專利名稱：風門裝置的制作方法
技術領域：
本實用新型涉及半導體清洗設備領域，尤其涉及一種風門裝置。
背景技術：
在半導體清洗設備中，微環境的狀態對晶片的清洗效果影響比較大，保持一個良好的設備微環境對工藝的進行至關重要。通常，設備上方的FFU(Filter Fan Unit)會產生過濾后的干凈的氣流，氣流自上而下流向設備中的其他單元，如清洗腔室、機械手區域、 CDS(ChemiCal Dispense System)，同時會有排氣裝置將設備中可能產生的被污染氣體排出，從而使設備中的氣流處于一個動態平衡的狀態。通常會在設備的排氣口安裝風門，以控制排氣的開關。半導體清洗設備的風門通常都是手動開關的，但是風門有時是安裝在設備的上部，不方便人工控制。并且，在做半導體工藝的過程中，有時是沒有人在現場的，如果出現需要開關風門的情況，這時候就不能滿足設備的需要。如果設備中有化學液揮發出來，風門堵塞后，大量的化學氣體會留在設備中，可能造成安全事故。
實用新型內容(一)要解決的技術問題本實用新型的目的是設計一種自動開關的風門裝置，以滿足半導體設備的需要。( 二 )技術方案為達到上述目的，本實用新型提出了一種風門裝置，包括風門；擺動氣缸，其轉軸與所述風門的轉軸連接；壓差計，其與所述風門和設備外部連接。其中，還包括聯軸器，其設置于所述擺動氣缸的轉軸和所述風門的轉軸之間。其中，還包括支架，用于將所述擺動氣缸設置于所述風門上。其中，所述轉軸與所述風門內的擋板連接。(三)有益效果本實用新型的上述技術方案具有如下優點本實用新型的風門裝置設計簡單，效果好，當風門附近與設備外部的氣壓差超出設定范圍時，可實現風門的自動打開，從而避免安全事故的發生。
圖1為本實用新型風門裝置實施例的示意圖；圖2為本實用新型風門裝置實施例的氣缸的示意圖。
具體實施方式
以下結合附圖和實施例，對本實用新型的具體實施方式
作進一步詳細描述。以下實施例用于說明本實用新型，但不用來限制本實用新型的范圍。如圖1所示為本實用新型風門裝置實施例的示意圖，本實用新型的風門裝置位于設備內部，并且包括風門1、擺動氣缸4、聯軸器5、支架6和壓差計7。差壓計7的一端與風門1連接而另一端穿過設備外板8從而與設備外部連接，以檢測它們之間的氣壓差。用聯軸器5將風門1的轉軸2與擺動氣缸4的轉軸連接，風門1的轉軸2與風門1內的擋板 3相連接，同時用支架6將擺動氣缸4固定在風門1的面板上。如圖2所示，擺動氣缸4的工作由兩位五通電磁閥來控制(未示出，其設置于擺動氣缸4上或附近)，擺動氣缸4的氣源由設備中的壓縮空氣來提供。本實用新型的工作原理是擋板3的初始位置為與風門法蘭9成10°，當差壓計7 檢測到氣壓差超出設定范圍時，電磁閥動作，同時氣缸4會擺動80°，帶動轉軸上的擋板3 轉動80°，此時擋板3與設備的風門法蘭9垂直，風門完全打開，氣體在風門中的流動橫截面最大(氣體的流動方向如圖1中的箭頭所示)，以保證設備中氣體可以快速排出。當排出足夠氣體時，差壓計會檢測到氣壓差處于設定范圍之內，從而控制電磁閥動作，氣缸往回擺動80°，帶動擋板回到初始位置，風門自動關閉。以上所述僅是本實用新型的實施方式，應當指出，對于本技術領域的普通技術人員來說，在不脫離本實用新型技術原理的前提下，還可以做出若干改進和變型，這些改進和變型也應視為本實用新型的保護范圍。
權利要求1.一種風門裝置，其特征在于，包括 風門(1)；擺動氣缸G)，其轉軸與所述風門(1)的轉軸( 連接； 壓差計(7)，其與所述風門(1)和設備外部連接。
2.如權利要求1所述的風門裝置，還包括聯軸器(5)，其設置于所述擺動氣缸(4)的轉軸和所述風門⑴的轉軸⑵之間。
3.如權利要求2所述的風門裝置，還包括支架(6)，用于將所述擺動氣缸(4)設置于所述風門(1)上。
4.如權利要求3所述的風門裝置，其特征在于，所述轉軸⑵與設置于所述風門⑴內的擋板C3)連接在一起。
專利摘要本實用新型公開了一種風門裝置，包括風門(1)；擺動氣缸(4)，其轉軸與風門(1)的轉軸(2)連接；壓差計(7)，其與風門(1)和設備外部連接。本實用新型的風門裝置設計簡單，效果好，當風門附近與設備外部的氣壓差超出設定范圍時，可實現風門的自動打開，從而避免安全事故的發生。
文檔編號F16K1/18GK201954009SQ20102070086
公開日2011年8月31日 申請日期2010年12月27日 優先權日2010年12月27日
發明者何金群, 昝威, 裴立坤 申請人:北京七星華創電子股份有限公司