專利名稱：：復合密封材料的制作方法
技術領域：
：本發明涉及例如在超真空狀態下使用的復合密封材料，特別涉及可以用于半導體制造裝置和組裝于半導體制造裝置內的閘閥等的復合密封材料。
背景技術：
：隨著半導體制造裝置的進步，對用于半導體制造裝置的部件的要求變得更加嚴格，也變得多樣化。例如，用于干刻裝置和等離子體CVD裝置等半導體制造裝置的密封材料作為基本性能要求真空密封性能。并且，根據所使用的裝置和密封材料的安裝位置，還被要求同時具有耐等離子體性和耐腐蝕氣體性等性能。在如上所述除了要求真空密封性能還要求耐等離子體性和耐腐蝕氣體性的密封部中，一直以來都使用不易受流體影響的氟橡膠。然而，隨著使用條件變得嚴苛，氟橡膠的耐等離子體性和耐腐蝕氣體性等性能變得不夠充分，希望開發新的材料。針對上述要求，例如由本申請的發明人在專利文獻1中揭示了下述密封材料。g卩，該密封材料同時具有真空密封性能、耐等離子體性、耐腐蝕氣體性等特性，即使反復使用真空密封性能也不會下降，使用時不會產生金屬顆粒，可容易且廉價地制造，且可用于半導體制造裝置中常用的所謂"燕尾槽"。專利文獻l:日本專利特開2005—164027號公報發明的揭示但是，專利文獻l記載的復合密封材料存在一個問題，該問題是，雖然由于起密封作用的部分是橡膠部件，因此即使反復使用真空密封性能也不會下降，但因為起耐等離子體性和耐腐蝕氣體性作用的部分是合成樹脂制部件，由于合成樹脂制部件沒有如橡膠部件一般的彈性，所以反復使用時會發生松弛，因此其與對象部件的緊貼性隨著反復使用而降低，無法充分地保持性能。本發明鑒于上述實際情況，其目的是提供一種復合密封材料，該復合密封材料同時具有真空密封性能、耐等離子體性、耐腐蝕氣體性等特性，且即使反復使用真空密封性能也不會下降，使用時不會產生金屬顆粒，可用于半導體制造裝置中常用的所謂燕尾槽，而且即使被用于閘閥開關部等進行反復開關的地方，耐等離子體性和耐腐蝕氣體性等性能也不會下降。為達成上述目的的本發明是安裝在密封槽2上的復合密封材料10，其特征在于，具備配置于上述密封槽2外周側的、由彈性部件構成的第l密封部件6，和配置于上述密封槽2內周側的、由較第1密封部件6更硬質的材料構成的第2密封部件8;上述第l密封部件6由其厚度方向近中部的徑向內側朝徑向內部突出而形成橫向凸部12的同時，上述第2密封部件8由兩端部的法蘭部14、16和連接該法蘭部14、16的近似直線狀的內壁部分18形成截面呈近似3字狀的形狀；在上述第1密封部件6和上述第2密封部件8組裝為一體的狀態下，在上述橫向凸部12和上述第2密封部件8的近似直線狀的內壁部分18之間，確保有空腔20。利用上述構成，復合密封材料IO被壓接時，橫向凸部12變形為向空腔20內倒入的形態，因此可確保第1密封部件6的密封性。此外，通過設置空腔20，使第1密封部件6的變形不會被第2密封部件8妨礙。并且，由于第2密封部件8由較第1密封部件6更硬質的材料構成，因此通過將第2密封部件8側配置于例如作為干刻裝置和等離子體CVD裝置等半導體制造裝置中的腐蝕性氣體、等離子體等嚴苛環境側的密封室一側，第l密封部件6會被保護不受這些腐蝕性氣體、等離子體等的影響，密封性不會下降。此外，這種情況下，由于由較第l密封部件6更硬質的材料構成的第2密封部件8位于嚴苛環境側，因此對腐蝕性氣體、等離子體等的耐久性良好，并且，由彈性部件構成的第l密封部件6整體都被保護不受這些腐蝕性氣體、等離子體等的影響，密封性不會下降。