專利名稱：真空設備的排氣管道的制作方法
技術(shù)領域：
本實用新型涉及一種排氣管道，具體涉及一種真空設備的排氣管道。
技術(shù)背景半導體集成電路制造中的干法刻蝕工藝是在真空狀態(tài)下實現(xiàn)的。目前 所使用的刻蝕設備的排氣系統(tǒng)結(jié)構(gòu)如圖1所示，包括兩路管道， 一路是由 干泵、第一真空計、粗抽閥組成的粗抽排氣管道，另一路是由干泵、第一 真空計、氣動閥、分子泵、遮斷閥組成的細抽排氣管道。根據(jù)不同的工藝 情況，可在管道和閥門上加裝加熱帶。工作時，先關閉氣動閥，打開粗抽閥，通過粗抽排氣管道使工藝腔內(nèi) 的真空度達到規(guī)定的要求后，即可進行刻蝕工藝。在工藝過程中，關閉粗 抽閥，打開氣動閥，通過細抽排氣管道進行排氣。由于刻蝕工藝過程中不通過粗抽排氣管道排氣，因此粗抽排氣管道通 常不會發(fā)生刻蝕生成物的堵塞問題。而細抽排氣管道是刻蝕工藝過程中使 用的排氣通道，刻蝕反應生成物會逐漸附著到細抽排氣管道的內(nèi)壁，時間 久了，就會發(fā)生管道堵塞，導致停機。有些工藝的反應生成物多而且呈粘稠狀，很容易附著在管道內(nèi)壁上， 使管道堵塞，造成停機事故。由于堵塞可能發(fā)生在細抽排氣管道的任意一 處，清洗時需將整條細抽排氣管道都進行清洗，因此需要清洗的排氣管道 長，清洗工作量大，給故障調(diào)查和解決帶來了很大困難。實用新型內(nèi)容本實用新型要解決的技術(shù)問題是提供一種真空設備的排氣管道，它可 以避免因刻蝕生成物堵塞排氣管道而導致的設備停機問題，提高設備的生 產(chǎn)能力。為解決上述技術(shù)問題，本實用新型真空設備的排氣管道的技術(shù)解決方 案為-包括兩路管道， 一路是由干泵、第一真空計、粗抽閥組成的粗抽排氣 管道，另一路是由干泵、第一真空計、氣動閥、分子泵、遮斷閥組成的細 抽排氣管道；其中在氣動閥與第一真空計之間設置有第二真空計和由兩 路并聯(lián)管道組成的排氣系統(tǒng)，每路并聯(lián)排氣管道上各設置有兩個閥門；除 每路并聯(lián)排氣管道上的兩個閥門之間的管道之外，其它管道外均設置有加 熱帶。進一步，所述并聯(lián)管道上的四個閥門，是手動閥。進一步，所述并聯(lián)管道上的四個閥門，是氣動閥；所述第一真空計與 第二真空計之間設置有壓差計，壓差計連接控制系統(tǒng)，控制系統(tǒng)與并聯(lián)排 氣管道上的四個閥門連接。本實用新型可以達到的技術(shù)效果是使刻蝕生成物集中附著在并聯(lián)管道支路上的兩個閥門之間的管道上， 而管道的其余部分就不容易發(fā)生堵塞，因而可以降低清洗工作量，便于清 洗。由于設置了備用管道，解決故障、清洗管道時無需將生產(chǎn)設備停止下 來，因而可實現(xiàn)不停機清洗管道，提高設備的使用效率，降低設備的故障率，提高設備的生產(chǎn)能力。
以下結(jié)合附圖和具體實施方式
對本實用新型作進一步詳細的說明 圖1是現(xiàn)有技術(shù)中排氣系統(tǒng)的示意圖；圖2是本實用新型真空設備的排氣管道具體實施方式
之一的示意圖； 圖3是本實用新型真空設備的排氣管道具體實施方式
之二的示意圖。
具體實施方式
如圖2所示，本實用新型真空設備的排氣管道包括兩路管道， 一路是由干泵、第一真空計、粗抽閥組成的粗抽排氣管道，另一路是由干泵、第 一真空計、氣動閥、分子泵、遮斷閥組成的細抽排氣管道。在氣動閥與第 一真空計之間設置有第二真空計和由兩路并聯(lián)管道組成的排氣系統(tǒng)，每路 并聯(lián)排氣管道上各設置有兩個閥門。每路并聯(lián)排氣管道上的兩個閥門之間的管道外(即閥1與閥2之間，以及閥3與閥4之間的管道)不加加熱帶， 其它管道外均設置有加熱帶。并聯(lián)排氣管道上的四個閥門，可以是手動閥。在工藝過程中，將其中一路管道上的閥門打開(如打開閥1、閥2)， 另一路上的閥門關閉(關閉閥3、閥4)，將閥l、閥2所在的管道作為設備 的排氣通道。