一種抽真空設備的制造方法
【技術領域】
[0001]本實用新型一種抽真空設備，屬于抽真空設備技術領域。
【背景技術】
[0002]隨著現代科學技術的高度發展，在工業、商業、科學以及研宄機構中使用的密封容器越來越大，由于制造工藝不可能完美無缺，密封點成千上萬，密封裝置不可避免存在泄漏可能，在生產研制過程中，設備經常在材料質量、安裝、零件疲勞和結構設計上出現問題，降低了系統的密封性，導致系統漏氣，致使工件氧化報廢，影響工業生產，同時，傳統的設備精度較低，無法保證成品率。
【實用新型內容】
[0003]本實用新型克服了現有技術存在的不足，提供了一種抽真空設備，通過工作實踐改進真空系統結構設計，增加過濾閥，降低氣體內部殘留物對高壓真空泵浦的影響，加入低真空計和高真空計對系統內部進行精確測量，控制設備精度，同時運用多閥門串聯方式，保證進氣穩定性，選擇合適的密封方式，來提高真空系統密封性，從而降低了系統漏氣率，提升設備安全性能。
[0004]為了解決上述技術問題，本實用新型采用的技術方案為:一種抽真空設備，包括真空腔體、制程系統、破真空系統、低真空系統和高真空系統，所述低真空系統包括第一低真空泵浦和低真空計，所述第一低真空泵浦和低真空計均通過管路與真空腔體連接，所述第一低真空泵浦與真空腔體之間設置有第一電磁閥，所述低真空計與真空腔體之間設置有第一隔斷閥；
[0005]所述高真空系統包括高真空泵浦和高真空計，所述高真空泵浦和高真空計均通過管路與真空腔體連接，所述高真空泵浦與真空腔體之間設置有第二電磁閥，所述高真空計與真空腔體之間設置有第二隔斷閥，所述高真空泵浦與第一低真空泵浦之間設有第三電磁閥；
[0006]所述制程系統包括第二低真空泵浦和制程進氣管路，所述第二低真空泵浦與真空腔體通過管路連接，所述第二低真空泵浦與真空腔體之間設置有可調節閥件開度的蝴蝶閥和第四電磁閥，所述制程進氣管路與真空腔體連接，所述制程進氣管路上設置有控制閥；
[0007]所述破真空系統包括第一進氣管路和第二進氣管路，所述第一進氣管路和第二進氣管路均與真空腔體連接，所述第一進氣管路上設置有第一進氣電磁閥，所述第二進氣管路上設置有用于緩慢進氣的針閥和第二進氣電磁閥；
[0008]所述真空腔體上連接有空氣管路，所述空氣管路上設置有第三進氣電磁閥。
[0009]所述高真空泵浦的進氣口和出氣口均設置有用于過濾氣體的過濾閥。
[0010]所述制程進氣管路為一條或兩條。
[0011 ] 所述各個管路均采用圓弧過渡。
[0012]所述各個管路之間采用無縫焊接進行連接。
[0013]所述真空腔體內表面做拋光處理。
[0014]本實用新型與現有技術相比具有的有益效果是:
[0015]1、在真空系統中加入低真空計和高真空計，分別監控抽低真空和抽高真空時的真空室內壓強，確保設備的精度。
[0016]2、在制程系統中采用蝴蝶閥與電磁閥串聯結構，通過蝴蝶閥的控制，來控制設備抽氣量。
[0017]3、在破真空系統中采用針閥與電磁閥串聯結構，針閥使得氮氣可以緩慢進入真空腔體內，避免高真空下突然有大量氣體進入損壞內部設備。
[0018]4、在高真空泵浦的進氣與出去口均設置過濾閥，避免因氣體內部殘留物滯留在高真空泵浦內。
[0019]5、各個管路均采用圓弧過渡，不留死角，使氣體暢通無阻，有利于打磨拋光和清洗清掃，與此同時，各個管路之間采用無縫焊接進行連接使氣體通暢，降低系統的漏氣率，提升設備的安全性能。
[0020]6、打磨拋光真空腔體內表面，使其表面光亮如鏡，表面越光亮就越不易氣體吸附，越容易獲得真空。
【附圖說明】