此外，本發明的復合密封材料優選上述第1密封部件6的上述橫向凸部12以略微平坦的形狀形成其一方的側端面12a。如果本發明的復合密封材料是上述結構，則第2密封部件8對第1密封部件6的安裝性良好。進一步地，上述第l密封部件6的上述橫向凸部12可以向上述密封槽2的底面26側突出而形成其另一方的側端面12b。此外，優選在上述第1密封部件6和上述第2密封部件8的相互的接合面的任意一方形成凸部，在另一方形成凹部，并將該凸部與凹部相互嵌合組裝。如果本發明的復合密封材料是上述結構，則第1密封部件6和第2密封部件8的組裝良好。此外，在上述第1密封部件6和上述第2密封部件8的接合面上可以具有粘接劑。如果像這樣介以粘接劑相互粘接，則可以容易地進行密封部件間的固定。此外，較好是本發明的復合密封材料中構成上述第1密封部件6的橡膠由氟橡膠構成。如果像這樣構成上述第1密封部件6的橡膠由氟橡膠構成，則即使萬一接觸了腐蝕性氣體、等離子體，對腐蝕性氣體、等離子體等的耐久性也良好，密封性不會下降。此外，較好是本發明的復合密封材料10中上述第2密封部件8由合成樹脂構成。如果像這樣第2密封部件8由作為較第1密封部件6更硬質的材料的合成樹脂構成，則對腐蝕性氣體、等離子體等的耐久性良好，并且由彈性部件構成的第l密封部件6整體都被保護不受這些腐蝕性氣體、等離子體等的影響，密封性不會下降。此外，較好是本發明的復合密封材料中構成上述第2密封部件8的合成樹脂由選自氟樹脂、聚酰亞胺樹脂、聚酰胺酰亞胺樹脂、聚醚酰亞胺樹脂、聚酰胺酰亞胺樹脂、聚苯硫醚樹脂、聚苯并咪唑樹脂、聚醚酮樹脂的l種以上的合成樹脂構成。如果像這樣構成上述第2密封部件8的合成樹脂由上述合成樹脂構成，則對腐蝕性氣體、等離子體等的耐久性極好，并且由彈性部件構成的第l密封部件6整體都被保護不受這些腐蝕性氣體、等離子體等的影響，密封性不會下降。藉由本發明的復合密封材料，因為組合了橡膠及合成樹脂兩種部件，所以可同時具有真空密封性能、耐等離子體性以及耐腐蝕氣體性等性能。此外，施加緊固力時，第1密封部件的橫向凸部在其與第2密封部件之間構成的空腔內迅速發生彈性變形，與此同時，如果解除該緊固力，則第1密封部件以及第2密封部件迅速回復至原來的狀態，因此即使反復使用，真空密封性及其與對象部件的緊貼性也不會下降。此外，通過使用橡膠或合成樹脂作為第l密封部件及第2密封部件，使得使用時不會產生金屬顆粒。并且，可容易且比較廉價地制造。進一步地，本發明的復合密封材料可適用于半導體制造裝置中使用的所謂燕尾槽。對附圖的簡單說明圖l是表示將本發明的復合密封材料安裝于作為密封槽的所謂"燕尾槽"時其與密封槽的尺寸關系的簡圖。圖2是說明將本發明的復合密封材料安裝于密封槽并壓接時的初期狀態的簡圖。圖3是將本發明的復合密封材料安裝于密封槽并壓接時從圖2的狀態進一步施加壓力時的簡圖。圖4是將本發明的復合密封材料安裝于密封槽并壓接時從圖3的狀態進一步施加壓力時的簡圖。圖5是本發明的實施例中為研究密封材料的密封性能而進行的試驗的試驗裝置的簡圖。圖6是表示將試樣設置于密封裝置時的評價用夾具的簡圖。圖7是為研究密封材料的耐等離子體性能而進行的試驗的試驗裝置的簡圖。