專利名稱:寬域高真空強力油蒸汽流泵的制作方法
技術領域:
本實用新型是一種真空獲得設備,特別是一種寬域高真空強力油蒸汽流泵,包括油擴散泵和油增壓泵。
現在已有的高真空油蒸汽流泵中,一般選用直筒式、錐形泵殼或四段凸腔式泵殼,泵芯選用三級或四級噴嘴,擴壓道皆為圓形截面,功率是固定不變的。這種油蒸汽流泵由于結構所限,只能在較窄的工作壓力范圍內具有抽氣能力,油擴散泵的工作壓力范圍僅在3×10-3-7×10-2Pa,而油增壓泵的工作壓力僅在1.3×10-1-1.3Pa。因此,其應用范圍受到限制,在生產使用中效率較低,影響產品質量的提高,增加前級泵的容量,耗能較大,從而影響真空工業的發展。
本實用新型的目的是提供一種新型的寬域高真空油蒸汽流泵,它可以克服現有技術中所存在的缺點,在較寬工作壓力范圍內具有較大的抽氣能力,從而提高工作效率,提高產品的質量。
本實用新型的目的是這樣實現的它包括鍋爐、泵體、噴嘴、擴壓道,其特征是泵體采用三段凸腔式,鍋爐的蒸發面積大于主泵體進氣口的面積,噴嘴至少選用五級,鍋爐內設有由分餾環或由分餾環與分餾板組成的分餾裝置。
另外,本實用新型的擴壓道可以選用扁形截面,其中包括扁圓形、矩形及多邊扁形,在擴壓道內的噴射噴嘴由多個小噴嘴組成;主泵體與鍋爐為分體式,鍋爐的加熱功率為可調式。
本實用新型由于采用了以上的結構,所以使高真空油擴散泵除保持原有的全部性能之外,在1.3×10-1Pa有較大的抽速,在1.3×10-1-1.3Pa間仍有穩定的可測抽速,使油增壓泵在基本保持全部原有性能的基礎上,其極限壓力可達到1.3×10-3Pa左右,此外,由于采用了上述結構,提高了抽速和極限真空度,也大大地提高了熱效率,縮短了加熱時間,節省了能源,提高了工作效率。
下面結合實施例及其附圖對本實用新型作進一步詳細的說明。
圖1是本實用新型的一種具體實施例的結構示意圖。
圖2是
圖1中的A向視圖。
圖3是
圖1中的分餾裝置的俯視圖。
如
圖1所示,本實施例的主泵體采用凸腔式結構,由圖中1、2、3三段組成,鍋爐4與泵體之間通過法蘭相聯,并裝有絕熱耐高溫密封圈5,由圖可見,鍋爐的蒸發面積大于泵入口的面積,本實施例中的噴嘴選用六級,其中包括四級傘形噴嘴6和兩級噴射噴嘴7,擴壓道8的截面形狀如圖2所示,采用扁圓形,在擴壓道中的噴嘴由三個小噴嘴組成,鍋爐中的分餾裝置如圖3所示,它包括分餾環9和分餾板10,鍋爐中加熱器的功率可以采用分流的方式或者其它通用的方式進行功率的改變,以便在主泵正常工作時減小加熱器的功率,以節省能源。圖中11是油蒸汽流泵的中間體。
權利要求1.一種寬域高真空強力油蒸汽流泵,它包括鍋爐、泵體、噴嘴、擴壓道,其特征是主泵體采用三段凸腔式結構,鍋爐的蒸發面積大于泵體進氣口的面積,噴嘴至少選用五級,鍋爐內設有由分餾環或由分餾環與分餾板組成的分餾裝置。
2.根據權利要求1所說的高真空強力油蒸汽流泵,其特征是擴壓道為扁形截面,擴壓道中的噴射噴嘴由多個小噴嘴組成。
3.根據權利要求1所說的高真空強力油蒸汽流泵,其特征是主泵體與鍋爐為分離式。
4.根據權利要求1所說的高真空強力油蒸汽流泵,其特征是鍋爐的加熱功率為可調式。
專利摘要一種寬域高真空強力油蒸汽流泵,它包括鍋爐、泵體、噴嘴、擴壓道,其特征是主泵體采用三段凸腔式結構,鍋爐的蒸發面積大于泵體進氣口的面積,噴嘴至少選用五級,鍋爐中裝有分餾裝置,本實用新型使高真空油蒸汽流泵保持原有的全部性能外,其工作壓力范圍有了較大的擴展,并提高了抽速和極限真空度,也大大地提高了熱效率,縮短了加熱時間,節省了能源,提高了工作效率。
文檔編號F04B37/14GK2274262SQ96225139
公開日1998年2月11日 申請日期1996年1月17日 優先權日1996年1月17日
發明者張國孝 申請人:張國孝