔形閉鎖部的真空閥從文獻US4，548，386中已知。楔形閉鎖部具有兩個被閥桿支承的板。在這兩個板之間有空隙，在其中布置有環。該環和空隙的壁具有楔形的橫截面。通過布置在楔形空隙中的楔形環，這些板在其位置中可以與閥殼體的底座和對應底座相適配。以前已知的、具有楔形閉鎖部的真空 閥的缺點尤其是在于或者真空閥的密封通過有影響的壓差才被實現，或者導致密封部的磨損以及導致產生顆粒的相對大的剪切力被施加到相應的密封部上。
從文獻AT 455907 C和文獻DE 1962121 Al中已知了一種阻塞滑板(Absperrschieber),在所述阻塞滑板中彼此成楔形的閉鎖板通過處于其間的楔部在閉合時而壓向相應地布置的閥座。對于在文獻US 4，779，649 A中公開的滑閥來說，用于閉鎖板和對應板的底座處于平行的平面中。閉鎖板和對應板的彼此朝向的側面彼此楔形地對準，并且與布置在其間的楔部共同作用，所述楔部為了關閉閥而將閉鎖板和對應板擠壓向底座和對應底座。閉鎖板和對應板通過彈簧元件朝向彼此進行加載。
已知其它滑閥，這些滑閥具有閉鎖板和對應板，閉鎖板和對應板彼此平行并且在閉鎖板和對應板之間布置有支撐單元。在真空閥閉合時，閉鎖板和對應板首先與閥桿沿其縱向方向一起被引導，并且接著在與閉鎖板和對應板相連的止擋抵靠到閥殼體固定的對應止擋上之后通過支撐單元撐開，以便壓緊到真空閥的底座和對應底座上，進一步移動的閥桿作用在所述支撐單元上。出于此目的，已知支撐單元的不同構造方案，例如像從文獻US4, 560, 141 A和文獻DE 3 028 786 Al中已知的那樣。從最后提及的文獻中也已知了如下構造方案其中支撐單元具有楔形的構造并且通過中間連接的輥與閉鎖板和對應板的楔形的表面共同作用，其在閉鎖板和對應板的朝向彼此的側面上通過空隙來構造。在制造公差方面，在構造時為了將閉鎖板和對應板壓緊到底座和對應底座上而必須設置足夠大的行程。但是在板和對應板撐開時，在整個行程上產生顆粒。為了減小行程，必須以非常小的制造公差來進行制造，并且硬度高，這與相應的成本相關聯。
發明內容
本發明的任務在于，提供一種開頭所述類型的真空閥，其中在成本低廉地構造時可實現閉鎖板和對應板的僅僅小的行程以將閉鎖板和對應板通過支撐單元壓緊到底座和對應底座上。根據本發明，這通過具有權利要求I的特征的真空閥實現。對于本發明的真空閥來說，閉鎖板和對應板不僅在閉鎖裝置的閉合位置中而且在其打開位置中都平行于底座或者說對應底座的平面，其中底座和對應底座的平面進而閉鎖板和對應板也彼此成楔形，并且分別與通道的軸線成角度。在這種情況下，它們相對于與通道的軸線成直角的定向傾斜相反的、優選同樣大的角度。底座和對應底座的平面優選與通道的軸線所夾的角度總是大于45°、特別優選大于70°。這兩個平面彼此所夾的角度優選小于45°、特別優選小于20°。固定在閥桿上的支撐單元具有平行于底座的平面的第一支撐面和平行于對應底座的平面的第二支撐面。第一支撐面和第二支撐面因此平行于閉鎖板或者說對應板。為了撐開閉鎖板和對應板，以便將閉鎖板壓緊到底座上并且將對應板壓緊到對應底座上，支撐單元相對于閉鎖板和對應板可在閥桿的平行于閥桿的縱軸線的閉合方向上移動。在閉合真空閥時，在平行于閥桿的縱軸線的閉合方向上，閥桿從第一位置出發經由第二位置移動到第三位置，在所述第一位置中，閉鎖單元處于其打開位置并且釋放通道；在所述第二位置中，閉鎖單元進入到真空閥的通道中；在所述第三位置中，閉鎖單元處于其閉合位置。