一種新型低溫泵冷傘及其制備方法
【技術領域】
[0001]本發明涉及低溫真空栗領域，具體為一種新型低溫栗冷傘及其制備方法。
【背景技術】
[0002]低溫真空栗一般簡稱為低溫栗或者冷栗(cryopump)，小型制冷機為冷源利用低溫面冷凝吸附氣體的一種氣體捕集式真空栗裝置，是由真空和低溫技術結合而形成的一種應用技術。在許多試驗研究中作為產生高真空高潔凈的基礎手段在工業生產領域，ic、IXD、HD的生產中，主要作為薄膜沉積工藝真空系統的標準配置，具有廣泛和重要的應用領域。低溫栗中的制冷機在兩個溫度級上產生制冷，分別冷卻兩個低溫表面，被抽的氣體就被冷卻在低溫表面上。制冷機的一級通常工作在50K - 70K范圍，它用來冷卻靠外的冷屏，這個冷屏既為更冷的冷板充當防輻射的屏蔽，同時又用來冷卻擋在栗入口處的百葉窗(障板)，當水蒸汽碰到障板上時就被冷凍在它上面。制冷機的二級，即最冷的一級，通常工作在1K -20K之間，用來冷卻靠內的冷板，它冷凍穿過百葉窗的N2、02、Ar等氣體。不能被這一溫度冷凍的氣體被位于冷板內部的活性炭吸附。在低溫栗中，一級冷板一般由輻射屏和一級擋板組成，同制冷機的一級冷頭相連；冷傘與制冷機二級冷頭相接，通常工作在10K~20K之間，冷傘的外表面是冷凝抽氣，用于抽除Ν2、02、Ar等可凝性氣體，而對He、Ne、H2等非凝性氣體進行預冷；粘接活性炭的內側主要以低溫吸附的方式抽除He、Ne、Η2。
[0003]由于活性炭直接粘接在冷傘上的接觸面積較大，造成粘接的接觸面不能吸附氣體，因此提出一種新型低溫栗冷傘及其制備方法。
【發明內容】
[0004]本發明目的是提供一種新型低溫栗冷傘及其制備方法，以解決現有活性炭直接粘接在低溫栗的冷傘上由于接觸面積較大而導致氣體吸附減少的問題，增加吸附面積。
[0005]為了達到上述目的，本發明所采用的技術方案為:
一種新型低溫栗冷傘，其特征在于:包括有冷傘本體，冷傘本體上設有冷傘冷板；所述的冷傘冷板上均勻分布有銅球，銅球的表面粘接有活性炭。
[0006]所述的一種新型低溫栗冷傘，其特征在于:所述的冷傘冷板和銅球上分別設有螺紋孔，各個銅球分別通過一個螺柱固定在冷傘冷板上。
[0007]所述的一種新型低溫栗冷傘，其特征在于:所述的銅球的直徑范圍是5_20mm，相鄰銅球之間的距離為1mm。
[0008]一種新型低溫栗冷傘的制備方法，其特征在于，該方法包括以下步驟:
1)、使用低溫膠將活性炭粘接在銅球上；
2)、分別在低溫栗的冷傘冷板和銅球上打造螺紋孔；
3)、使用螺柱將布滿活性炭的銅球固定在低溫栗的冷傘冷板上。
[0009]活性炭有較大的表面面積，能夠獲得較大的吸附面積，可以提高低溫栗的抽氣容量，再生過程中在室溫下氣體能夠很容易地脫附。
[0010]銅球導熱性能好，活性炭再生過程中氣體釋放速度快，并且使用低溫膠將活性炭粘接在銅球上時，能夠使得銅球的每個面都附著活性炭。
[0011]本發明的優點是:
本發明通過使用低溫膠將活性炭粘接在銅球上，這樣銅球的每個面都附著活性炭，避免了直接將活性炭粘接在冷傘面上導致接觸面不能吸附氣體，從而可以增加活性炭吸附氣體的面積，同時再生過程中在室溫下由于銅球具有良好的導熱性能，使得吸附在活性炭表面的氣體能夠很快地釋放出來，并且使用螺柱分別固定在銅球和冷傘上，便于拆卸。
