專利名稱：可調移動墊鐵的制作方法
技術領域：
本實用新型涉及一種移動墊鐵，特別涉及一種可調整高度并且具有自鎖及防 振功能的可調移動墊塊。
背景技術：
目前，在光刻機整機集成過程中，大多數設備都需要可調移動墊鐵，將其移 動和提升到安裝位置，實現機械接口的連接。可調移動墊鐵就是一個移動和提 升部件。
因而在設備的安裝時常常會使用調整墊鐵,但是傳統的調整墊鐵不能夠隨時 整個移動，從而無法水平移動待安裝的設備。
另夕卜，在狹小空間內移動和安裝精密設備時，被移動和提升的設備本身體積 就較大，而且在設備周圍有許多已經安裝好的精密部件，因而造成安裝空間有 限。而傳統的調整墊鐵不具備減振和自鎖功能，因而無法保證設備在安裝時穩 定不動，也無法保證設備在晃動中不與其他精密部件相碰撞，不能滿足安裝要 求。
因此，需要提供一種可調移動墊鐵，來實現狹小空間設備安裝的要求。
實用新型內容
本實用新型所要解決的技術問題是提供一種可調移動墊鐵，以水平移動待安 裝設備，并且在移動和提升設備時，特別是在狹小空間移動和提升設備時，保 證設備穩定運行，在安裝設備時保證設備穩定不動。
為了解決上述技術問題，本實用新型是這樣實現的 一可調移動墊鐵，包 括一具有下斜面的上塊， 一具有上斜面的下塊，該上斜面與該下斜面可相對滑
動，及一螺桿，該螺桿的一端安裝在該下塊的一側，其進一步包括 數個壓入型鋼珠滾輪，其安裝在該下塊的下方；其中該螺桿的 一端安裝有一六角法蘭螺母，并且該螺桿的另 一端沿軸向延 伸入該上塊的內部。
上述的可調移動墊鐵，其進一步包括 一安裝在該上塊上方的墊片。
上述的可調移動墊鐵，其進一步包括該下塊的上方部位沿軸向具有一導 軌槽，該上塊通過該螺桿安裝在該下塊的導軌槽中。
上述的可調移動墊鐵，其進一步包括該墊片為有機材料并且可使用強力 膠水安裝在該上塊的上方。
上述的可調移動墊鐵，其進一步包括該下塊的底面與該上塊的頂面均水 平設置并且保持平行。
上述的可調移動墊鐵，其進一步包括上述上斜面與下斜面均為傾斜角度 大于自鎖角度的斜面。
上述的可調移動墊鐵，其進一步包括該壓入型鋼珠滾輪的數量為4個。
上述的可調移動墊鐵，其進一步包括上述數個壓入型鋼珠滾輪，其經由 過盈配合的方式安裝在該下塊的下方。
本實用新型由于采用了上述的技術方案，使之與現有技術相比，具有以下 的優點和積極效果
1、 當該上塊與下塊自鎖后，經由數個壓入型鋼珠滾輪的滾動，可水平移動 待安裝設備；
2、 在移動和提升設備時，特別是在狹小空間移動和提升設備時，保證設備 穩定運行，在安裝設備時保證設備穩定不動；
3、 整個裝置結構緊湊，移動方便，調整靈活。
本實用新型的可調移動墊鐵由以下的實施例及附圖給出。
圖1為本實用新型的可調移動墊鐵主視圖2為本實用新型的可調移動墊鐵的俯視圖3為本實用新型的可調移動墊鐵的右視圖4為本實用新型的可調移動墊鐵的上塊移動到最低點的示意圖。
具體實施方式
以下將對本實用新型的可調移動墊鐵作進一步的詳細描述。