有利地，在閥桿的第二位置中，當閉鎖裝置的止擋抵靠到閥殼體固定的對應止擋上并且由此阻塞閉鎖板和對應板在閥桿的閉合方向上的進一步移動時，閉鎖板與底座間隔距離地布置，并且對應板與對應底座間隔距離地布置。在閥桿從其第二位置進一步移動到其第三位置時，支撐單元相對于閉鎖板和對應板在閥桿的閉合方向上移動，并且由此閉鎖板和對應板被撐開以及被壓緊到底座或者說對應底座上，以便密封通道。通過底座和對應底座以及閉鎖板和對應板的楔形的結構，閉鎖板和對應板在閥桿的第二位置中距底座或者說對應底座所具有的間距被設計得相對較小、優選小于2mm。板和對應板的在閥桿的第二位置和第三位置之間引起的行程由此相應地小。閉鎖板和對應板通過支撐單元的撐開通過平行于通道的軸線平行移動閉鎖板和對應板來實現。通過這種平行移動增大了閉鎖板和對應板的彼此間的間距。支撐單元的第一和第二支撐面為了撐開閉鎖板和對應板通過如下方式可直接與閉鎖板或者說對應板共同作用，即它們貼靠在閉鎖板和對應板的相應的壓緊面上。閉鎖板的壓緊面在這種況下平行于第一平面，并且對應板的壓緊面平行于第二平面。但是，也可能在第一和第二支撐面與閉鎖板和對應板之間中間連接傳遞元件。例如，可以分別設置滾動軸承，所述滾動軸承的滾動體一方面在相應的支撐面上、另一方面在相應的壓緊面上滾動。為了撐開閉鎖板和對應板，在第一支撐面與閉鎖板之間和/或在第二支撐面與對應板之間的共同作用因此也可以是間接的。
根據本發明，閉鎖裝置還具有至少一個相對于支撐單元在閥桿的縱軸線的方向上可移動地引導的支承部分，該支承部分與閉鎖板和/或對應板關于閥桿的縱軸線不可移動地連接。由此有利地引導閉鎖板和對應板。
本發明的其它優點和細節接下來根據附圖來進行闡述。在附圖中示出
圖I是根據本發明的真空閥在閉合狀態下的斜視 圖2和3是圖I所不的真空閥的視圖和側視 圖4是沿著圖2的線AA的剖面 圖5是圖4的放大的細節B;
圖6是真空閥根據圖I在打開狀態下的斜視 圖7是真空閥在打開狀態下的類似于圖4的剖面圖(出于簡潔原因，省去了使閥桿相對于閥殼體密封的的波紋管);
圖8是在閉鎖裝置的中間位置中的類似于圖7的剖面 圖9是圖8的放大的細節C ；
圖10和11是閉鎖裝置的視圖和側視 圖12、13、13是沿著圖10的線DD、EE和FF的剖面 圖15是省去了對應板的閉鎖裝置的斜視 圖16和17是閉鎖裝置的從不同觀察方向來看的分解示圖。
具體實施例方式根據本發明的真空閥的實施例在圖I至7中示出。所述真空閥具有閥殼體1，所述閥殼體具有帶有軸線3的通道2。為了連接真空設備的其它部分、例如(相應的)真空室和/或管路，所述閥殼體I具有第一和第二凸緣4、5，所述第一和第二凸緣4、5形成通道2的進口和出口。凸緣4、5的外表面與通道2的軸線3成直角。
通道2貫穿閥殼體I的板形區段6、7中的窗狀空隙。在朝向板形區段7的側面上，包圍通道2中的板形區段6或者說板形區段6中的窗形開口的區域形成用于閉鎖裝置12的閉鎖板10的底座8。板形區段7的朝向板形區段6的側面在包圍通道2或者說板形區段7中的窗形開口的區域中形成用于閉鎖裝置12的對應板11的對應底座9。板形區段6、7彼此成角度，從而使得底座8和對應底座9處于第一和第二平面13、14中，所述第一和第二平面13、14彼此成楔形并且分別與通道2的軸線3成角度。第一和第二平面13、14在這種情況下相對于與軸線3成直角的定向傾斜了相反的、同樣大的角度。相對于這種直角的定向的傾斜在這種情況下圍繞與下面進一步描述的閥桿23的縱軸線26成直角的軸線進行。