[0021]下面結合附圖對本實用新型做進一步的說明。
[0022]圖1為本實用新型的結構示意圖。
[0023]圖中，I為真空腔體、2為制程系統、3為破真空系統、4為低真空系統、5為高真空系統、6為空氣管路、21位第二低真空泵浦、22位制程進氣管路、23為蝴蝶閥、24為第四電磁閥、25為控制閥、31為第一進氣管路、32為第二進氣管路、33為第一進氣電磁閥、34為針閥、35為第二進氣電磁閥、41為第一低真空泵浦、42為低真空計、43為第一電磁閥、44為第一隔斷閥、51為高真空泵浦、52為高真空計、53為第二電磁閥、54為第二隔斷閥、55為第三電磁閥、56為過濾閥、61為第三進氣電磁閥。
【具體實施方式】
[0024]如圖1所示，本實用新型一種抽真空設備，包括真空腔體1、制程系統2、破真空系統3、低真空系統4和高真空系統5，所述低真空系統4包括第一低真空泵浦41和低真空計42，所述第一低真空泵浦41和低真空計42均通過管路與真空腔體I連接，所述第一低真空泵浦41與真空腔體I之間設置有第一電磁閥43，所述低真空計42與真空腔體I之間設置有第一隔斷閥44 ；
[0025]所述高真空系統5包括高真空泵浦51和高真空計52，所述高真空泵浦51和高真空計52均通過管路與真空腔體I連接，所述高真空泵浦51與真空腔體I之間設置有第二電磁閥53，所述高真空計52與真空腔體I之間設置有第二隔斷閥54，所述高真空泵浦51與第一低真空泵浦41之間設有第三電磁閥55 ;
[0026]所述制程系統2包括第二低真空泵浦21和制程進氣管路22，所述第二低真空泵浦21與真空腔體I通過管路連接，所述第二低真空泵浦21與真空腔體I之間設置有可調節閥件開度的蝴蝶閥23和第四電磁閥24，所述制程進氣管路22與真空腔體I連接，所述制程進氣管路22上設置有控制閥25 ;
[0027]所述破真空系統3包括第一進氣管路31和第二進氣管路32，所述第一進氣管路31和第二進氣管路32均與真空腔體I連接，所述第一進氣管路31上設置有第一進氣電磁閥33，所述第二進氣管路32上設置有用于緩慢進氣的針閥34和第二進氣電磁閥35 ;
[0028]所述真空腔體上連接有空氣管路6，所述空氣管路上6設置有第三進氣電磁閥61。
[0029]所述高真空泵浦的進氣口和出氣口均設置有用于過濾氣體的過濾閥56。
[0030]所述制程進氣管路22為一條或兩條。
[0031 ] 所述各個管路均采用圓弧過渡。
[0032]所述各個管路之間采用無縫焊接進行連接。
[0033]所述真空腔體I內表面做拋光處理。
[0034]具體工作過程:
[0035]將工作件放入真空腔體I內，開啟低真空系統4，啟動第一低真空泵浦41，打開第一電磁閥43，氣體從真空腔體I中抽出，打開第一隔斷閥44使低真空計42顯示腔體的氣壓；當腔體進入低真空狀態后，開啟高真空系統5，關閉第一電磁閥43，打開第三電磁閥55，啟動高真空泵浦51，打開第二電磁閥53，對真空腔室I進行抽高真空，打開第二隔斷閥54使高真空計52顯示腔體氣壓，至此，完成將腔體由低真空抽至高真空的過程；關閉第一電磁閥43和第二電磁閥53，開啟制程系統2，啟動第二低真空泵浦21，打開蝴蝶閥23和第四電磁閥24，對真空腔體I進行制程抽氣，調整控制閥25對腔體內氣壓進行調節；制程完成后，關閉制程系統2，關閉第一隔斷閥44和第二隔斷閥54，啟動破真空系統3，打開針閥34和第二進氣電磁閥35，將氮氣緩慢通入真空腔體I內，進氣5到10秒后，打開第一進氣電磁閥33并完成破真空。
[0036]設備上設置有空氣管路6，當需要向系統內注入空氣時，打開第三進氣電磁閥61即可將空氣進入真空腔體I中。