圖8是表示本發明的評價試驗中采用的復合密封材料的圖；圖8(A)是其側視簡圖，圖8(B)是其放大截面圖。圖9是表示安裝有圖8所示密封材料的密封槽的各部分的尺寸的圖。實施發明的最佳方式下面，參照附圖就本發明的復合密封材料進行詳細說明。圖1是表示本發明的實施例之一的復合密封材料的圖。本實施例中的復合密封材料IO是形成為閉環狀，并被安裝于例如近似環狀的密封槽2內的密封材料；其在圖1中表示為以水平狀態配置的密封槽2左側的截面。該密封槽2是例如在干刻裝置和等離子體CVD裝置等半導體制造裝置的連接部分形成的密封槽；密封槽2是其底面26側的寬度大于其開口部22側寬度的所謂"燕尾槽"。然后，復合密封材料10中，第l密封部件6被配置于密封槽2—側的側壁28(外周側)，第2密封部件8被配置于密封槽2另一側的側壁30(內周側)。即，該復合密封材料10中，第2密封部件8被配置于半導體制造裝置中的腐蝕性氣體、等離子體等嚴苛環境側，第l密封部件6被配置于嚴苛環境側的對側(例如大氣側)。第1密封部件6由其厚度方向近中部朝徑向內側方向突出形成橫向凸部12。此外，該第1密封部件6變形時，在其與對象部件36之間于密封槽2的開口端側形成作為密封部起作用的第1膨出部32，于第1膨出部32的對側即密封槽2的底面側形成下方凸部34。第1膨出部32的頂部是以近似圓弧狀膨出而形成的，但為使下方凸部34的底面緊貼于密封槽2的底面26，因而形成略微平坦的形狀。此外，橫向凸部12—側的側端面12a形成略微平坦的形狀，橫向凸部12另一側的側端面12b向密封槽2的底面26側突出。這樣第1密封部件6具備在其與對象部件36之間構成密封面的第1膨出部32、配置于密封槽2的底面側的下方凸部34、朝徑向內側突出的橫向凸部12，從截面形狀來看呈向三個方向突出的形狀。此外，在橫向凸部12的突出方向的對側的外周面形成角部Pl,第1膨出部32與下方凸部34之間通過該角部P1平緩地連結。該第l密封部件6較好的是由作為彈性部件的橡膠構成。作為橡膠可使用天然橡膠、合成橡膠中的任一種。通過像這樣由作為彈性部件的橡膠構成第1密封部件6，將復合密封材料10在其與對象部件36之間進行壓接時，第1密封部件6的第1膨出部32可由對象部件36壓接而賦予其高密封性。構成第1密封部件6的橡膠更好的是由氟橡膠構成。作為上述氟橡膠，可使用偏氟乙烯/六氟丙烯系共聚物、偏氟乙烯/三氟氯乙烯系共聚物、偏氟乙烯/五氟丙烯系共聚物等2元偏氟乙烯系橡膠，偏氟乙烯/四氟乙烯/六氟丙烯系共聚物、偏氟乙烯/四氟乙烯/全氟烷基乙烯基醚系共聚物、偏氟乙烯/四氟乙烯/丙烯系共聚物等3元偏氟乙烯系橡膠，以及四氟乙烯/丙烯系共聚物，四氟乙烯/全氟垸基乙烯基醚系共聚物，熱塑性氟橡膠等。如果構成第1密封部件6的橡膠像這樣由氟橡膠構成，則即使萬一第1密封部件6接觸了腐蝕性氣體、等離子體，對腐蝕性氣體、等離子體等的耐久性也良好，密封性不會下降。第2密封部件8被配置于第l密封部件6的內周側，與第l密封部件6分別形成。該第2密封部件8為能從兩側挾持第1密封部件6的橫向凸部12，因而具有一對法蘭部14、16，并且在徑向內側還具有連接這一對法蘭部14、16的近似直線狀的內壁部分18。而且，從第2密封部件8的截面形狀來看，由這一對法蘭部14、16和近似直線狀的內壁部分18形成截面呈近似〕字狀的形狀。