第一和第二平面13、14彼此所夾的角度15優選在5°到20°之間，例如在大約10°的范圍中。閉鎖裝置12的閉鎖板10平行于第一平面13。閉鎖裝置12的對應板11平行于第·二平面14。閉鎖裝置12進一步具有在閉鎖板10與對應板11之間的楔形支撐單元16。該支撐單元16具有第一支撐面17以及第二支撐面18，所述第一支撐面17平行于第一平面13并且與閉鎖板10共同作用，所述第二支撐面18平行于第二平面14并且與對應板11共同作用。第一支撐面17在所示的實施例中由滑移部件(Gleiteinsatz) 19的表面形成，滑移部件19布置在閉鎖裝置12的基體21的凹部中，基體21的指向閉鎖板10的側面設有所述滑移部件19。第二支撐面18由滑移部件20的表面形成，滑移部件20布置在基體21的凹部中，基體21的指向對應板11的側面設有所述滑移部件20。滑移部件19、20由合適的滑移材料、例如特氟隆(Teflon)制成。其它滑移材料、優選由塑料構成的滑移材料也可被采用。支撐單元16被固定在閥桿23的、關于閉合方向22前置的端部上。在所示的實施例中，閥桿23為此被旋緊到支撐單元16的連接件24上，該連接件24就其而言被旋緊到支撐單元16的基體21上。閥桿23與通道2的軸線3成直角。第一和第二平面13、14相對于與閥桿23的縱軸線26平行的定向傾斜了相反的、同樣大的角度，更確切地說圍繞與閥桿23的縱軸線26成直角的、并且與通道2的軸線3成直角的軸線傾斜。閥桿23通過隔膜(Balg) 51 (其例如被構造為波紋管或者薄膜隔膜或者特氟隆隔膜)相對于閥殼體I被密封(其僅在圖4和5中不出)。閥桿23相對于閥殼體I的其它密封同樣是可能的，例如通過在閥桿23與由閥桿23貫通的、穿過閥殼體I的通道之間布置的O環(相當于移動實施方案)。為了打開和閉合真空閥，也就是為了在打開位置和閉合位置之間調整閉鎖裝置12，使用閥驅動裝置25，該閥驅動裝置25在所示的實施例中由活塞氣缸單元來形成，其中閥桿23是活塞氣缸單元的活塞桿。閥桿23沿其縱軸線26的方向可由閥驅動裝置25移動，以在閉合方向22上閉合真空閥，以逆著閉合方向22打開真空閥。為了將閉鎖板10和對應板11拉向支撐單元16的第一和第二支撐面17、18并且與這些支撐面保持接觸，使用兩個彈簧元件27，所述彈簧元件27關于與閥桿23的縱軸線26成直角、并且與通道2的軸線3成直角的方向布置在支撐單元16的兩側。彈簧元件27中的每個都具有根據板式彈簧的類型構造的第一臂28以及根據板式彈簧的類型構造的第二臂29，所述第一臂28例如通過焊接被固定在閉鎖板10上；所述第二臂29例如通過焊接被固定在對應板11上。所述第一和第二臂28、29在關于閉合方向22在前的端部區段中例如通過擰緊相互連接。緊接著，所述第一和第二臂28、29在其連接區段上楔形地相互分開延伸。代替兩個所示的彈簧元件27，也可以設置更多或更少的彈簧元件，以便將閉鎖板10和對應板11拉向支撐單元16，并且也可以以其它方式構造所述彈簧元件。為了附加地使閉鎖板10和對應板11的相對位置穩定，在支撐單元16的側面上將連接件30旋緊到閉鎖板10上，而在支撐單元16的對置的側面上將同樣構造的連接件被旋緊到對應板11上。連接件30、31分別具有鑰匙孔形的空隙32，在該空隙32的較窄的區域中嚙合有被安置在兩個板10、11中的另一個板上的螺栓33，該螺栓33具有蘑菇狀的頭部。