[0037]上面結合附圖對本實用新型的實施例作了詳細說明，但是本實用新型并不限于上述實施例，在本領域普通技術人員所具備的知識范圍內，還可以在不脫離本實用新型宗旨的前提下作出各種變化。
【主權項】
1.一種抽真空設備，其特征在于:包括真空腔體(I)、制程系統(2)、破真空系統(3)、低真空系統(4)和高真空系統(5)，所述低真空系統(4)包括第一低真空泵浦(41)和低真空計(42)，所述第一低真空泵浦(41)和低真空計(42)均通過管路與真空腔體(I)連接，所述第一低真空泵浦(41)與真空腔體(I)之間設置有第一電磁閥(43)，所述低真空計(42)與真空腔體(I)之間設置有第一隔斷閥(44 ); 所述高真空系統(5)包括高真空泵浦(51)和高真空計(52)，所述高真空泵浦(51)和高真空計(52)均通過管路與真空腔體(I)連接，所述高真空泵浦(51)與真空腔體(I)之間設置有第二電磁閥(53)，所述高真空計(52)與真空腔體(I)之間設置有第二隔斷閥(54)，所述高真空泵浦(51)與第一低真空泵浦(41)之間設有第三電磁閥(55); 所述制程系統(2)包括第二低真空泵浦(21)和制程進氣管路(22)，所述第二低真空泵浦(21)與真空腔體(I)通過管路連接，所述第二低真空泵浦(21)與真空腔體(I)之間設置有可調節閥件開度的蝴蝶閥(23)和第四電磁閥(24)，所述制程進氣管路(22)與真空腔體(I)連接，所述制程進氣管路(22 )上設置有控制閥(25 ); 所述破真空系統(3)包括第一進氣管路(31)和第二進氣管路(32)，所述第一進氣管路(31)和第二進氣管路(32)均與真空腔體(I)連接，所述第一進氣管路(31)上設置有第一進氣電磁閥(33)，所述第二進氣管路(32)上設置有用于緩慢進氣的針閥(34)和第二進氣電磁閥(35)； 所述真空腔體上連接有空氣管路(6)，所述空氣管路上(6)設置有第三進氣電磁閥(61)。2.根據權利要求1所述一種抽真空設備，其特征在于:所述高真空泵浦的進氣口和出氣口均設置有用于過濾氣體的過濾閥(56 )。3.根據權利要求1所述一種抽真空設備，其特征在于:所述制程進氣管路(22)為一條或兩條。4.根據權利要求1所述一種抽真空設備，其特征在于:所述各個管路均采用圓弧過渡。5.根據權利要求1所述一種抽真空設備，其特征在于:所述各個管路之間采用無縫焊接進行連接。6.根據權利要求1所述一種抽真空設備，其特征在于:所述真空腔體(I)內表面做拋光處理。
【專利摘要】本實用新型一種抽真空設備，屬于抽真空設備技術領域；解決的技術問題是提供了一種抽真空設備，通過工作實踐改進真空系統結構設計，增加過濾閥，降低氣體內部殘留物對高壓真空泵浦的影響，加入低真空計和高真空計對系統內部進行精確測量，控制設備精度，同時運用多閥門串聯方式，保證進氣穩定性，選擇合適的密封方式，來提高真空系統密封性，從而降低了系統漏氣率，提升設備安全性能；采用的技術方案為：一種抽真空設備，包括真空腔體、制程系統、破真空系統、低真空系統和高真空系統，各個系統分別與真空腔體連接，實現抽低真空，抽高真空，制程進氣和破真空的工作過程；本實用新型可廣泛應用于抽真空設備技術領域。
【IPC分類】F04B53/16, F04B53/00, F04B51/00, F04B49/22, F04B37/14
【公開號】CN204627910
【申請號】CN201520222525
【發明人】袁建清
【申請人】山西南燁立碁光電有限公司
【公開日】2015年9月9日
【申請日】2015年4月14日