一種設于真空腔與真空泵之間的振動隔離裝置的制造方法
【技術領域】
[0001]本實用新型涉及真空栗隔振領域，尤其涉及一種設于真空腔與真空栗之間的振動隔離裝置。
【背景技術】
[0002]真空栗是指利用機械、物理、化學或物理化學的方法對被抽容器進行抽氣而獲得真空的器件或設備。通俗來講，真空栗是用各種方法在某一封閉空間中改善、產生和維持真空的裝置。隨著真空應用的發展，真空栗的種類已發展了很多種，其抽速從每秒零點幾升到每秒幾十萬、數百萬升。隨著真空技術在生產和科學研究領域中對其應用壓強范圍的要求越來越寬。其中真空栗在應用于靈敏儀器時，如掃描電子顯微鏡，栗轉動產生的振動會影響儀器的正常運行，于是，在真空栗與真空腔之間多設置阻振機構，常規的阻尼機構的示意圖如圖2，其中真空栗(IA)通過密封機構連接到真空室(圖中未示出)，密封機構包括連接真空栗和真空腔的金屬波紋管(2A)及圍繞金屬波紋管設置的橡膠環(3A)，而該阻尼機構能夠吸收較大部分的振動，但是金屬波紋管傳輸的振動，仍足以影響靈敏的儀器的正常運作。
【實用新型內容】
[0003]本實用新型所要解決的技術問題是克服現有技術中存在的不足，提供一種有效提高隔振效果的設于真空腔與真空栗之間的振動隔離裝置。
[0004]本實用新型是通過以下技術方案予以實現:
[0005]—種設于真空腔與真空栗之間的振動隔離裝置，包括設于真空栗頂端的基座，一端設于基座內的雙層彈性隔膜及固定雙層彈性隔膜的另一端的穩定凸緣，所述穩定凸緣通過標準法蘭與真空腔連接，所述雙層彈性隔膜的一側通過穿過基座的導管連接真空栗出口，所述基座底部橫向延伸與穩定凸緣形成環形腔，基座與穩定凸緣底部空隙設有柔性膜片，所述環形腔通過增壓口連接外部加壓氣源。
[0006]本實用新型的有益效果是:
[0007]環形腔與雙層膜彈性隔膜共同配合，起到了有效隔振作用，便于為敏感儀器提供真空環境，保證儀器測量數據的準確性。
【附圖說明】
[0008]圖1是本實用新型的剖面結構示意圖。
[0009]圖2是現有技術的真空栗阻尼機構的剖面結構示意圖。
[0010]圖中:IA.真空栗，2A.金屬波紋管，3A.橡膠環，2.基座，3.雙層彈性隔膜4.穩定凸緣，5.真空腔，9.導管，10.真空栗出口，21.增壓口，43.柔性膜片，44.環形腔。
【具體實施方式】
[0011]為了使本技術領域的技術人員更好地理解本實用新型的技術方案，下面結合附圖和最佳實施例對本實用新型作進一步的詳細說明。
[0012]如圖所示，本實用新型包括設于真空栗頂端的基座2，一端設于基座內的雙層彈性隔膜3及固定雙層彈性隔膜的另一端的穩定凸緣4，所述穩定凸緣通過標準法蘭(圖中未示出)與真空腔5連接，所述雙層彈性隔膜的一側通過穿過基座的導管9連接真空栗出口 10，所述基座底部橫向延伸與穩定凸緣形成環形腔44，基座與穩定凸緣底部空隙設有柔性膜片43，所述環形腔通過增壓口 21連接外部加壓氣源。
[0013]由于大氣壓作用，趨向于將真空栗壓向真空室，在基座與穩定凸緣之間設置環形腔，并在環形腔內加壓，抵抗大氣壓作用造成的真空力，同時起到防振作用。
[0014]雙層彈性隔膜設于基座與穩定凸緣之間，基座可以再六個維度自由振動，從而防止帶動真空腔振動，雙層彈性隔膜中間形成的腔提供雙重密封，雙層膜彈性隔膜之間通過導管連接正空栗，有效降低膜片之間的壓力。
[0015]環形腔與雙層膜彈性隔膜共同配合，起到了有效隔振作用，便于為敏感儀器提供真空環境，保證儀器測量數據的準確性。
[0016]以上所述僅是本實用新型的優選實施方式，應當指出，對于本技術領域的普通技術人員來說，在不脫離本實用新型原理的前提下，還可以做出若干改進和潤飾，這些改進和潤飾也應視為本實用新型的保護范圍。
【主權項】
1.一種設于真空腔與真空栗之間的振動隔離裝置，其特征在于，包括設于真空栗頂端的基座，一端設于基座內的雙層彈性隔膜及固定雙層彈性隔膜的另一端的穩定凸緣，所述穩定凸緣通過標準法蘭與真空腔連接，所述雙層彈性隔膜的一側通過穿過基座的導管連接真空栗出口，所述基座底部橫向延伸與穩定凸緣形成環形腔，基座與穩定凸緣底部空隙設有柔性膜片，所述環形腔通過增壓口連接外部加壓氣源。
【專利摘要】一種設于真空腔與真空泵之間的振動隔離裝置，其特征在于，包括設于真空泵頂端的基座，一端設于基座內的雙層彈性隔膜及固定雙層彈性隔膜的另一端的穩定凸緣，所述穩定凸緣通過標準法蘭與真空腔連接，所述雙層彈性隔膜的一側通過穿過基座的導管連接真空泵出口，所述基座底部橫向延伸與穩定凸緣形成環形腔，基座與穩定凸緣底部空隙設有柔性膜片，所述環形腔通過增壓口連接外部加壓氣源。環形腔與雙層膜彈性隔膜共同配合，起到了有效隔振作用，便于為敏感儀器提供真空環境，保證儀器測量數據的準確性。
【IPC分類】F04B39/00
【公開號】CN205172884
【申請號】CN201520953124
【發明人】于少鵬, 邸士強, 湯萍, 趙東君, 王新鵬, 趙沙沙
【申請人】綠菱電子材料（天津）有限公司
【公開日】2016年4月20日
【申請日】2015年11月25日