如此設計連接件30、31和螺栓33的尺寸，從而在相應的螺栓33的頭部與空隙32之間得到自由空間，該自由空間在下面進一步描述的真空閥的閉合的情況下能夠撐開閉鎖板10和 對應板11。在裝配閉鎖裝置時，首先將螺栓33的頭部插入到空隙32的增大的區段中，接著將其移動到空隙32的具有較小的隙縫寬度的區段中，其中該隙縫寬度小于螺栓33的頭部的直徑，據此彈簧元件27的第一和第二臂28、29彼此旋緊。 閉鎖板10和對應板11由閉鎖裝置12的支承部分34來支承，該支承部分34相對于支撐單元16沿著閥桿23的縱軸線26的方向可移動地引導。為此該支承部分34布置在支撐單元16的基體21的空隙35中，并且該支承部分34被固定在基體21上的導向螺栓36貫穿。布置在導向螺栓36上的、一方面在支承部分34上而另一方面在基體21上進行支撐的彈簧37相對于基體21將支承部分34預張緊到由基體21上的設備限定的初始位置中。逆著彈簧37的力，支承部分34可逆著閉合方向22相對于基體21移動。閉鎖板10和對應板11與支承部分34沿著閉合方向22以及逆著閉合方向22不可移動地相連。為此使用板形的、優選可彈簧彈性地彎曲的連接元件38、39。所述連接元件38,39與支撐單元16的基體21通過以下方式形狀配合地連接，即基體21的接片40、41嚙合到連接元件38、39的凹部中。連接元件38、39的、在與基體21的形狀配合的連接的兩側遠離基體21的、彈簧彈性的臂具有孔42、43，在閉鎖板10或者說在對應板11上布置的塞子嚙合到所述孔42、43中。在真空閥的打開狀態下，閉鎖裝置12處于打開位置，在所述打開位置中，閉鎖裝置12釋放通道2，并且閥桿23處于第一位置中(參見圖6和7)。為了閉合真空閥，閥桿23由閥驅動裝置25平行于其縱軸線26在閉合方向22上移動。在這種情況下，閉鎖裝置12進入到通道2中，直至閉鎖裝置12在閥桿23的第二位置中占據中間位置(參見圖8和9)。在該中間位置中，閉鎖板10和對應板11沿著通道2的軸線3的方向看覆蓋了通道2，但是還從底座8和對應底座9中突出。在閥桿23的第二位置中，止擋46抵靠到閥殼體固定的對應止擋47上，所述止擋46由彈簧元件27的、關于閉合方向22的前置的端部形成。所述對應止擋47在所示的實施例中由連接板形的區段6、7的連接區段的區域形成(止擋46在圖7和圖12至15中繪出，用于對應止擋的附圖標記47在圖7中記錄)。止擋46例如也可以由閉鎖板10和對應板11的關于閉合方向22在前的端部來形成。閥桿23從其第二位置進一步在閉合方向22上移動，其中閉鎖板10和對應板11在閉合方向22上的進一步移動從現在起被阻塞。因此，支撐單元16相對于閉鎖板10和對應板11在閉合方向22上移動，其中支撐單元16撐開閉鎖板10和對應板11，從而使得閉鎖板10和對應板11被壓緊到底座8和對應底座9上。在這種情況下，布置在閉鎖板10上的、彈性的環形密封部48被壓緊到底座8的密封面上，由此相對于底座8密封閉鎖板10。進一步地，布置在對應板11上的、彈性的接觸環49被壓緊到對應底座9的接觸面上。彈性的接觸環(Anlagering) 49例如可由與密封部48相同的材料、例如由氟橡膠(Viton)制成。為了在閉鎖板10與對應板11之間實現所定義的壓力狀態，對應板11設有至少一個通道開口 50。在真空閥的閉合狀態下，閉鎖裝置12占據其閉合位置，并且閉鎖板10密封通道2(參見圖I至5)。通過關于閥桿23的縱軸線26的方向不可移動地將閉鎖板10和對應板11與支承部分34相連，支承部分34在將閥桿23從其第二位置移動到其第三位置時相對于支撐單元
