真空泵的制作方法
【專利摘要】一種真空泵，具有工作空間、軸承空間、設置在所述工作空間和所述軸承空間之間的分隔壁和至少一個轉子軸，所述轉子軸延伸通過所述分隔壁，并與所述分隔壁形成間隙，所述真空泵具有在所述工作空間和所述軸承空間之間阻擋的阻擋裝置，所述阻擋裝置由塞班泵級形成，所述塞班泵級用于提供穿過所述工作空間和所述軸承空間之間的所述間隙的泵動。
【專利說明】真空泵
[0001]本發明涉及真空泵，特別是渦輪分子泵或者側槽泵。該真空泵具有工作空間、軸承空間、設置在工作空間和軸承空間之間的分隔壁以及延伸通過該分隔壁的轉子軸。
[0002]真空泵在不同的技術工藝中使用，用以給各個工藝提供所需的真空。真空泵通常包括工作空間、軸承空間、設置在工作空間和軸承空間之間的分隔壁以及轉子軸。真空泵的泵結構設置在工作空間內，該泵結構將工作空間內的工藝氣體從真空泵的入口傳輸到出口從而抽取該工藝氣體。用于支撐轉子軸的軸承，以及非必要地，例如用于轉子軸的驅動器設置在軸承空間。轉子軸延伸通過分隔壁并形成間隙。在這方面，位于轉子側的，承載部分泵結構的一段轉子軸延伸到工作空間。轉子軸的另一段，例如連接到軸承的轉子軸的一段延伸到軸承空間。
[0003]已知的真空泵的一個問題是存在腐蝕性氣體和其它的有害氣體。這些氣體包含在輸送的工藝氣體中，穿過轉子軸和分隔壁之間形成的間隙，并且從工作空間進入軸承空間。這些氣體腐蝕軸承、操作介質、以及軸承空間內的其它組件，這將導致泵的損壞和過早的失效。
[0004]為了阻擋開工作空間與軸承空間，即阻止在工作空間和軸承空間之間的不需要的氣體的交換，在轉子軸和分隔壁之間可以設有迷宮式(labyrinth)密封件。該迷宮式密封件可以包括轉子盤的多個軸向凹口，這些凹口在徑向方向前后相接，這些凹口與周圍的分隔壁的對應的凸起相嚙合，從而在轉子軸和分隔壁之間形成長而窄的間隙，起密封作用。原則上，迷宮式密封件還可包括多個轉子軸的徑向凹口，這些徑向凹口在軸向方向前后相接，并與分隔壁形成長而窄的密封間隙。
[0005]具有這種迷宮式密封件的真空泵的缺點是，對于高密封效果，需要非常窄的間隙，由于真空泵運行期間的熱膨脹以及由于在高轉速時發生的基于離心力的膨脹，形成該窄間隙是非常困難的。另外，提供具有該迷宮式密封件的真空泵需要額外的制造工作。轉子盤中的凹口可進一步導致在泵運行期間的轉子中出現不利的機械應變，這將影響真空泵的使用壽命和操作安全。由于在該窄間隙中的氣體摩擦，迷宮式密封件將額外地產生軸向結構高度和真空泵的功率需求的大幅增加。
[0006]因此，本發明的目的在于提供一種克服了上述缺點的真空泵。即在該真空泵中，能夠避免工作空間和軸承空間之間的破壞性的氣體交換，同時真空泵的制造需要很小的工作量，真空泵能夠在小的結構空間內實現，并且需要的功率也很小，其使用壽命也很長。
[0007]通過具有權利要求1中的特征的真空泵來滿足上述目標。
[0008]該真空泵，特別為渦輪分子泵或者側槽泵，包括工作空間、軸承空間、設置在工作空間和軸承空間之間的分隔壁以及至少一個轉子軸，該轉子軸延伸通過分隔壁，并與分隔壁形成間隙。該真空泵還包括用于在工作空間和軸承空間之間阻擋的阻擋裝置。該阻擋裝置由塞班泵級(Siegbahn pump stage)形成,該塞班泵級用于提供穿過工作空間和軸承空間之間的間隙的泵動。