由于兩個手動閥閥l、閥2間的管道不加熱，其內(nèi)壁溫度較其 它部位低，刻蝕生成物就容易附著在閥1、閥2間的這一段管道上，因而管 道其余部分就不容易發(fā)生堵塞。當閥l、閥2所在的管道被完全堵塞前，將 閥3、閥4所在另一路管道打開，然后把即將堵塞的一路管道關閉，將閥3、闊4所在的管道作為設備的排氣通道。此時，可對即將堵塞的一路管道進 行在線清洗。在工藝過程中可以通過第一、第二兩個真空計上顯示的壓差來判斷管 道是否即將發(fā)生堵塞，從而決定是否需要切換到另外一路管道。由于在排 氣管道上有第一、第二兩個真空計，當管道暢通時，兩個真空計的壓差不 會很大；而當管道堵塞時，兩個真空計間的壓力差就會變大，觀察兩個真 空計間的壓力差，當壓力差達到一定數(shù)值時，將排氣管道切換到另一路。由于設置了備用管道，解決故障、清洗管道時不用將生產(chǎn)設備停止下 來，因而可實現(xiàn)不停機清洗管道，提高設備的使用效率，增加生產(chǎn)能力。如圖3所示，并聯(lián)排氣管道上的四個閥門，也可以是氣動閥或其它類 型的閥門。此時，在第一、第二兩個真空計之間設置壓差計，壓差計連接 控制系統(tǒng)，控制系統(tǒng)與并聯(lián)排氣管道上的四個閥門閥1、閥2、閥3、閥4 連接，用于控制該四個閥門。控制系統(tǒng)包括電源、驅(qū)動部分和輸入/輸出信號。在工藝過程中使用一個管道(如使用閥1、閥2所在的管道)作為排氣 管道，另一個管道(閥3、閥4所在的管道)作為備用。由于其它部分加熱， 堵塞就會發(fā)生在兩閥之間不加熱的部分。在工藝過程中設定壓差值，當壓 差計上顯示的壓差值超過設定值，即壓差計監(jiān)測到兩個真空計之間的壓差 達到一定數(shù)值，說明閥l、閥2所在的管道發(fā)生了堵塞，通過控制系統(tǒng)將排 氣管道切換到另一路管道，即閥3、閥4所在的管道，實現(xiàn)排氣管道的自動 切換。此時，將堵塞的管道(閥l、閥2所在的管道)進行在線清洗，清洗完畢后還原控制系統(tǒng)，閥3、閥4所在的管道仍作為備用。本實用新型可以 降低清洗工作量，降低設備的故障率，提高設備的生產(chǎn)能力。
權(quán)利要求1、一種真空設備的排氣管道，包括兩路管道，一路是由干泵、第一真空計、粗抽閥組成的粗抽排氣管道，另一路是由干泵、第一真空計、氣動閥、分子泵、遮斷閥組成的細抽排氣管道；其特征在于在氣動閥與第一真空計之間設置有第二真空計和由兩路并聯(lián)管道組成的排氣系統(tǒng)，每路并聯(lián)排氣管道上各設置有兩個閥門；除每路并聯(lián)排氣管道上的兩個閥門之間的管道之外，其它管道外均設置有加熱帶。
2、 根據(jù)權(quán)利要求1所述的真空設備的排氣管道，其特征在于所述并聯(lián)管道上的四個閥門，是手動閥。
3、 根據(jù)權(quán)利要求1所述的真空設備的排氣管道，其特征在于所述 并聯(lián)管道上的四個閥門，是氣動閥；所述第一真空計與第二真空計之間設 置有壓差計，壓差計連接控制系統(tǒng)，控制系統(tǒng)與并聯(lián)排氣管道上的四個閥 門連接。
專利摘要本實用新型公開了一種真空設備的排氣管道，包括兩路管道，一路是由干泵、第一真空計、粗抽閥組成的粗抽排氣管道，另一路是由干泵、第一真空計、氣動閥、分子泵、遮斷閥組成的細抽排氣管道；其中在氣動閥與第一真空計之間設置有第二真空計和由兩路并聯(lián)管道組成的排氣系統(tǒng)，每路并聯(lián)排氣管道上各設置有兩個閥門；除每路并聯(lián)排氣管道上的兩個閥門之間的管道之外，其它管道外均設置有加熱帶。本實用新型應用于真空設備的排氣系統(tǒng)中，可以降低清洗工作量，并且在解決故障、清洗管道時無需將生產(chǎn)設備停止下來，因而可實現(xiàn)不停機清洗管道，提高設備的使用效率，降低設備的故障率，提高設備的生產(chǎn)能力。
文檔編號F16L55/07GK201096251SQ20072014423
公開日2008年8月6日 申請日期2007年10月16日 優(yōu)先權(quán)日2007年10月16日
發(fā)明者李順義, 健 王 申請人:上海華虹Nec電子有限公司