16移動。在支撐單元16進一步在閉合方向22上運動期間，阻塞支承部分34在閉合方向22上的運動。支承部分34相對于支撐單元16在這種情況下逆著彈簧37的力進行移動。當通過閥桿23從其第三位置出發逆著閉合方向22移動而又打開真空閥時，彈簧將至少一個止擋46保持壓緊到至少一個對應止擋47上，并且彈簧元件27將閉鎖板10和對應板11從底座8和對應底座9中拉回，直至閉鎖裝置12再度占據圖8和9中所示的中間位置。在閥桿23從其第二位置進一步移動到第一位置時，閉鎖板10和對應板11與支撐單元16和閥桿23 —起逆著閉合方向22運動，直至到達閉鎖裝置12的打開位置。在多種應用中，當在閉鎖裝置12的兩側本來沒有或僅有很少的壓差時，才應打開 真空閥。可由彈簧元件27施加的力接著能夠被相應低地度量。也可規定的是，在閉鎖裝置12的閉合位置中將對應板11密封地壓緊到對應底座
9上，其中所述對應板11在沒有通道開口 50的情況下進行構造。在閉鎖板10與對應板11之間的空間接著可設有中間抽吸部，其中通過其實現抽吸部的管路通過閥是可阻斷的。進一步地，在閉鎖板10與對應板11之間的空間能夠附加地通過可阻斷的閥與在閉鎖裝置的兩側其中的一側上的真空區域相連，以便實現壓力補償。本發明所示的實施例的不同修改方案是可考慮的和可實現的，而不會偏離本發明的范圍。因此，支承部分34例如能夠僅僅或者與閉鎖板10或者與對應板11關于閉合方向22不可移動地相連，并且與這兩個板中的另一個板的不可移動的連接通過相互地連接這兩個板10、11來產生。用于閉鎖板10和對應板11的、單獨的支承部分34也是可考慮的和可實現的。在另一個經過修改的實施方式中，閉鎖板10和/或對應板11通過支承部分與支撐單元16連接，該支承部分關于閉合方向22與支撐單元16不可移動地連接，并且與閉鎖板10或者說對應板11可移動地連接。彈簧37也可以省略，并且在打開真空閥時，止擋46可通過閥桿從其第三位置到其第二位置的行程，或者至少通過該行程的一部分經由至少一個彈簧元件27與支撐面17、18以及閉鎖板10和對應板11的楔形結構連接，從而與對應止擋47保持接觸。密封部48也可以布置在底座8上，并且閉鎖板10設有與所述密封部共同作用的密封面。彈性的接觸環49也可以布置在對應底座9上，并且與所述接觸環共同作用的接觸面可以布置在所述對應板11上。閉鎖板10和對應板11在所示的實施例中在視圖中來看構造成圓形的。其它的構造方案、例如矩形的構造方案也是可考慮的和可實現的。閉鎖板10和/或對應板11的滑移部件19、20也可以省略，并且支撐面17、18直接由基體21的表面形成。優選在這種情況下，滑移部件可布置在閉鎖板10和/或對應板11中，其表面形成與支撐面17、18共同作用的接觸面或者壓緊面。在利用滑移部件19、20構造支撐單元16的情況下，閉鎖板10和/或對應板11也可以附加地設有滑移部件。在第一支撐面17與閉鎖板10之間和/或在第二支撐面18與對應板11之間也可設置傳遞元件，以將有支撐單元16所施加的力傳遞到閉鎖板10或者說對應板11上，通過該力，所述閉鎖板10或者說對應板11相對于第一支撐面17或者說第二支撐面18平行地引導。這種例如滾子形式或者球形式的滾動體可以布置在相應的滾動體保持架(WjilzkSrperkjifig)中。相應的滾動體保持架可以保持在支撐單元16上或者保持在閉鎖板10或者說對應板11上。根據本發明的真空閥的特征在于，在閉合和打開真空閥時產生相對少的顆粒。對于根據本發明的真空閥來說，可在需要維修、例如更換密封部48之前實現長的使用壽命(Standzeit)0附圖標記列表