[0009]人們已經認識到，通過塞班泵級可實現工作空間和泵空間之間的有效的阻擋，而不需要制造上的工作(effort)，真空泵的軸向結構高度或需要的功率將增加或者真空泵的穩定性以及使用壽命將減少。
[0010]因為通過間隙且指向塞班泵級的抽取方向的氣流被塞班泵級的泵動有效地阻止，塞班泵級提供工作空間和軸承空間之間的有效的阻擋。在這方面，可以非必要地省去阻隔氣體。然而，使用阻隔氣體原則上也是可能的。塞班泵級的運行不會導致真空泵需要的功率的大幅的上升。
[0011]可以通過簡單的裝置提供塞班泵級。例如，塞班泵級可以包括朝向徑向的盤形定子部件，以及朝向徑向的盤形轉子部件，該定子部件和轉子部件形成相對設置的起泵作用的表面，起泵作用的一個表面是光滑的或者是平面的，另一個表面是帶紋路的。可以簡單地制造該定子部件和轉子部件，能夠避免轉子盤的復雜加工，以及能夠避免相對設置的定子為形成多個軸向凹口而進行的復雜加工，并且能夠避免弱化與之相關的轉子盤。
[0012]由于塞班泵級的徑向對準，軸向結構高度至多輕微地增加。塞班泵級可具有軸向密封間隙，盡管有真空泵的熱膨脹，通過較少的工作就能夠達到密封間隙較小的間隙寬度。
[0013]本發明有利的實施例在附屬權利要求、說明書和附圖進行描述。
[0014]塞班泵級優選地用于通過間隙提供從軸承空間到工作空間的泵動。軸承空間從而相對于工作空間被阻擋，因此，沒有有害的工藝氣體能夠從工作空間進入軸承空間。
[0015]塞班泵級優選地包括定子部件和轉子部件。定子部件和轉子部件優選地每個形成相對設置的表面中的一個，這些表面起塞班泵級的泵的作用。定子部件優選地由真空泵的靜態(static)部件形成和承載，例如靜態部件為泵殼或者分隔壁。轉子部件優選地由轉子軸承載，并且特別地，可轉動地固定連接于轉子軸。
[0016]起塞班泵級的泵作用的至少一個表面優選地由帶紋路的表面形成，和/或起泵作用的至少一個表面由平面形成。在一個實施例中，起泵作用的一個表面由帶紋路的表面形成，起泵作用的另一個表面由平面形成。
[0017]定子部件優選地具有起泵作用的帶紋路結構的表面。相反，轉子部件具有起泵作用的平面。在這種情況中，通過較少的工作就可以制造轉子部件，同時可以避免由于紋路而引起的對轉子部件的不利的弱化。在這方面，轉子部件能夠很容易地承受在真空泵運行時產生的離心力應變，而不會產生過多的應變，從而不會降低真空泵的運行安全。進一步地，由于起轉子部件的泵作用的表面的平面或者光滑設計，而由轉子部件引起的轉子不平衡，在很大的程度上可以得到避免。
[0018]轉子部件優選地同時形成起塞班泵級的泵作用的表面和用于傳輸工藝氣體的泵級的轉子部件。轉子部件優選地由泵級的轉動部件構成，該轉動部件起泵的作用，用于抽取工藝氣體，轉子部件包括起泵作用的用于抽取氣體的表面，或者轉子部件由用于抽取工藝氣體的泵級的轉子輪轂組成。例如，轉子部件可以由渦輪分子泵級的轉子盤組成，或者由霍爾維克泵級或跨線程泵級轉子輪轂組成，其中，例如霍爾維克泵級或跨線程泵級可承載霍爾維克氣缸(Holweck cylinder)。
[0019]起塞班泵級的泵作用的表面可限制至少塞班泵級的傳輸通道，以及密封該傳輸通道的密封間隙。在真空泵的運行中，氣體被驅動通過傳輸通道，密封間隙非常窄，使得經過傳輸通道傳輸的氣體中的非需要的、指向泵的抽取方向的氣體回流能夠被避免。
