分子泵小車的制作方法
【技術領域】
[0001]本實用新型涉及抽真空設備領域，特別是指一種用于抽真空的分子泵小車。
【背景技術】
[0002]目前真空抽氣系統，其相應的(主泵、干泵)和控制單元的安裝都是分散地安裝于真空腔體下方。如果想想移動相應的主泵，干泵和控制單元相對比較麻煩，而且反復拆裝各個部件對各種管件的密封性有一定的損傷，同時使用不夠方便。
【發明內容】
[0003]本實用新型所要解決的技術問題，就是提出一種結構簡單，使用方便，將抽真空系統的若干零部件集中安裝于一個移動小車上的分子泵小車。
[0004]為解決上述技術問題，本實用新型的技術采用以下技術方案:分子泵小車，包括可移動小車，所述可移動小車的車身上集中安裝有分子泵，開關單元，控制單元和冷卻系統，所述分子泵內設置有壓力檢測單元和抽真空單元，所述控制單元通過開關單元控制所述壓力檢測單元和抽真空單元，所述控制單元還通過電信號控制所述冷卻系統，用于對所述分子泵進行冷卻。
[0005]進一步地，所述分子泵上還設置有真空計，所述真空計的控制端與所述控制單元直接連接。
[0006]優選地，所述自動放氣閥與所述分子泵連接。
[0007]具體地，所述可移動小車的底部安裝有4個滑輪。
[0008]具體地，所述可移動小車采用金屬材質制成。
[0009]與現有技術相比，本實用新型具有的有益效果為:結構緊湊，將分子泵，開關單元，控制單元和冷卻系統集中安裝在一個可移動小車上，減小實驗設備的占據空間；對實驗設備的共享做出完美響應，省去反復拆裝的過程，為用戶帶來最大的便利；減少對各個部件的反復拆卸，避免了因反復拆卸對各零部件的部件的損壞。
【附圖說明】
[0010]圖1為本實用新型優選實施例的結構示意圖。
[0011]圖中:1_可移動小車；2_分子泵；3_開關單元；4_控制單元；5_冷卻系統；6-壓力檢測單元；7_抽真空單元；8_真空計；9自動放氣閥，10-滑輪。
【具體實施方式】
[0012]為讓本領域的技術人員更加清晰直觀的了解本實用新型，下面將結合附圖，對本實用新型作進一步的說明。
[0013]如圖1所示為本實用新型的優選實施例。
[0014]分子泵小車，包括可移動小車1，所述可移動小車I采用所述材質制成，在所述可移動小車的底部安裝有4個滑輪10，通過所述滑輪10帶動所述可移動小車滑動。
[0015]在所述可移動小車I的車身上集中安裝有分子泵2 (分子泵是利用高速旋轉的轉子把動量傳輸給氣體分子，使之獲得定向速度，從而被壓縮、被驅向排氣口后為前級抽走的一種真空泵)，開關單元3，控制單元4和冷卻系統5，所述控制單元4可以智能控制分子泵內的抽真空操作，所述冷卻5用于對分子泵2進行冷卻。在所述分子泵2內還設置有壓力檢測單元6和抽真空單元7，所述壓力檢測單元6用于檢測所述分子泵2內氣體的壓力，所述抽真空單元7用于抽取分子泵內的空氣。所述控制單元4通過開關單元3控制所述壓力檢測單元6和抽真空單元7，所述控制單元4還通過電信號控制所述冷卻系統5。在所述分子泵2上還設置有真空計8，所述真空計8的控制端與所述控制單元4直接連接。所述控制單元4還控制一自動放氣閥9，所述自動放氣閥9與所述分子泵2連接。
[0016]本實用新型結構緊湊，將分子泵，開關單元，控制單元和冷卻系統集中安裝在一個可移動小車上，減小實驗設備的占據空間；對實驗設備的共享做出完美響應，省去反復拆裝的過程，為用戶帶來最大的便利；減少對各個部件的反復拆卸，避免了因反復拆卸對各零部件的部件的損壞。
[0017]以上所述僅為本實用新型的較佳實施例而已，并不用以限制本實用新型，凡在本實用新型的精神和原則之內，所作的任何修改、等同替換、改進等，均應包含在本實用新型的保護范圍之內
【主權項】
1.分子泵小車，包括可移動小車，其特征在于:所述可移動小車的車身上集中安裝有分子泵，開關單元，控制單元和冷卻系統，所述分子泵內設置有壓力檢測單元和抽真空單元，所述控制單元通過開關單元控制所述壓力檢測單元和抽真空單元，所述控制單元還通過電信號控制所述冷卻系統，用于對所述分子泵進行冷卻。
2.如權利要求1所述的分子泵小車，其特征在于，所述分子泵上還設置有真空計，所述真空計的控制端與所述控制單元直接連接。
3.如權利要求1所述的分子泵小車，其特征在于，所述控制單元還控制以自動放氣閥，所述自動放氣閥與所述分子泵連接。
4.如權利要求1所述的分子泵小車，其特征在于，所述可移動小車的底部安裝有4個滑輪。
5.如權利要求1所述的分子泵小車，其特征在于，所述可移動小車采用金屬材質制成。
【專利摘要】本實用新型公開了一種分子泵小車，包括可移動小車，所述可移動小車的車身上集中安裝有分子泵，開關單元，控制單元和冷卻系統，所述分子泵內設置有壓力檢測單元和抽真空單元，所述控制單元通過開關單元控制所述壓力檢測單元和抽真空單元，所述控制單元還通過電信號控制所述冷卻系統，用于對所述分子泵進行冷卻。本實用新型結構緊湊，將分子泵，開關單元，控制單元和冷卻系統集中安裝在一個可移動小車上，減小實驗設備的占據空間；對實驗設備的共享做出完美響應，省去反復拆裝的過程，為用戶帶來最大的便利；減少對各個部件的反復拆卸，避免了因反復拆卸對各零部件的損壞。
【IPC分類】F04D19-04, F04D29-00
【公開號】CN204327531
【申請號】CN201420718264
【發明人】陳禹
【申請人】成都惠誠海泰科技有限公司
【公開日】2015年5月13日
【申請日】2014年11月26日