I閥殼體
2通道 3軸線 4凸緣 5凸緣 6板形區段 7板形區段 8底座 9對應底座 10閉鎖板 11對應板 12閉鎖裝置 13第一平面
14第二平面 15角度 16支撐單元
17第一支撐面18第二支撐面19滑移部件20滑移部件21基體22閉合方向23閥桿24連接件25閥驅動裝置26縱軸線27彈簧元件28第一臂29第二臂30連接件31連接件32空隙33螺栓 34支承部分35空隙36導向螺栓37彈簧38連接元件39連接元件40接片41接片42孔43孔44塞子45塞子46止擋47對應止擋48密封部49彈性的接觸環50通道開口51隔膜
權利要求
1.真空閥，其包括 具有通道(2)、圍繞通道(2)的底座(8)和圍繞通道(2)的對應底座(9)的閥殼體(1)，所述通道具有軸線(3)，所述底座處于第一平面(13)中，所述對應底座處于第二平面(14)中，其中所述第一和第二平面(13，14)彼此成楔形并且分別與所述通道(2)的軸線(3)成角度； 閉鎖裝置(12)，所述閉鎖裝置能夠在釋放所述通道(2)的打開位置與密封所述通道(2)的閉合位置之間調整，所述閉鎖裝置(12)具有閉鎖板(10)和對應板(11)，所述閉鎖板(10)在閉鎖裝置(12)的閉合位置被壓緊在所述底座(8)上并且在這種情況下與所述第一平面(13)平行，所述對應板(11)在閉鎖裝置(12)的閉合位置被壓緊在所述對應底座(9)上并且在這種情況下與所述第二平面(14)平行；以及 具有縱軸線(26)以及支承所述閉鎖裝置(12)的閥桿(23)，所述閥桿為了將所述閉鎖裝置(12)從其打開位置調整到其閉合位置并且相反地調整而能夠直線地在平行于所述閥桿(23)的縱軸線(26)的閉合方向(22)上以及逆著所述閉合方向(22)移動， 其特征在于，所述閉鎖板(10)和對應板(11)也在所述閉鎖裝置(12)的打開位置中平行于第一和第二平面(13，14);并且所述閉鎖裝置(12)具有位于所述閉鎖板(10)與對應板(11)之間的支撐單元(16)，在所述支撐單元上固定閥桿(23)，并且為了撐開所述閉鎖板(10)和對應板(11)以及為了將所述閉鎖板(10)壓緊到所述底座(8)上并且將所述對應板(11)壓緊到所述對應底座(9)上而具有平行于第一平面(13)的第一支撐面(17)和平行于第二平面(14)的第二支撐面(18)，并且相對于所述閉鎖板(10)和對應板(11)在閥桿(23)的閉合方向(22)上能夠移動；并且所述閉鎖裝置(12)進一步具有至少一個相對于所述支撐單元(16)能夠沿著所述閥桿(23)的縱軸線(26)的方向移動地引導的支承部分(34)，所述支承部分與所述閉鎖板(10)和/或對應板(11)關于所述閥桿(23)的縱軸線(26)的方向不能夠移動地連接。
2.根據權利要求I所述的真空閥，其特征在于，所述閥桿(23)為了將所述閉鎖裝置(12)從其打開位置調整到其閉合位置在閉合方向(22)上能夠從第一位置經由第二位置移動到第三位置，在所述第一位置中，所述閉鎖裝置(12)處于其打開位置并且釋放所述通道(2);在所述第二位置中，所述閉鎖裝置(12)進入到所述通道(2)中；在所述第三位置中，所述閉鎖裝置(12)處于其閉合位置，其中在所述閥桿(23)從其第一位置移動到其第二位置時，所述閉鎖板(10)和對應板(11)隨著閥桿(23)在閉合方向(22)上一起運