該第2密封部件8較好的是由較上述第1密封部件6更硬質的合成樹脂構成，更好的是由選自氟樹脂、聚酰亞胺樹脂、聚酰胺酰亞胺樹脂、聚醚酰亞胺樹脂、聚酰胺酰亞胺樹脂、聚苯硫醚樹脂、聚苯并咪唑樹脂、聚醚酮樹脂的1種以上的合成樹脂構成。由于第2密封部件8是由較第1密封部件6更硬質的合成樹脂構成的，因此對腐蝕性氣體、等離子體的耐久性良好，而且，由彈性部件構成的第l密封部件6整體都被保護不受這些腐蝕性氣體、等離子體等的影響，可防止密封性的下降。此時，作為氟樹脂，可例舉聚四氟乙烯(PTFE)樹脂，四氟乙烯—全氟烷基乙烯基醚共聚物(PFA)樹脂，四氟乙烯一六氟丙烯共聚物(FEP)樹脂，四氟乙烯一乙烯共聚物(ETFE)樹脂，聚偏氟乙烯(PVDF)樹脂，聚三氟氯乙烯(PCTFE)樹脂，三氟氯乙烯一乙烯共聚物(ECTFE)樹脂，聚氟乙烯(PVF)樹脂等，其中，從耐熱性、耐腐蝕性氣體、耐等離子體性等方面考慮，優選PTFE。雖然本實施例中的第1密封部件6和第2密封部件8由上述材料形成，但在將其組裝為一體時，以在第1密封部件6的橫向凸部12和第2密封部件8的近似直線狀的內壁部分18之間預先確保了空腔20的狀態進行組裝。此外，組裝時在第l密封部件6的下方凸部34以及橫向凸部12b和第2密封部件8的法蘭部16之間形成空腔21。下面，就復合密封材料10的各主要部分的優選尺寸進行說明。如圖1所示，復合密封材料10的密封寬度Ll較密封槽2的槽寬度L2越大，對脫落的抵抗越增強，但是安裝也變得越困難，因此密封寬度L1較好為槽寬度L2的101130%。此外，由第1密封部件6規定的橡膠部密封高度L3優選使壓縮率達到345%、較好為530X的范圍。這里，壓縮率為[(密封高度L3)-(槽深度L5)/(密封高度L3)]X100。另外，不考慮L3與L4的大小關系。如果增大第1密封部件6的第1膨出部32的橡膠寬度L6，則其與對象部件36的接觸部分變大，真空密封性能穩定，但是第2密封部件8的樹脂寬度(L7+L8+L9)相應地變小，對等離子體、腐蝕氣體的遮蔽效果下降。因此，L6的范圍較好為Ll的5070%。如果增大第1密封部件6的橫向凸部12的突出長度L7，則由于第2密封部件8可在大范圍內受到第l密封部件6的回復力，因此對等離子體、腐蝕氣體的遮蔽效果增強，但是由于如果增大L7，則相應地L6變小，可能會使真空密封性能降低，因此L7的范圍較好為L6的2545%的范圍。對于第1密封部件6與第2密封部件8之間的空腔20的距離L8，壓縮時第1密封部件6的橫向凸部12退入該空腔20內，藉此第2密封部件8的薄壁部分A沿圖1中的順時針方向旋轉倒下，使法蘭部16變形。空腔20的距離L8的范圍較好為L7的50%以上。第2密封部件8的近似直線狀的內壁部分18的厚度L9越薄變形越順暢，但是如果考慮加工性，則較好為50um2mm的范圍。在第1密封部件6的角部P1和與槽開口部22等高的點P2之間，為使第1密封部件6在被壓縮時沿密封槽2的側壁28順暢地變形，較好的是傾斜至角度e1達到密封槽2的角度92±2°。從點P2到與第2密封部件8的接觸面為止的第1膨出部32的密封面為略微的曲面。為防止脫落，從第1密封部件6的底面到角部P1的高度L10較好為小于等于密封槽2的槽深度L5，但是如果過低，則安裝時復合密封材料IO沿密封槽2的側壁28轉動，使安裝性下降，因此L10的范圍較好的是L3的50X70%且L1(KL5的范圍。