[0020]起真空泵的泵作用的帶紋路的表面優選地包括至少一個形成傳輸通道的凹陷，以及至少一個凸出(elevated)部分,朝向相對設置的起泵作用的表面的凸出部分的表面區域能夠與相對設置的起泵作用的表面一起限制該密封間隙。
[0021]傳輸通道可以為螺旋形和/或能夠大致地在徑向平面內延伸。傳輸通道優選地連接塞班泵級的入口和出口。入口或者出口中的一個設置在塞班泵級的徑向內側，入口或者出口中的另一個可以設置在塞班泵級的徑向外側。
[0022]可以通過起塞班泵級的泵作用的表面之間的軸向間隙形成密封間隙。塞班泵級原則上不需要任何徑向密封間隙也可以運行。因為真空泵軸向方向的熱膨脹相比徑向方向的熱膨脹小，在這方面，能夠可靠地保證小的間隙寬度和相應的好的阻隔效應。
[0023]限制密封間隙的起泵作用的至少一個表面的區域是或者能夠優選地至少部分是通過材料去除工藝制成。由于材料去除工藝，能夠高可靠地和通過較小的工作量來保證塞班泵級密封間隙預期的小間隙寬度和相應的高阻隔效應。材料去除工藝可特別地包括例如車削或磨削等切割或者加工工藝。
[0024]例如，可首先提供帶有紋路表面的毛坯用于制造具有起泵作用的帶紋路的表面的部件，優選地為制造定子部件，隨后，通過車削或者磨削毛坯加工限制密封間隙的帶紋路的表面的區域，以使部件達到預期的間隙寬度。
[0025]定子部件和/或轉子部件優選地大致為盤形。在這方面，定子部件和/或轉子部件的圓盤面優選地徑向延伸到轉子軸的旋轉軸。轉子部件優選地為回轉對稱的。因為避免了轉子部件引起的不平衡，因此操作的安全性得到增加。
[0026]定子部件和/或轉子部件可以設為注塑件、鍛造件或者成型件。注塑、鍛造或者成形特別適合制造具有起泵作用的帶紋路的表面的部件，例如，具有起泵作用的帶紋路的表面的定子部件。在注塑、鍛造或者成形期間，可已經形成起泵作用的帶紋路表面的結構。在注塑、鍛造或者成形期間形成的該結構可以是最終的或者是特別地，可以通過上述材料去除工藝再加工。
[0027]在一個實施例中，定子部件和/或轉子部件至少部分地或者全部地包括金屬，例如包括鋁。在另一實施例中，定子部件和/或轉子部件至少部分地或者全部地包括塑料。定子部件和/或轉子部件至少部分或者全部地包括纖維增強塑料，如包括玻璃纖維增強塑料或碳纖維增強塑料。這些材料能夠保證定子部件和轉子部件廉價的制造能力，并且該制造能力具有高效率的塞班泵級所需要的幾何精度。同時，上述的材料能夠承受在真空泵運行期間的機械和熱應變。
[0028]定子部件可以設為分離的部件，并且被真空泵的靜態組件承載。定子部件可被真空泵的泵殼或者分隔壁所承載。定子部件可粘結到真空泵的靜態組件。在本實施例中，可單獨地制造定子部件，因而制造真空泵所需的工作量將減少。
[0029]工作空間和軸承空間優選為直接彼此直接相鄰，并且通過分隔壁直接彼此隔開。旋轉支撐轉子軸的旋轉軸承優選地設置在軸承空間內；例如，旋轉軸承為滾動軸承，優選為潤滑的滾動軸承。另外，驅動器可以設置在軸承空間內，用于轉動驅動轉子軸。
[0030]軸承空間內的旋轉軸承優選為設置在阻擋裝置的附近。在真空泵的運行期間，機械和熱負荷對塞班泵級區間內的旋轉軸的定位精度的影響因此被限制。因此，能夠實現具有特別小的間隙寬度的密封間隙的塞班泵級。
[0031]真空泵優選為快速旋轉真空泵，例如為渦輪分子泵或者側槽泵。真空泵的泵結構可設置在真空泵的工作空間內，將被真空泵抽取的工藝氣體可通過該泵結構從真空泵的泵入口被傳輸到真空泵的泵出口。該泵結構的旋轉部分優選為被轉子軸承載。
