專利名稱：新型磁傳動轉動機構的制作方法
技術領域：
本實用新型涉及真空技術領域，具體是一種新型磁傳動轉動機構。
背景技術：
隨著科學技術的發展，對真空系統的要求越來越高，這也意味著對包括真空轉動傳動機構在內的真空零部件的隙漏率要求越來越高。真空技術和真空零部件關鍵關鍵技術不僅僅是隙漏率，還在于它們高可靠性。傳統真空轉動傳動機構的動密封解決方案，包括骨架油封解決方案、ο型圈密封方案和磁流體解決方案等等。骨架油封解決方案和ο型圈密封方案存在隙漏率問題、可靠性問題。磁流體解決方案存在成本高，可靠性問題；尤其在潮濕地區和有水蒸氣的環境壽命很短。
實用新型內容本實用新型所要解決的技術問題在于提供一種結構簡單、安裝維修方便、可靠性強、成本適中的新型磁傳動轉動機構。為了實現上述目的，本實用新型采用如下技術方案一種新型磁傳動轉動機構，其特征在于所述磁傳動機構包括隔板，所述隔板兩側設有上軸承和下軸承，所述上軸承設有上精密轉軸，所述下軸承設有下精密轉軸，所述上精密轉軸和下精密轉軸均設有磁性材料部件，利用磁性材料部件的吸引力或互斥力來傳動扭力，轉動扭力利用磁場從外面通過密封隔板傳到真空中來。所述隔板優選不銹鋼爐體或不銹鋼板，還可選用其他金屬或非金屬材料。當有轉動動作需要傳遞時，轉動一側固定在上軸承上的上精密轉軸時，上精密轉軸所帶的磁性材料部件也跟隨轉動，由于吸引力或排斥力的作用，沿著隔板對稱設置的磁性材料部件、下精密轉軸也跟隨轉動，就可以帶動下精密轉軸所連接的部件的轉動。本實用新型所述的新型磁傳動轉動機構可用于包括滾珠軸承結構在內的其他一切軸承結構之中。本實用新型的有益效果是結構簡單合理，便于安裝維修，不存在動密封的缺點、無隙漏可靠性高，成本適中。
圖1是本實用新型結構示意圖。圖中1-隔板21-磁性材料部件22-磁性材料部件31-上軸承32-下軸承41-上精密轉軸42-下精密轉軸
具體實施方式
為了使本實用新型實現的技術手段、創作特征、達成目的與功效易于明白了解，下面結合具體圖示，進一步闡述本實用新型。如圖1所示，一種新型磁傳動轉動機構，所述磁傳動機構包括隔板1，所述隔板1兩側對稱設有上軸承31和下軸承32，所述上軸承31設有上精密轉軸41，所述下軸承32設有下精密轉軸42，所述上精密轉軸41和下精密轉軸42均設有磁性材料部件21、磁性材料部件22，利用磁性材料部件的吸引力或互斥力來傳動扭力，轉動扭力利用磁場從外面通過密封隔板傳到真空中來。所述隔板1選用不銹鋼爐體或不銹鋼板，對于隔板的選材不做任何限定，除示出的不銹鋼爐、不銹鋼板之外的其他金屬或者非金屬材料也可稱為隔板的替代方案。當有轉動動作需要傳遞時，轉動一側固定在上軸承31上的上精密轉軸41時，上精密轉軸41所帶的磁性材料部件21也跟隨轉動，由于吸引力或排斥力的作用，沿著隔板1對稱設置的磁性材料部件22會帶動下精密轉軸42轉動，所述下精密轉軸42帶動與下精密轉軸所連接的部件的轉動。本實用新型的機構設計成功應用于離子鍍膜中磁傳動高壓電極；成功應用于硅單晶區熔設備的輔助家人裝置和廢料接料盒裝置。以上顯示和描述了本實用新型的基本原理和主要特征和本實用新型的優點。本行業的技術人員應該了解，本實用新型不受上述實施例的限制，上述實施例和說明書中描述的只是說明本實用新型的原理，在不脫離本實用新型精神和范圍的前提下，本實用新型還會有各種變化和改進，這些變化和改進都落入要求保護的本實用新型范圍內。本實用新型要求保護范圍由所附的權利要求書及其等效物界定。
權利要求1.一種新型磁傳動轉動機構，其特征在于所述磁傳動機構包括隔板，所述隔板兩側對稱設有上軸承和下軸承，所述上軸承設有上精密轉軸，所述下軸承設有下精密轉軸，所述上精密轉軸和下精密轉軸均設有磁性材料部件。
2.根據權利要求1所述新型磁傳動轉動機構，其特征在于所述隔板為不銹鋼爐體或不銹鋼板。
專利摘要本實用新型公開了一種新型磁傳動轉動機構，屬于真空技術領域。包括隔板、磁性材料部件、精密轉軸、軸承，所述精密轉軸設在隔板的兩側，轉動扭力利用磁場從外面通過密封隔板傳到真空中來。本實用新型的有益效果是結構簡單合理，便于安裝維修，沒有隙漏發生，真空可以穩定控制，可以采用無極調速、可以正反相旋轉。
文檔編號F16H49/00GK202118205SQ20112018757
公開日2012年1月18日 申請日期2011年6月3日 優先權日2011年6月3日
發明者張玉春, 董湧法 申請人:上海涌真機械有限公司