一種能夠減少牽引級間隙返流的復合分子泵的制作方法
【技術領域】
[0001]本發明屬于真空設備技術領域，特別是涉及一種能夠減少牽引級間隙返流的復合分子栗。
【背景技術】
[0002]分子栗作為一種可以獲得清潔高真空的真空獲得設備，已被廣泛應用于很多工業領域，其中復合分子栗在較寬的壓力范圍內，依然能夠保持較高的抽氣性能，因此在半導體等行業中應用廣泛。
[0003]現有的復合分子栗主要分為兩類，一類是由渦輪分子栗與盤式牽引分子栗組合設計而成，即帶盤式牽引結構的復合分子栗；另一類是由渦輪分子栗與筒式牽引分子栗組合設計而成，即帶筒式牽引結構的復合分子栗，是現階段使用最為普遍的復合分子栗類型。
[0004]對于帶筒式牽引結構的復合分子栗，由于加工、裝配精度等限制，過小的牽引級轉子與定子之間的間隙，難以保證復合分子栗的工作可靠性。牽引級轉子與定子之間間隙的增大，使得氣體沿間隙的返流嚴重，進而影響到了復合分子栗的抽氣性能，特別是對粘滯流態下的抽氣性能影響更大。
【發明內容】
[0005]針對現有技術存在的問題，本發明提供一種能夠減少牽引級間隙返流的復合分子栗，以提升牽引級的壓縮作用，進一步提高復合分子栗的抽氣性能。
[0006]為了實現上述目的，本發明采用如下技術方案:一種能夠減少牽引級間隙返流的復合分子栗，包括渦輪級、筒式牽引級和驅動主軸，所述渦輪級包括靜葉片和動葉輪，所述筒式牽引級包括牽引轉子和定子，所述動葉輪及牽引轉子固定套裝在驅動主軸上，其特點是:在所述牽引轉子和定子之間設置有防氣體返流結構。
[0007]所述防氣體返流結構包括環向凸臺及環向凹槽，所述環向凸臺與環向凹槽彼此正對設置，且環向凸臺和環向凹槽的軸向中心線與驅動主軸的軸向中心線相重合。
[0008]當所述牽引轉子為光筒、定子內開設螺旋槽時，所述環向凸臺設置在牽引轉子上，所述環向凹槽設置在定子上。
[0009]當所述定子為光筒、牽引轉子上開設螺旋槽時，所述環向凸臺設置在定子上，所述環向凹槽設置在牽引轉子上。
[0010]所述防氣體返流結構設置在復合分子栗的粘滯流態處、分子流態與粘滯流態之間的過渡流態處或在上述兩種流態處同時設置。
[0011]在軸向方向上，所述環向凸臺的寬度小于環向凹槽的寬度。
[0012]所述環向凸臺與環向凹槽之間間距為牽引轉子與定子之間間距的1?5倍。
[0013]本發明的有益效果:
[0014]本發明通過在牽引轉子和定子之間增加防氣體返流結構，通過環向凸臺對返流氣體起到了明顯的阻擋作用，通過環向凸臺與環向凹槽之間留有的間隙保證正常的抽氣。本發明在保證抽氣性能不變的情況下降低了返流作用，進而提升了復合分子栗的抽氣性能。
【附圖說明】
[0015]圖1為本發明的一種能夠減少牽引級間隙返流的復合分子栗(牽引轉子為光筒且定子內開設螺旋槽時)結構示意圖；
[0016]圖2為本發明的一種能夠減少牽引級間隙返流的復合分子栗(定子為光筒且牽引轉子上開設螺旋槽時)結構示意圖；
[0017]圖中，1—靜葉片，2—動葉輪，3—牽引轉子，4—定子，5—驅動主軸，6—環向凸臺，7—環向凹槽。
【具體實施方式】
[0018]下面結合附圖和具體實施例對本發明做進一步的詳細說明。
[0019]如圖1、2所示，一種能夠減少牽引級間隙返流的復合分子栗，包括渦輪級、筒式牽引級和驅動主軸5，所述渦輪級包括靜葉片1和動葉輪2，所述筒式牽引級包括牽引轉子3和定子4，所述動葉輪2及牽引轉子3固定套裝在驅動主軸5上，其特點是:在所述牽引轉子3和定子4之間設置有防氣體返流結構。
[0020]所述防氣體返流結構包括環向凸臺6及環向凹槽7，所述環向凸臺6與環向凹槽7彼此正對設置，且環向凸臺6和環向凹槽7的軸線中心線與驅動主軸5的軸線中心線相重入口 ο
[0021 ] 當所述牽引轉子3為光筒、定子4內開設螺旋槽時，所述環向凸臺6設置在牽弓|轉子3上，所述環向凹槽7設置在定子4上。
