一種冷凝泵的制作方法
【技術領域】
[0001]本發明涉及一種栗體技術領域，特別是涉及一種冷凝栗。
【背景技術】
[0002]冷凝栗是利用低溫表面冷凝氣體的真空栗，又稱冷凝栗。冷凝栗是獲得清潔真空的極限壓力最低、抽氣速率最大的真空栗，廣泛應用于半導體和集成電路的研究和生產，以及分子束研究、真空鍍膜設備、真空表面分析儀器、離子注入機和空間模擬裝置等方面。因其潔凈無污染、效率高、抽速大、高可靠性等突出優勢，被廣泛的應用于科學研究實驗室、乃至工業生產等眾多領域，如半導體材料制作、平板顯示器生產/測試設備、太陽能制造業、真空鍍膜、熱真空系統等。
[0003]冷凝栗支承部分主要件有托架、前后鈾承壓蓋和鈾組合定位在托架上的前后徑向滾珠鈾承上，滾球鈾承亦承受未被平衡的鈾向力。用稀油潤滑，油量可從油標看出。前后鈾承壓蓋均裝有毛氈密封圈做為鈾封以防漏油。管堵處的孔用來灌油。清洗換油時從絲孔將油放出。栗采用軟填料密封，在鈾封處裝有可更換的鈾套。栗通過彈性聯鈾器由電動機驅動，從傳動方向看，栗為逆時針方向旋轉。單級:主要件有硅黃銅80-3鑄成的葉輪通過鍵固定由45號優質碳素制成的軸上，葉輪裝在由耐磨鑄鐵HT20-40鑄成的栗體、栗蓋所構成的栗工作室內，動力機通過聯軸器帶動支在軸承中的軸和葉輪，栗就工作，耐磨鑄鐵HT20-40制成的軸套，與襯套(6N6和4N6X2)之間有著水潤滑的滑動軸承的作用，栗體后的填料函內裝有填料環，及填料油浸石墨石棉繩，開口填料壓蓋，借助加長雙頭螺栓壓緊填料，并可調整松緊，外部引入高于大氣壓的密封水，通過接管對準填料環，并在整個填料函內就形成隔絕空氣侵入栗內的密封腔，同時阻止栗內水向外流，僅有少量的潤滑水滴出。在葉輪上開有平衡孔，使高壓區與進口低壓區溝通從而消除軸向推力，為了防止磨損栗體和栗蓋，于修理，達到良好密封，在栗體、栗蓋上裝有密封環，栗體上部備有絲孔做為放氣用，停車檢修時，栗中之水從絲孔放出，為了方便栗體和栗蓋的拆卸備有起蓋螺釘(蓋、體通用)進出口均備有測壓孔。兩級:其余與單級相同，僅栗蓋、栗體和中間導葉構成兩個工作室，在兩室內相應裝有硅黃銅80-3鑄成的第一級葉輪和鑄鐵HT20-40CuMo制成的葉輪。
[0004]低溫栗是利用低溫表面冷凝氣體的真空栗，又稱冷凝栗。低溫栗是獲得清潔真空的極限壓力最低、抽氣速率最大的真空栗，廣泛應用于半導體和集成電路的研究和生產，以及分子束研究、真空鍍膜設備、真空表面分析儀器、離子注入機和空間模擬裝置等方面。在低溫栗內設有由液氦或制冷機冷卻到極低溫度的冷板。它使氣體凝結，并保持凝結物的蒸汽壓力低于栗的極限壓力，從而達到抽氣作用。低溫抽氣的主要作用是低溫冷凝、低溫吸附和低溫捕集。①低溫冷凝:氣體分子冷凝在冷板表面上或冷凝在已冷凝的氣體層上，其平衡壓力基本上等于冷凝物的蒸氣壓。抽空氣時，冷板溫度必須低于25K;抽氫時，冷板溫度更低。低溫冷凝抽氣冷凝層厚度可達10毫米左右。②低溫吸附:氣體分子以一個單分子層厚(10-8厘米數量級)被吸附到涂在冷板上的吸附劑表面上。吸附的平衡壓力比相同溫度下的蒸氣壓力低得多。如在20K時氫的蒸氣壓力等于大氣壓力，用20K的活性炭吸氫時吸附平衡壓力則低于10-8帕。這樣就可能在較高溫度下通過低溫吸附來進行抽氣。③低溫捕集:在抽氣溫度下不能冷凝的氣體分子，被不斷增長的可冷凝氣體層埋葬和吸附，一般說來，栗的極限壓力就是冷板溫度下的被冷凝氣體的蒸氣壓力。溫度為120K時，水的蒸氣壓已低于10-8帕。溫度為20K時，除氦、氖和氫外，其他氣體的蒸氣壓也低于10-8帕。但由于被抽容器和低溫冷板的溫度不同，栗的極限壓力高于冷凝物的蒸氣壓。對于室溫下的容器，低溫板為20K時，栗的極限壓力約為冷凝物蒸氣壓力的4倍。目前現有的冷凝栗結構復雜，安裝不方便，運行穩定性能不高。
【發明內容】
[0005]本發明要解決的技術問題是提供一種冷凝效果好，安裝方便，結構緊湊，使用壽命長，密封性能好的冷凝栗。
[0006]為解決上述問題，本發明采用如下技術方案:
一種冷凝栗，包括外筒體、栗體、主軸和電機支座，所述栗體和主軸設在外筒體內，所述栗體外側設置有拉桿螺栓，所述栗體通過拉桿螺栓與外筒體固定連接，所述主軸上依次設置有首級葉輪、次級葉輪、軸承和聯軸器，所述首級葉輪下方設置有吸入口，所述次級葉輪外側設置有導葉和中段，所述軸承外側設置有壓水接管，所述壓水接管與中段密封連接，所述壓水接管頂端設置有軸封，所述壓水接管兩側分別設置減壓管和排出彎管，所述電機支座設在外筒體上，所述電機支座與外筒體固定連接，所述電機支座上設置有電機和推力軸承，所述電機通過推力軸承與主軸傳動連接。
[0007]作為優選，所述減壓管底部連接有平衡管，將外筒體內的空氣排至冷凝器，從而平衡外筒體與冷凝器之間的真空度，穩定水栗的吸入條件，保證水栗的運行性能。
[0008]作為優選，所述外筒體一側設置有冷卻管，能夠通入冷卻介質，保持冷卻效果好。
[0009]作為優選，所述外筒體底部設置有安裝座，方便外筒體的安裝固定。
[0010]作為優選，所述安裝座與外筒體固定連接，保持結構穩定。
[0011 ] 作為優選，所述安裝座設有兩個，安裝方便穩固。
[0012]作為優選，所述首級葉輪和次級葉輪分別與主軸固定連接。
[0013]本發明要解決的另一技術問題是提供一種冷凝栗栗體的加工工藝。
[0014]為解決上述技術問題，本發明采用如下技術方案:包括以下步驟:
1)采用砂型鑄造栗體外輪廓，進行人工時效處理，消除內應力，使用噴涂機進行噴漆，完成噴漆后進行30min在80°C進行烤漆處理；
2)銑栗體底面，鉆底座的通孔，銑后端面，清洗，去毛刺，倒角。
[0015]本發明的有益效果是:設置的首級葉輪和次級葉輪保持冷凝栗高效的吸入性能，減壓管能夠降低壓水接管內的壓力，推力軸承能夠保持主軸運行穩定，冷卻管能夠通入冷卻介質，保持冷凝效果，軸封保持栗內的