一種嵌入裝置內部的牽引式分子泵的制作方法
【專利摘要】本實用新型公開了一種嵌入裝置內部的牽引式分子泵，包括內部安裝有轉子的外殼，內壁形成螺旋抽氣槽且與轉子同軸的第一級分子泵；與第一級分子泵過盈連接的第三級分子泵上端面形成上環形凸緣，下端面形成多個抽氣槽，中間形成中心通孔，中心通孔的內壁形成螺旋抽氣槽，第三級分子泵的下部形成圓環形裝配槽；與第三級分子泵中裝配槽過盈配合的圓環形第二級分子泵下端面形成多個抽氣槽，第二級分子泵的邊緣形成與螺釘孔相對應的多個凹槽。本實用新型具有加工成本低且易加工安裝的特點；且本實用新型利用了轉子自身高速旋轉的特點，可以在不進一步提高外界抽空能力的條件下使裝置內的壓強達到10-3Pa的狀態。
【專利說明】-種嵌入裝置內部的牽引式分子泵
【技術領域】
[0001] 本實用新型屬于分子泵領域，具體涉及一種嵌入裝置內部的牽引式分子泵。
【背景技術】
[0002] 目前已廣泛應用的分子泵雖然具有良好的高真空和超高真空性能，但由于其工作 原理和泵結構限制，導致其只能與待抽空設備通過管道或法蘭相串聯，而無法直接鑲嵌在 裝置中使用。例如，通常狀況下若要使某種轉動部件高速旋轉時，往往需要對其周圍進行抽 真空處理，以保證其轉動時處于一個良好的真空環境進而降低摩擦功耗和因摩擦而產生的 熱量。然而，若要使此轉動部件在高轉速下工作時，僅靠外界的抽空裝置對其進行抽空則根 本無法滿足要求，因此需要設計一套可以直接鑲嵌在裝置內的分子泵系統對其進行抽空處 理。 實用新型內容
[0003] 本實用新型是為了克服現有技術中存在的缺點而提出的，其目的是提供一種嵌入 裝置內部的牽引式分子泵。
[0004] 本實用新型的技術方案是：
[0005] -種嵌入裝置內部的牽引式分子泵，包括內部安裝有圓柱型轉子的外殼，還包括 與轉子同軸的中空的圓筒狀第一級分子泵，第一級分子泵處于轉子側立面與外殼內壁之 間，第一級分子泵內壁形成螺旋抽氣槽；與第一級分子泵過盈連接的第三級分子泵上端面 形成上環形凸緣，下端面形成多個抽氣槽，中間形成中心通孔，中心通孔的內壁形成螺旋抽 氣槽，第三級分子泵的下部形成圓環形裝配槽，裝配槽上方均布有用于將第三級分子泵與 端面法蘭連接的多個螺釘孔，第三級分子泵外壁形成有下環形凸緣；與第三級分子泵中裝 配槽過盈配合的圓環形第二級分子泵下端面形成多個抽氣槽，第二級分子泵的邊緣形成與 螺釘孔相對應的多個凹槽。
[0006] 所述螺旋抽氣槽截面呈U型，且呈右旋狀態。
[0007] 所述上環形凸緣與端面法蘭下部形成的環形凹槽相配合。
[0008] 所述第二級分子泵下端面形成的抽氣槽與第三級分子泵下端面形成抽氣槽相對 齊。
[0009] 所述多個抽氣槽按環形均布，其槽型為變寬度的矩形。
[0010] 所述轉子以逆時針方向轉動。
[0011] 本實用新型的有益效果是：
[0012] 本實用新型具有加工成本低且易加工安裝的特點；且本實用新型充分地利用了轉 子自身高速旋轉的特點，可以在不進一步提高外界抽空能力的條件下使裝置內的壓強達到 l〇_3Pa的狀態；第二級分子泵與第三級分子泵屬于分體式，因而可降低加工難度；第二級分 子泵上設有三個可供螺釘穿入的開口，因此不會影響第三級分子泵與端面法蘭的正常安裝 與連接；第二級分子泵與第三級分子泵之間采用過盈配合式連接，所以減少了抽氣槽中的 螺釘等零部件，繼而最大程度地保證了抽氣槽的過流面積。
【專利附圖】
【附圖說明】
[0013] 圖1是本實用新型一種嵌入裝置內部的牽引式分子泵的結構示意圖；
[0014] 圖2是圖1未安裝轉子時的A-A面剖視圖；
[0015] 圖3是本實用新型中第一級分子泵的結構示意圖；
[0016] 圖4是本實用新型中第三級分子泵的結構示意圖；
[0017] 圖5是圖3和圖4中沿B-B線的剖面圖；
[0018] 圖6是本實用新型中第二級分子泵的結構示意圖；
[0019] 圖7是第三級分子泵C向結構示意圖；
[0020] 圖8是圖6和圖7中沿D-D線的剖面圖。
[0021] 其中：
[0022] 1轉子 2外殼
[0023] 3第一級分子泵 4第二級分子泵
[0024] 5第三級分子泵 6端面法蘭
[0025] 7螺旋抽氣槽 8上環形凸緣
[0026] 9抽氣槽 10中心通孔
[0027] 11裝配槽 12螺釘孔