第1密封部件6的底部寬度Lll越大越難以引起轉動，但是為使壓縮時第1密封部件6的橫向凸部12退入空腔20內并使第2密封部件8變形為倒入的形態，使L1KL6，因此L11的范圍較好的是L2的20X以上且L11〈L6的范圍。此外，為使壓縮時第1密封部件6的L7部分退入空腔20內并使第2密封部件8的薄壁部分A變形為倒入的形態，第2密封部件8的底部寬度L12較好的是以(L11+L12)〈(L6+L7)的條件來設定。第1密封部件6中從下方凸部34的側端面到橫向凸部12的側端面的距離L13較好為L12的50%150%。此外，為了能整體地變形，第2密封部件8的薄壁部分A較好為R形狀。如果僅有薄壁部分A的一部分過度變形，則可能會破損。為了能隨著壓縮旋轉并使薄壁部分A變形，第2密封部件8的法蘭部16較好為R形狀。g卩，如果法蘭部16不旋轉，則第2密封部件8不會倒下，并會承受負荷，因此變得易發生松弛。為了能隨著壓縮擠壓法蘭部16并使其積極地旋轉，第1密封部件6的橫向凸部12的側端面12b較好為凸狀。作為將如上所述規定了各部分尺寸的第1密封部件6和第2密封部件8接合一體化的方法，可采用焊接、熔敷、粘接、一體成形等公知的接合方法，無特別限制，但可根據需要采用粘接劑、較好的是耐熱性粘接劑進行接合一體化。或者，可在第i密封部件6和第2密封部件8的接合面的任意一方設置凸部，另一方設置凹部，將粘接劑涂在該凹凸的接合面上，使其相互間一體化而組裝。如此構成的本發明的復合密封材料10如圖2圖4所示被使用。首先，如圖2所示，將復合密封材料10安裝于密封槽2內。此時，因為在第1密封部件6和第2密封部件8之間形成空腔20及空腔21，還在第2密封部件8上形成易彈性變形的近似直線狀的內壁部分18，所以可以容易地將復合密封材料10安裝于密封槽2內。并且，在復合密封材料10被安裝于密封槽2內之后，由于復合密封材料10整體的寬度比密封槽2的開口部22的寬度大，因此可防止復合密封材料10從密封槽2的無意間脫落。然后，如圖2圖4所示，如果強化對復合密封材料10的緊固力，則第l密封部件6的第1膨出部32及第2密封部件8的法蘭部14依次被壓縮，被賦予真空密封性及耐等離子體性。如果從第1密封部件6的第1膨出部32與對象部件36相接觸的圖2的狀態如圖3所示進一步進行壓縮，則第l密封部件6的橫向凸部12變形為向空腔20內深入的形態。此時，第2密封部件8的薄壁部分A變形，法蘭部16向上方旋轉。如果從該狀態進一步施加壓縮力，則如圖4所示，可充分地確保第l密封部件6與對象部件36的接觸面積，可獲得確實的密封力。特別是在第l密封部件6的第l膨出部32產生應力集中，賦予其密封性。此外，在該圖4的狀態下，因為第2密封部件8由較第1密封部件6更硬質的材料構成，所以通過將第2密封部件8配置于例如作為干刻裝置和等離子體CVD裝置等半導體制造裝置中的腐蝕性氣體、等離子體等嚴苛環境側的密封室一側，藉由第2密封部件8的法蘭部14的壓接，由彈性部件構成的第l密封部件6的第1膨出部32會被保護不受這些腐蝕性氣體、等離子體等的影響，密封性不會下降。此外，這種情況下，由于由較第l密封部件6更硬質的材料構成的第2密封部件8位于嚴苛環境側，因此對腐蝕性氣體、等離子體等的耐久性良好，并且，由彈性部件構成的第l密封部件6整體都被保護不受這些腐蝕性氣體、等離子體等的影響，密封性不會下降。