專利名稱：一種用于真空設備超高真空閥的閥頭密封結構的制作方法
技術領域：
本實用新型涉及一種高真空閥門技術，特別是一種用于高真空、 超高真空的電子管排氣設備和特殊材料真空熱處理設備的超高真空 閥的閥頭密封結構。
背景技術：
本技術領域的人十分清楚一般高、低真空閥門，密封墊圈的材料
為橡膠，不能承受(S15(TC)高溫烘烤。那么，能使用在超高真空設 備上的超高真空閥門必須滿足1)能承受高溫200 45CTC多次烘烤；
2)放氣量小，氣密性好；3)重復性好；4)流導大。
現行的超高真空閥門有小通徑《Omm的全金屬閥門，其主要部 件是無氧銅閥頭，不銹鋼閥體和傳動導向機構。閥座刀口型式為直角， 導向機構起保證閥門重復性的作用，即刀口在閥頭上壓出的刀痕每次 都能重合。此類閥通道為S50mm，流導小，大型超高真空系統應用此 閥會嚴重影響抽速。大通道閥門閥頭為氟橡膠圈，出氣量較大 (8.2E-4Pa*L's-1 'cm-2h-1， 25°C)，烘烤溫度高于20(TC時，氟 橡膠會發生失效。此類閥門裝入真空系統中，真空度難以達到 5E-8Pa。
實用新型內容
本實用新型的目的是提供一種用于真空設備超高真空閥的閥頭 密封結構，能使系統真空度達到5E-8Pa，同時耐高溫性能好。
為了實現本實用新型的目的，設計者提出的具體技術方案是它由活套法蘭、閥門本體、閥頭、閥頭支撐、閥頭運動機構、不銹鋼波 紋管、閥門蓋板組成，所述的閥頭運動機構與閥頭支撐之間通過不銹 鋼波紋管連接，并布置在閥門本體內；所述的閥頭與閥頭支撐連接，
閥頭的大圓柱面止口端布置在閥門本體內下端的刀口上，閥頭的小圓 柱面嵌入閥門本體內下端的中心孔內，起導向定位作用。
為了保證氣流的隔斷和真空密封，設計者將閥門本體下端的刀口
設計為-70°~-75。，大圓柱面呈3。 8。斜角。
本實用新型經過試驗證明由于本閥門密封結構采用CF刀口法 蘭密封結構型式即-70° -75°角刀口，閥頭加工成大小圓柱面，小圓柱 起預導向定位作用，大圓柱在上有3。 8。斜角，能精密定位和密封。
本閥門閥頭能承受25CTC烘烤；放氣量小，氣密性好；反復開閉 能重復固定在同一密封面上，重復性好；閥頭通徑120mm，流導大。 實際裝入高真空、超高真空的電子管排氣設備和特殊材料真空熱處理 設備上，系統真空度能達到了5E-8Pa (帶負載)，為大型真空電子器 件的真空性能提升提供了保障。
附圖1為本閥門的結構示意圖。
附圖2為閥頭結構示意圖。
附圖3為閥門本體刀口結構示意圖。
其中l-活套法蘭、2-閥門本體、3-閥頭、4-閥頭支撐、5-閥頭運 動機構、6-閥門蓋板、7-不銹鋼波紋管、8-連接螺栓、9-大圓柱面、 10-小圓柱面、11-刀口
具體實施方式
本實用新型在實施中，閥頭系用膨脹聚四氟乙烯材料，閥門本體 上加工三個方向的CF150刀口，卯度兩邊套上活套法蘭l，以方便
對接在真空系統上，尾部連接蓋板6，用無氧銅墊密封，將閥頭運動 機構固定在閥門本體2上。本體2中部加工一70度CF120刀口 11， 閥頭3的大圓柱面4> 120mm壓在此刀口 11上，小圓柱面10 0) 28mm， 這種結構能保持氣流隔斷和真空密封。閥頭3固定在閥頭支撐4上， 閥頭支撐4與閥頭運動機構5通過不銹鋼波紋管7連接且隔斷大氣。
權利要求1.一種用于真空設備超高真空閥的閥頭密封結構，它由活套法蘭，閥門本體、閥頭、閥頭支撐、閥頭運動機構、不銹鋼波紋管、閥門蓋板組成，其特征在于所述的閥頭運動機構與閥頭支撐之間通過不銹鋼波紋管連接并布置在閥門本體內；所述的閥頭與閥頭支撐連接，閥頭的大圓柱面止口端布置在閥門體內下端的刀口上，閥頭的小圓柱面嵌入閥門本體內下端的中心孔內。
2. 根據權利要求1所述的一種用于真空設備超高真空閥的閥頭密 封結構，其特征在于閥頭本體下端的刀口為-70° -75°。
3. 根據權利要求1所述的一種用于真空設備超高真空閥的閥頭密 封結構，其特征在于閥頭大圓柱面呈3。 8。斜角。
專利摘要本實用新型提供一種用于真空設備超高直空閥的閥頭密封結構，它由活套法蘭、閥門本體、閥頭、閥頭支撐、閥頭運動機構、不銹鋼波紋管、閥門蓋板組成，所述的閥頭運動機構與閥頭支撐之間通過不銹鋼波紋管連接，并布置在閥門本體內；所述的閥頭與閥頭支撐連接，閥頭的大圓柱面止口端布置在閥門本體內下端的刀口上，閥頭的小圓柱面嵌入閥門本體內下端的中心孔內，起導向定位作用。為了保證氣流的隔斷和真空密封，設計者將閥門本體下端的刀口設計為-70°～-75°，大圓柱面呈3°～8°斜角，能精密定位和密封。
文檔編號F16K1/32GK201363428SQ20092008339
公開日2009年12月16日 申請日期2009年1月14日 優先權日2009年1月14日
發明者姚安全, 李新益 申請人:湖北漢光科技股份有限公司