動，并且在所述閥桿(230)的第二位置中，所述閉鎖裝置(12)的至少一個止擋(46)抵靠到閥殼體固定的對應止擋(47)上，所述對應止擋(47)在所述閥桿(23)從其第二位置移動到其第三位置時阻塞所述閉鎖板(10)和對應板(11)在閉合方向(22)上的進一步移動，并且所述支撐單元(16)在所述閥桿(23)從其第二位置移動到其第三位置時通過所述支撐單元(16)相對于所述閉鎖板(10)和對應板(11)的移動而撐開所述閉鎖板(10)和對應板(11)，并且將所述閉鎖板(10)和對應板(11)壓緊到所述底座(8)或者說對應底座(9)上。
3.根據權利要求2所述的真空閥，其特征在于，在所述閥桿(23)的第二位置中，所述閉鎖板(10 )與所述底座(8 )間隔距離地布置，并且所述對應板(11)與所述對應底座(9 )間隔距離地布置。
4.根據權利要求I至3中任一項所述真空閥，其特征在于，存在至少一個將所述閉鎖板(10)和對應板(11)拉向所述支撐單元(16)的彈簧元件(27)。
5.根據權利要求4所述的真空閥，其特征在于，所述彈簧元件(27)具有第一臂(28)和第二臂(29)，所述第一臂固定在所述閉鎖板(10)上；所述第二臂固定在所述對應板(11)上，其中所述第一臂(28)和第二臂(29)在關于所述閉合方向(22)前置的端部區段中相互連接。
6.根據權利要求5所述的真空閥，其特征在于，至少一個止擋(46)由至少一個彈簧元件(27 )的、關于所述閉合方向(22 )前置的端部形成。
7.根據權利要求4至6中任一項所述的真空閥，其特征在于，在所述支撐單元(16)的兩側分別布置將所述閉鎖板(10)和對應板(11)拉向所述支撐單元(16)的彈簧元件(27)。
8.根據權利要求I至7中任一項所述的真空閥，其特征在于，所述支承部分(34)通過彈簧(37)預張緊到初始位置中，并且在閉合真空閥時能夠逆著彈簧(37)的力相對于支撐單元(16)逆著所述閉合方向(22)移動。
9.根據權利要求I至8中任一項所述的真空閥，其特征在于，所述第一和第二支撐面(17，18)由滑移部件(19)形成，所述滑移部件保持在所述支撐單元(16)的基體(21)上。
全文摘要
一種真空閥，其包括具有通道(2)、圍繞通道(2)的底座(8)和圍繞通道(2)的對應底座(9)的閥殼體(1)，該通道(2)具有軸線(3)，該底座(8)處于第一平面(13)中，該對應底座(9)處于與第一平面(13)成楔形的第二平面(14)中；閉鎖裝置(12)，該閉鎖裝置(12)在釋放該通道(2)的打開位置與密封該通道(2)的閉合位置之間是可調整的，該閉鎖裝置(12)具有平行于第一平面(13)的閉鎖板(10)和平行于第二平面(14)的對應板(11)；以及具有縱軸線(26)以及支承該閉鎖裝置(12)、可直線地移動的閥桿(23)。閉鎖裝置(12)為了撐開閉鎖板(10)和對應板(11)而具有位于閉鎖板(10)與對應板(11)之間的支撐單元(16)，所述支撐單元(16)相對于閉鎖板(10)和對應板(11)在閥桿(23)的閉合方向(22)上是可移動的，并且所述閉鎖裝置(12)具有相對于支撐單元(16)可移動地被引導的支承部分(34)，所述支承部分(34)與閉鎖板(10)和/或對應板(11)相連。
文檔編號F16K3/18GK102713379SQ201180007074
公開日2012年10月3日 申請日期2011年1月7日 優先權日2010年1月25日
發明者F.蓋澤 申請人:Vat 控股公司