因此，本實施例中，在復合密封材料IO被壓接時，第1密封部件6的橫向凸部12倒入空腔20內的同時，通過薄壁部分A的變形，第2密封部件8也跟著變形。而且，如果解除壓力，則橫向凸部12的回復力作用于上方的法蘭部14及下方的法蘭部16。因此，第2密封部件8難以發生應力松弛。藉此，即使反復使用，也可維持穩定的密封性。此外，由于未使用金屬材料，因此可防止金屬顆粒的產生。另外，由于密封材料10的寬度L1較密封槽2的槽寬度L2大，且下方凸部34的寬度L11變得越來越窄，因此可較好地用于燕尾槽。實施例對下面的試樣進行密封性能及耐等離子體性的評價。1.試樣a)本申請的發明品尺寸、材質如圖8(A)，(B)所示。安裝該發明品的密封槽如圖9所示。b)現有品1日本專利特開2005—164027號公報記載的與圖9相同的物品c)現有品2英國NES公司制"NK環(NKring)(商品名)"以氟樹脂封套(jacket)將氟橡膠完全包裹的密封材料。d)現有品3氟橡膠O環(Oring)c)以及d)的尺寸AS568A—2412.密封性能的評價方法2—1)初期密封性能如圖5所示，用螺栓76以規定的緊固負荷85kgf將各試樣IO緊固于法蘭72、74之間，之后用氦檢漏器78將試樣10的內徑側抽真空，并在試樣10的外徑側通氦氣(10ml/min)，測定各試樣10的滲透泄漏量。2—2)反復使用模擬循環后的密封性能直接使用初期密封性能評價所用的試樣。初期密封試驗結束后除去螺栓，將法蘭固定在試驗機(株式會社島津制作所制油壓蝸輪式強度試驗機)上，重復"松開一壓縮至規定負荷一松開"的循環一萬次。循環結束后，以與2—1)相同的步驟測定泄漏量。3.耐等離子體性評價試驗方法3—1)初期耐等離子體性如圖6所示，制成了鋁制的等離子體評價用夾具，該夾具由近似圓盤形狀的上部件80及下部件82構成，并在下部件82形成了安裝試樣用的燕尾槽84。將試樣10安裝在等離子體評價用夾具的下部件82之后，用螺栓以規定的緊固負荷85kgf將試樣IO緊固。然后，將安裝了試樣的評價用夾具如圖7所示載置于等離子體CVD裝置的下部電極上，以下述條件照射等離子體。等離子體輸出500W照射時間3小時導入氣體氧氣180sccm/CF420sccm真空度0.6托夾具間隙0.lmm0.2mm3—2)反復使用模擬循環后的耐等離子體性用與3—1)不同的試樣進行評價。將試樣安裝于3—1)的夾具后，與2—2)同樣將夾具固定在試驗機(株式會社島津制作所制油壓蝸輪式強度試驗機)上，重復"松開一壓縮至規定負荷一松開"的循環一萬次。循環結束后，以與3-l)相同的步驟照射等離子體。4.試驗結果試驗結果示于表中。各試樣的優劣以O或x兩個等級評價。表1<table>tableseeoriginaldocumentpage14</column></row><table>注l)由于在初期階段沒有足夠的性能，因此未對反復循環后的性能進行評價密封性的判斷標準為，泄漏量不足1.0X10—5的記為〇，1.0X10—5以上的記為x表2<table>tableseeoriginaldocumentpage14</column></row><table>注2)由于在初期階段沒有足夠的性能，因此未對反復循環后的性能進行評價耐等離子體性的判斷標準為，用放大倍數1000倍的顯微鏡觀察表面，未被蝕刻的記為O，被蝕刻的記為X。