[0028] 13凹槽 14下環形凸緣
[0029] 15 螺釘。
【具體實施方式】
[0030] 下面結合實施例及附圖對本實用新型一種嵌入裝置內部的牽引式分子泵進行詳 細說明：
[0031] 如圖1~8所示，一種嵌入裝置內部的牽引式分子泵，包括內部安裝有圓柱型轉子1 的外殼2,還包括與轉子1同軸的中空的圓筒狀第一級分子泵3,第一級分子泵3處于轉子 1側立面與外殼2內壁之間，第一級分子泵3內壁形成螺旋抽氣槽7 ;與第一級分子泵3過 盈連接的第三級分子泵5上端面形成上環形凸緣8,下端面形成多個抽氣槽9,本實施例中 抽氣槽9的數量為8個，中間形成中心通孔10,中心通孔10的內壁形成螺旋抽氣槽7,第三 級分子泵5的下部形成圓環形裝配槽11，裝配槽11上方均布有用于將第三級分子泵5與端 面法蘭6連接的多個螺釘孔12,本實施例中螺釘孔12的的數量為3個，第三級分子泵5外 壁形成有下環形凸緣14 ;與第三級分子泵5中圓環形裝配槽11過盈配合的圓環形第二級 分子泵4下端面形成抽氣槽9,第二級分子泵4的邊緣形成與螺釘孔12相對應的多個凹槽 13。
[0032] 所述螺旋抽氣槽7截面呈U型，且呈右旋狀態。
[0033] 所述上環形凸緣8與端面法蘭6下部形成的環形凹槽相配合。
[0034] 所述第二級分子泵4下端面形成的多個抽氣槽9與第三級分子泵5下端面形成的 多個抽氣槽9相對齊。
[0035] 所述多個抽氣槽9按環形均布，其槽型為變寬度的矩形。
[0036] 所述轉子1以逆時針方向轉動，且在軸向上不發生位移。
[0037] 本實用新型的安裝方法：
[0038] 在裝配過程中，需先將第一級分子泵3與第三級分子泵5過盈配合。之后，將第二 級分子泵4與第三級分子泵5的槽線相對齊后再進行壓裝，即過盈配合，以保證抽氣槽9的 連續性，最后再通過螺釘15將第三級分子泵5與端面法蘭6相連接。
[0039] 再將轉子1裝入外殼2中，然后將已裝有第一級分子泵3、第二級分子泵4、第三級 分子泵5的端面法蘭6安裝在外殼2上。
[0040] 使用時，需首先借助外裝的真空泵系統對裝置內進行抽空，當達到l〇Pa以下狀態 時，方可以允許轉子開始旋轉直至達到額定轉速。
【權利要求】
1. 一種嵌入裝置內部的牽引式分子泵，包括內部安裝有圓柱型轉子（1)的外殼（2)，其 特征在于：還包括與轉子（1)同軸的中空的圓筒狀第一級分子泵（3)，第一級分子泵（3)處 于轉子（1)側立面與外殼（2)內壁之間，第一級分子泵（3)內壁形成螺旋抽氣槽（7);與第 一級分子泵（3)過盈連接的第三級分子泵（5)上端面形成上環形凸緣（8)，下端面形成多個 抽氣槽（9)，中間形成中心通孔（10)，中心通孔（10)的內壁形成螺旋抽氣槽（7)，第三級分 子泵（5)的下部形成圓環形裝配槽（11)，裝配槽（11)上方均布有用于將第三級分子泵（5) 與端面法蘭（6)連接的多個螺釘孔（12)，第三級分子泵（5)外壁形成有下環形凸緣（14);與 第三級分子泵（5)中裝配槽（11)過盈配合的圓環形第二級分子泵（4)下端面形成多個抽氣 槽（9)，第二級分子泵（4)的邊緣形成與螺釘孔（12)相對應的多個凹槽（13)。
2. 根據權利要求1所述的一種嵌入裝置內部的牽引式分子泵，其特征在于：所述螺旋 抽氣槽（7)截面呈U型，且呈右旋狀態。
3. 根據權利要求1所述的一種嵌入裝置內部的牽引式分子泵，其特征在于：所述上環 形凸緣（8)與端面法蘭（6)下部形成的環形凹槽相配合。
4. 根據權利要求1所述的一種嵌入裝置內部的牽引式分子泵，其特征在于：所述第二 級分子泵（4 )下端面形成的抽氣槽（9 )與第三級分子泵（5 )下端面形成抽氣槽（9 )相對齊。
5. 根據權利要求1所述的一種嵌入裝置內部的牽引式分子泵，其特征在于：所述多個 抽氣槽（9)按環形均布，其槽型為變寬度的矩形。
6. 根據權利要求1所述的一種嵌入裝置內部的牽引式分子泵，其特征在于：所述轉子 (1)以逆時針方向轉動。
【文檔編號】F04D29/64GK203906329SQ201420295833
【公開日】2014年10月29日 申請日期:2014年6月5日 優先權日:2014年6月5日
【發明者】劉巍, 郭子學, 韓莉果, 龐志瑩 申請人:核工業理化工程研究院