【附圖說明】
[0012]圖1為本發明的結構示意圖。
[0013]圖2為本發明的冷傘冷板結構示意圖。
[0014]圖3為本發明的冷傘固定銅球結構局部放大圖。
【具體實施方式】
[0015]以下結合附圖對本發明的實施方式進行說明。
[0016]冷傘通過螺釘固定于低溫制冷機的二級冷頭，冷傘在低溫栗中與制冷機二級冷頭相接，通過低溫制冷機的冷頭降溫，通常工作在10K~20K之間，冷傘的外表面是冷凝抽氣，用于抽除N2、02、Ar等可凝性氣體，而對He、Ne、比等非凝性氣體進行預冷；粘接活性炭的內側主要以低溫吸附的方式抽除He、Ne、H2。
如圖1-3所示。一種新型低溫栗冷傘，包括有冷傘本體I，冷傘本體I上設有冷傘冷板2 ;冷傘冷板2上均勻分布有銅球3，銅球3的表面粘接有活性炭。
[0017]冷傘冷板2和銅球3上分別設有螺紋孔，各個銅球3分別通過一個螺柱4固定在冷傘冷板2上。
[0018]銅球3的直徑范圍是5-20mm，相鄰銅球3之間的距離為1mm。
[0019]一種新型低溫栗冷傘的制備方法，該方法包括以下步驟:
1)、使用低溫膠將活性炭粘接在銅球上；
2)、分別在低溫栗的冷傘冷板和銅球上打造螺紋孔；
3)、使用螺柱將布滿活性炭的銅球固定在低溫栗的冷傘冷板上。
【主權項】
1.一種新型低溫栗冷傘，其特征在于:包括有冷傘本體，冷傘本體上設有冷傘冷板；所述的冷傘冷板上均勻分布有銅球，銅球的表面粘接有活性炭。2.根據權利要求1所述的一種新型低溫栗冷傘，其特征在于:所述的冷傘冷板和銅球上分別設有螺紋孔，各個銅球分別通過一個螺柱固定在冷傘冷板上。3.根據權利要求1所述的一種新型低溫栗冷傘，其特征在于:所述的銅球的直徑范圍是5-20mm，相鄰銅球之間的距離為1mm。4.一種新型低溫栗冷傘的制備方法，其特征在于，該方法包括以下步驟: 1)、使用低溫膠將活性炭粘接在銅球上； 2)、分別在低溫栗的冷傘冷板和銅球上打造螺紋孔； 3)、使用螺柱將布滿活性炭的銅球固定在低溫栗的冷傘冷板上。
【專利摘要】本發明公開了一種新型低溫泵冷傘及其制備方法，包括有冷傘本體，冷傘本體上設有冷傘冷板；所述的冷傘冷板上均勻分布有銅球，銅球的表面粘接有活性炭；先使用低溫膠將活性炭粘接在銅球上；再分別在低溫泵的冷傘冷板和銅球上打造螺紋孔；然后使用螺柱將布滿活性炭的銅球固定在低溫泵的冷傘冷板上。本發明通過將活性炭粘接在銅球上，可以實現銅球的每個面都附著活性炭，避免了活性炭直接粘接在冷板上導致接觸面不能吸附氣體，增大了活性炭吸附氣體的面積，同時由于銅球的良好導熱性能，再生過程中吸附在活性炭表面的氣體能夠很快釋放出來，并且拆卸方便。
【IPC分類】F04B39/00, F04B37/08, B23P15/00
【公開號】CN105003417
【申請號】CN201510486296
【發明人】王少恒, 羅高喬, 張雨航, 武義鋒
【申請人】安徽萬瑞冷電科技有限公司
【公開日】2015年10月28日
【申請日】2015年8月10日