實施例的密封性、耐等離子體性在循環后均仍然良好。雖然現有例l中，反復循環后的耐等離子體性不足，這認為是樹脂部隨著反復的壓縮逐漸松弛而變得無法產生能使其與對象面發生充分緊貼的回彈力的緣故。以上對本發明的優選實施方式進行了說明，但本發明并不限定于此。例如，上述實施例中就用于干刻裝置和等離子體CVD裝置等半導體裝置的情況進行了說明，但是本發明的復合密封材料也可用于在其它嚴苛環境條件下使用的其它裝置的密封部分。此外，也可用于燕尾槽以外的密封槽。權利要求1.復合密封材料，它是被安裝于密封槽2的復合密封材料10，其特征在于，具備配置于所述密封槽2外周側的、由彈性部件構成的第1密封部件6，和配置于所述密封槽2內周側的、由較第1密封部件6更硬質的材料構成的第2密封部件8；所述第1密封部件6由其厚度方向近中部的徑向內側朝徑向內部突出而形成橫向凸部12的同時，所述第2密封部件8由兩端部的法蘭部14、16和連接該法蘭部14、16的近似直線狀的內壁部分18形成截面呈近似コ字狀的形狀；在所述第1密封部件6和所述第2密封部件8組裝為一體的狀態下，在所述橫向凸部12和所述第2密封部件8的近似直線狀的內壁部分18之間確保有空腔20。2.如權利要求1所述的復合密封材料，其特征在于，所述第1密封部件6的所述橫向凸部12以略微平坦的形狀形成其一方的側端面12a。3.如權利要求1或2所述的復合密封材料，其特征在于，所述第l密封部件6的所述橫向凸部12向所述密封槽2的底面26側突出而形成其另一方的側端面12b。4.如權利要求13中任一項所述的復合密封材料，其特征在于，在所述第1密封部件6和所述第2密封部件8的相互的接合面的任意一方形成凸部，在另一方形成凹部，并將該凸部與凹部相互嵌合組裝。5.如權利要求14中任一項所述的復合密封材料，其特征在于，在所述第1密封部件6和所述第2密封部件8的接合面具有粘接劑。6.如權利要求15中任一項所述的復合密封材料，其特征在于，所述第l密封部件6由橡膠構成。7.如權利要求6所述的復合密封材料，其特征在于，構成所述第l密封部件6的橡膠由氟橡膠構成。8.如權利要求1或4所述的復合密封材料，其特征在于，所述第2密封部件8由合成樹脂構成。9.如權利要求8所述的復合密封材料，其特征在于，構成所述第2密封部件8的合成樹脂由選自氟樹脂、聚酰亞胺樹脂、聚酰胺酰亞胺樹脂、聚醚酰亞胺樹脂、聚酰胺酰亞胺樹脂、聚苯硫醚樹脂、聚苯并咪唑樹脂、聚醚酮樹脂的l種以上的合成樹脂構成。全文摘要本發明提供復合密封材料，該密封材料的特征在于，具備配置于密封槽2外周側的、由彈性部件構成的第1密封部件6，和配置于密封槽2內周側的、由較第1密封部件6更硬質的材料構成的第2密封部件8；第1密封部件6由其厚度方向近中部的徑向內側朝徑向內部突出而形成橫向凸部12的同時，第2密封部件8由兩端部的法蘭部14、16和連接該法蘭部14、16的近似直線狀的內壁部分18形成截面呈近似コ字狀的形狀；在第1密封部件6和第2密封部件8組裝為一體的狀態下，在橫向凸部12和第2密封部件8的近似直線狀的內壁部分18之間，確保有空腔20。文檔編號F16J15/10GK101384842SQ20078000524公開日2009年3月11日申請日期2007年2月8日優先權日2006年2月14日發明者村松晃申請人:日本華爾卡工業株式會社