如圖1至圖3所示，該可調移動墊鐵10包括下塊1,上塊2，墊片3,六角 薄螺母4，六角法蘭螺母5，螺桿6及數個壓入型鋼珠滾輪7。該下塊l的上方 中央部位沿軸向具有一導軌槽011，該螺桿6的一端依次安裝有六角法蘭螺母5 及該六角薄螺母4，并且該螺桿6安裝在該下塊1的一側。該螺桿6的另 一端沿 軸向延伸入該上塊2的內部，因而該上塊2通過該螺桿6安裝在該下塊1的該 導軌槽011中。該下塊1的底面與該上塊2的頂面均水平設置并且保持平行。 該下塊1的一上斜面012與該上塊2的一下斜面022均為傾斜角度大于自鎖角 度的斜面，該上斜面012與該下斜面022能經由該螺桿6的轉動而相對運動。 該墊片3為有機材料并且可使用強力膠水安裝在該上塊2的上方，以起到設備 的減振作用。該壓入型鋼珠滾輪7的表面071是球面，經由過盈配合的方式安 裝在該下塊l的下方，在本實用新型中，該壓入型鋼珠滾輪7的數量為4個。
在安裝設備的過程中，該可調移動墊鐵IO運用于精密儀器的狹小空間中， 將設備放在該墊片3的上方，由于該上塊2可通過該螺桿6的轉動在該下塊1 的導軌槽中滑動，從而在提升或降低設備的過程中可減小整個可調移動墊鐵10 的占用空間。
當要提升設備時，順時針轉動該螺桿6使該上塊2的下表面022沿該導軌 槽011相對該下塊1的上表面012向上移動，從而將該可調移動墊鐵10高度增 加以調整到合適位置。
當使用該可調移動墊鐵IO將設備從精密儀器中移除時，逆時針轉動該螺桿 6使該上塊2的下表面022沿該導軌槽011相對該下塊1的上表面012向下移動， 從而將該可調移動墊鐵10高度減少以調整到合適位置。
提升或移動設備完畢后，鎖緊六角法蘭螺母5，從而可調移動墊鐵10的高 度固定，設備不產生晃動。
經由該數個壓入型鋼珠滾輪4的滾動，可以輕松隨意移動該可調移動墊鐵 IO到合適的位置，以安裝或拆除"i殳備。
權利要求1.一可調移動墊鐵，包括一具有下斜面的上塊，一具有上斜面的下塊，該上斜面與該下斜面可相對滑動，及一螺桿，該螺桿的一端安裝在該下塊的一側，其特征在于進一步包括數個壓入型鋼珠滾輪，其安裝在該下塊的下方；其中該螺桿的一端安裝有一螺母，并且該螺桿的另一端沿軸向延伸入該上塊的內部。
2. 如權利要求1所述的可調移動墊鐵，其特征在于進一步包括 一安裝在 該上塊上方的墊片。
3. 如權利要求1或2所述的可調移動墊鐵，其特征在于該下塊的上方部 位沿軸向具有一導軌槽，該上塊通過該螺桿安裝在該下塊的導軌槽中。
4. 如權利要求3所述的可調移動墊鐵，其特征在于該墊片為有機材料并 使用強力膠水安裝在該上塊的上方。
5. 如權利要求3所述的可調移動墊鐵，其特征在于該下塊的底面與該上 塊的頂面均水平設置并且保持平行。
6. 如權利要求5所述的可調移動墊鐵，其特征在于上述上斜面與下斜面 均為傾斜角度大于自鎖角度的斜面。
7. 如權利要求6所述的可調移動墊鐵，其特征在于該壓入型鋼珠滾輪的 數量為4個。
8. 如權利要求6所述的可調移動墊鐵，其特征在于上述數個壓入型鋼珠 滾輪，其經由過盈配合的方式安裝在該下塊的下方。
專利摘要本實用新型提出了一種可調移動墊鐵，其包括一具有下斜面的上塊，一具有上斜面的下塊，該上斜面與上述下斜面可相對滑動；一螺桿，該螺桿的一端安裝在該下塊的一側，并且該端依次安裝有一六角法蘭螺母，該螺桿的另一端沿軸向延伸入該上塊的內部；復數個壓入型鋼珠滾輪，其經由過盈配合的方式安裝在該下塊的下方。該可調移動墊鐵可水平移動待安裝設備，并且在移動和提升設備時，特別是在狹小空間移動和提升設備時，保證設備穩定運行，在安裝設備時保證設備穩定不動。
文檔編號F16M7/00GK201141505SQ20072007604
公開日2008年10月29日 申請日期2007年11月13日 優先權日2007年11月13日
發明者育 劉, 吳榮基, 袁志揚 申請人:上海微電子裝備有限公司