[0032]渦輪分子泵的泵結構優選地包括一個或者多個定子盤，以及包括轉子盤，轉子盤設置在定子盤之間，定子盤和轉子盤共同實現渦輪分子泵的原理。對于側槽泵，泵結構可包括位于轉子側的至少一圈葉片，葉片分布在定子側的側槽內，從轉動方向來看，側槽相對于葉片的輪廓形狀是被加寬了，從而實現側槽泵的原理。
[0033]可通過塞班泵級從軸承空間傳輸到工作空間的阻隔氣體，能被供應到軸承空間，特別是通過以導氣的方式連接軸承空間到泵外部的阻隔氣體入口來供應。從而，塞班泵級的阻隔效應因此能夠得到優化。
[0034]本發明的另一主題是制造真空泵的方法，特別是制造渦輪分子泵或者是側槽泵的方法，在該方法中提供了工作空間、軸承空間、設置在工作空間和軸承空間之間的分隔壁，以及至少一個延伸通過分隔壁的轉子軸，轉子軸與分隔壁形成間隙。進一步的，提供阻隔裝置用于在工作空間和軸承空間之間阻擋。在這方面，塞班泵級被用來作為阻擋裝置以提供通過工作空間和軸承空間之間的間隙的泵動。上述的方法適合制造根據本發明的說明書描述的真空泵。本發明的說明書中描述的關于真空泵和其制造的有利的實施例和優點代表了上述方法的有利的實施例和相應的優點。
[0035]根據有利的實施例，定子部件和轉子部件中的每一個都具有起泵作用的一個平面。起泵作用的表面優選地限制塞班泵級的至少一個通道以及密封傳輸通道的密封間隙。根據有利的實施例限制密封間隙的起泵作用的至少一個表面的區域至少部分地通過材料去除加工工藝制造，從而可以使得密封間隙特別精確，能夠保證密封間隙非常小的間隙寬度，進而保證塞班泵級的高效率。
[0036]在一個實施例中，塞班泵級的定子部件為分離的部件，并且連接于真空泵的靜態組件。例如，定子部件能夠連接到真空泵的泵殼或者分隔壁上。上述連接可以包括利用靜態組件來粘結定子部件。
[0037]以下通過參照有利的實施例和附圖通過示例的方式來描述本發明。
[0038]圖1至圖4分別為本發明實施例中的真空泵的剖視圖。
[0039]圖1所示的真空泵為渦輪分子泵，并且包括工作空間12和軸承空間14，工作空間12和軸承空間14被真空泵的泵殼48圍繞，分隔壁16將工作空間12和軸承空間14彼此分隔開，轉子軸18延伸通過分隔壁16進入工作空間12以及軸承空間14，并形成徑向間隙20。
[0040]渦輪分子泵結構容納在工作空間12內。該泵結構包括多個固定到轉子軸18的渦輪分子轉子盤42，并且包括設置在轉子盤42之間的并且固定在外殼48內的渦輪分子定子盤44。泵結構提供工藝氣體的泵動，將工藝氣體施加在被殼體48的入口法蘭58圍繞的泵入口 38。上述的泵動將工藝氣體從泵入口 38傳輸到泵出口 40。
[0041]支撐繞旋轉軸19轉動的轉子軸18的滾動軸承46設置在軸承空間14內。原則上，為了轉動支撐轉子軸18，軸承空間14內可設有磁力軸承或者磁力軸承座。進一步地，軸承空間14內可以設有轉子軸18的驅動器(圖1未示)。
[0042]真空泵包括具有被分隔壁16支撐的定子部件24的塞班泵級22以及被轉子軸18支撐的轉子部件26。定子部件24和轉子部件26中的每個大致設置為盤形，并且徑向朝向轉子軸18的旋轉軸。