[0022]當所述定子4為光筒、牽引轉子3上開設螺旋槽時，所述環向凸臺6設置在定子4上，所述環向凹槽7設置在牽引轉子3上。
[0023]所述防氣體返流結構設置在復合分子栗的粘滯流態處、分子流態與粘滯流態之間的過渡流態處或在上述兩種流態處同時設置。
[0024]在軸向方向上，所述環向凸臺6的寬度小于環向凹槽7的寬度。
[0025]所述環向凸臺6與環向凹槽7之間間距為牽引轉子3與定子4之間間距的1?5倍。
[0026]下面結合【附圖說明】本發明的一次使用過程:
[0027]復合分子栗在工作時，動葉輪2及牽引轉子3隨著驅動主軸5高速旋轉，進而攜帶氣體沿著螺旋槽向下流動，隨著對氣體壓縮的增強，復合分子栗牽引級入口與出口之間的壓差越來越大，此時，特別是在粘滯流態時，氣體會在壓差作用下增加沿著牽引轉子3與定子4之間間隙向上的返流量，返流現象的存在會導致栗抽氣性能和壓縮性能的下降。
[0028]當復合分子栗在牽引轉子3和定子4之間設置防氣體返流結構后，通過環向凸臺6對返流氣體起到了明顯的阻擋作用，通過環向凸臺6與環向凹槽7之間留有的間隙保證正常的抽氣過程。因此，在保證抽氣性能不變的情況下降低了返流作用，由于降低了氣體返流，便實現了復合分子栗抽氣性能的提升。
[0029]實施例中的方案并非用以限制本發明的專利保護范圍，凡未脫離本發明所為的等效實施或變更，均包含于本案的專利范圍中。
【主權項】
1.一種能夠減少牽引級間隙返流的復合分子栗，包括渦輪級、筒式牽引級和驅動主軸，所述渦輪級包括靜葉片和動葉輪，所述筒式牽引級包括牽引轉子和定子，所述動葉輪及牽引轉子固定套裝在驅動主軸上，其特征在于:在所述牽引轉子和定子之間設置有防氣體返流結構。2.根據權利要求1所述的一種能夠減少牽引級間隙返流的復合分子栗，其特征在于:所述防氣體返流結構包括環向凸臺及環向凹槽，所述環向凸臺與環向凹槽彼此正對設置，且環向凸臺和環向凹槽的軸向中心線與驅動主軸的軸向中心線相重合。3.根據權利要求2所述的一種能夠減少牽引級間隙返流的復合分子栗，其特征在于:當所述牽引轉子為光筒、定子內開設螺旋槽時，所述環向凸臺設置在牽引轉子上，所述環向凹槽設置在定子上。4.根據權利要求2所述的一種能夠減少牽引級間隙返流的復合分子栗，其特征在于:當所述定子為光筒、牽引轉子上開設螺旋槽時，所述環向凸臺設置在定子上，所述環向凹槽設置在牽引轉子上。5.根據權利要求3或4所述的一種能夠減少牽引級間隙返流的復合分子栗，其特征在于:所述防氣體返流結構設置在復合分子栗的粘滯流態處、分子流態與粘滯流態之間的過渡流態處或在上述兩種流態處同時設置。6.根據權利要求3或4所述的一種能夠減少牽引級間隙返流的復合分子栗，其特征在于:在軸向方向上，所述環向凸臺的寬度小于環向凹槽的寬度。7.根據權利要求3或4所述的一種能夠減少牽引級間隙返流的復合分子栗，其特征在于:所述環向凸臺與環向凹槽之間間距為牽引轉子與定子之間間距的1?5倍。
【專利摘要】一種能夠減少牽引級間隙返流的復合分子泵，在牽引轉子和定子之間設置有防氣體返流結構，其包括環向凸臺及環向凹槽，環向凸臺與環向凹槽彼此正對設置，且環向凸臺和環向凹槽的軸向中心線與驅動主軸的軸向中心線相重合；當牽引轉子為光筒、定子內開設螺旋槽時，環向凸臺設置在牽引轉子上，環向凹槽設置在定子上；當定子為光筒、牽引轉子上開設螺旋槽時，環向凸臺設置在定子上，環向凹槽設置在牽引轉子上；防氣體返流結構設置在復合分子泵的粘滯流態處、分子流態與粘滯流態之間的過渡流態處或在上述兩種流態處同時設置；在軸向方向上，環向凸臺的寬度小于環向凹槽的寬度；環向凸臺與環向凹槽之間間距為牽引轉子與定子之間間距的1～5倍。
【IPC分類】F04D29/52, F04D19/04
【公開號】CN105370587
【申請號】CN201510895340
【發明人】王曉冬, 巴德純, 張磊, 付強, 張鵬飛, 陶繼忠
【申請人】東北大學
【公開日】2016年3月2日
【申請日】2015年12月7日