一種升華泵冷卻裝置的制造方法
【專利摘要】本實用新型公開一種升華泵冷卻裝置，所述冷卻裝置位于所述升華泵的殼體內部，所述冷卻裝置包括冷卻管道、導入裝置和導出裝置，所述冷卻管道為螺旋式管道，所述螺旋式管道沿升華蒸汽分子路徑法向曲面螺繞升華泵泵芯，且與泵芯之間有一定距離，所述螺旋式管道一端連接導入裝置，另一端連接導出裝置。本實用新型以一種簡單可行的方式為升華泵提供低溫冷卻裝置，加快新鮮鈦膜吸附速度從而加快抽真空的速度。與此同時維持升華泵泵體低溫還可以促進升華泵表面吸附更多分子從而在實驗過程中暫時性創造出相比于常溫條件下更低的真空度。
【專利說明】
一種升華泵冷卻裝置
技術領域
[0001]本實用新型屬于升華栗技術領域，具體涉及一種升華栗冷卻裝置。
【背景技術】
[0002]升華栗是一種將鈦金屬升華到栗殼表面，靠新鮮鈦膜的化學吸附作用抽氣的真空栗。在配備有前級栗的條件下可以使極限真空達到超高真空，因而廣泛應用于表面物理、高能物理等對本底真空有極高要求的場合。升華栗抽氣速率由被抽氣體的種類及其壓力、鈦蒸汽升華率、鈦膜面積和鈦膜溫度等因素共同決定。冷卻劑對極限壓力的影響不大，但對抽氣速率的影響很大，例如使用液氮冷卻的抽氣速率可以比使用水大4倍。
[0003]目前市場上具備低溫冷卻的升華栗主要使用液氮冷阱來實現。由于冷阱結構相對復雜且應用到栗體上對升華栗的外形設計有一定的要求，因而不易對沒有低溫冷卻裝置的升華栗進行改造。
【實用新型內容】
[0004]本實用新型為了提高系統抽真空的效率，提供一種升華栗冷卻裝置。
[0005]本實用新型的目的通過以下技術方案來實現:一種升華栗冷卻裝置，所述冷卻裝置位于所述升華栗的殼體內部，所述冷卻裝置包括冷卻管道、導入裝置和導出裝置，所述冷卻管道為螺旋式管道，所述螺旋式管道沿升華蒸汽分子路徑法向曲面螺繞升華栗栗芯，且與栗芯之間有一定距離，所述螺旋式管道一端連接導入裝置，另一端連接導出裝置。
[0006]優選地，還包括支撐結構，所述支撐結構固定于栗體內部，用于支撐固定螺旋式管道。
[0007]優選地，所述導入裝置將冷卻液導入所述螺旋式管道，所述導出裝置與回收裝置連接或直接將冷卻液排出。
[0008]本實用新型有益效果是:本實用新型以一種簡單可行的方式為升華栗提供低溫冷卻裝置，加快新鮮鈦膜吸附速度從而加快抽真空的速度。與此同時維持升華栗栗體低溫還可以促進升華栗表面吸附更多分子從而在實驗過程中暫時性創造出相比于常溫條件下更低的真空度。
【附圖說明】
[0009]圖1是本實用新型升華栗冷卻裝置一種實施例的結構示意圖；
[0010]圖中:1冷卻管道，2支撐結構，3導入導出裝置，4升華栗栗芯。
【具體實施方式】
[0011]結合附圖和實施例對本實用新型做進一步的說明。
[0012]一種升華栗冷卻裝置，所述冷卻裝置位于所述升華栗的殼體內部，所述冷卻裝置包括冷卻管道、導入裝置和導出裝置，所述冷卻管道為螺旋式管道，所述螺旋式管道沿升華蒸汽分子路徑法向曲面螺繞升華栗栗芯，且與栗芯之間有一定距離，所述螺旋式管道一端連接導入裝置，另一端連接導出裝置。
[0013]如圖1所示，為本實用新型一種實施例的結構示意圖，一種升華栗冷卻裝置，所述冷卻裝置位于所述升華栗的殼體內部，所述冷卻管道I為螺旋式管道，所述螺旋式管道沿升華蒸汽分子路徑法向曲面螺繞升華栗栗芯4，且與栗芯之間有一定距離，所述螺旋式管道通過固定在栗體內部的支撐結構2支撐，避免變形，所述螺旋式管道一端連接導入裝置，另一端連接導出裝置，本實施例中安裝在升華栗體內部的螺旋式管道與升華栗栗體以及升華栗栗芯等結構保持懸空狀態，本實施例的導入導出裝置3在漏率允許的條件下盡可能減少與外部結構的接觸，一段通過管道直接與冷卻液相連，另一端連接回收裝置或直接外排。
[0014]在此說明書中，本實用新型已參照其特定的實施例作了描述。但是，很顯然仍可以做出各種修改和變換而不背離本實用新型的精神和范圍。因此，說明書和附圖應被認為是說明性的而非限制性的。
【主權項】
1.一種升華栗冷卻裝置，其特征在于，所述冷卻裝置位于所述升華栗的殼體內部，所述冷卻裝置包括冷卻管道、導入裝置和導出裝置，所述冷卻管道為螺旋式管道，所述螺旋式管道沿升華蒸汽分子路徑法向曲面螺繞升華栗栗芯，且與栗芯之間有一定距離，所述螺旋式管道一端連接導入裝置，另一端連接導出裝置。2.根據權利要求1所述的升華栗冷卻裝置，其特征在于，還包括支撐結構，所述支撐結構固定于栗體內部，用于支撐固定螺旋式管道。3.根據權利要求1所述的升華栗冷卻裝置，其特征在于，所述導入裝置將冷卻液導入所述螺旋式管道，所述導出裝置與回收裝置連接或直接將冷卻液排出。
【文檔編號】F04B37/14GK205689389SQ201620561999
【公開日】2016年11月16日
【申請日】2016年6月13日 公開號201620561999.1, CN 201620561999, CN 205689389 U, CN 205689389U, CN-U-205689389, CN201620561999, CN201620561999.1, CN205689389 U, CN205689389U
【發明人】陳林, 劉玥峰, 郭艷玲, 邱順利, 任飛
【申請人】蘭州大學