[0043]定子部件24和轉子部件26中的每個具有相對設置的起泵作用的表面28，30中的一個，起泵作用的表面28,30形成塞班泵級22的起泵作用的結構。然而，轉子部件起泵作用的表面30是由平面形成的，該平面垂直轉子軸18的旋轉軸19，定子部件24起泵作用的表面28是帶紋路的。
[0044]定子部件24起泵作用的表面28包括凹陷以形成塞班泵級22的傳輸通道34。傳輸通道34在徑向方向從內部到外部螺旋延伸，凸出部分36圍繞凹陷或者傳輸通道34。朝向轉子部件26起泵作用的表面30的凸出部分36的表面區間與起泵作用的表面30形成密封間隙32,該密封間隙密封傳輸通道34。
[0045]在真空泵的運行中，傳輸通道34中的氣體被起泵作用的結構驅動在轉子軸18的轉動方向上運動，由此氣體沿傳輸通道34的螺線形狀向外傳輸，沿徑向方向從朝向間隙20的塞班泵級22的入口 32到朝向工作空間12的塞班泵級22的出口 52，從而提供從軸承空間14到工作空間12的經過間隙20的泵動，泵動如圖1中箭頭54所示，該泵動提供從工作空間12到軸承空間14的阻擋。
[0046]除了下面描述的具體特征外，圖2至圖4所示的真空泵基本上對應于圖1所示的真空泵。在圖1至圖4中,相同的標號表示相同或者相應的組件。
[0047]在圖2所示的真空泵中，塞班泵級22的轉子部件26和起泵作用的表面28是由傳輸方向上最后的轉子盤42形成的。轉子盤42上形成起泵作用的表面28的部分支撐轉子盤42的葉片，葉片在徑向方向從該部分向外延伸。工藝氣體從最后一個轉子盤42沿轉動軸方向橫向穿過軸承空間14到達泵出口 40。
[0048]如圖2所示，驅動器60設置在軸承空間14內。
[0049]圖3所示的真空泵大致地對應于圖2所示的真空泵，在圖2所示的泵的氣流的方向上的最后的渦輪分子泵級被具有霍爾維克轉子62和霍爾維克定子64的霍爾維克泵級代替了。該霍爾維克泵級將渦輪分子泵級傳輸的氣體進一步傳輸到泵出口 40。在本實施例中，塞班泵級22的轉子部件26和轉子部件26起泵作用的的表面28是由連接到轉子軸18的霍爾維克泵級的轉子輪轂或者通過其平的表面形成的。該平的表面為盤形，并且其徑向朝向轉動軸19。
[0050]霍爾維克轉子62包括被轉子輪轂(hub)承載的霍爾維克氣缸(cylinder) 66，在本實施例中，霍爾維克氣缸66具有光滑的徑向外表面,該光滑的徑向外表面形成霍爾維克泵級起泵作用的表面，并且與霍爾維克定子64上起泵作用的表面相對設置，在形成窄的徑向霍爾維克間隙68時，通過套筒狀的霍爾維克定子64的徑向內表面形成起泵作用的表面。霍爾維克定子64起泵作用的表面是帶紋路的，并且在軸向方向形成繞旋轉軸19螺旋延伸的一個或者多個傳輸通道。在真空泵的運行中，渦輪分子泵級傳輸到霍爾維克泵級的入口的工藝氣體，于霍爾維克泵級的傳輸通道內傳輸到泵出口 40。
[0051]除了下面描述的具體特征外，圖4所示的真空泵大致對應于圖3所示的真空泵。
[0052]圖4所示的真空泵包括大量的渦輪分子泵級，每個渦輪分子泵級具有轉子盤42和定子盤44。定子盤44被隔環70夾持住且以預設的間隔相互隔開。真空泵進一步包括三個霍爾維克泵級，該三個霍爾維克泵級在徑向方向上前后相接并嵌套在一起，并且在流動的方向上相互串聯地連接渦輪分子泵級，霍爾維克泵級中的每個按照如圖2所示的霍爾維克泵級所描述的方式形成。
[0053]霍爾維克泵級包括霍爾維克轉子62，霍爾維克轉子62具有外霍爾維克氣缸72和內霍爾維克氣缸74，外霍爾維克氣缸72和內霍爾維克氣缸74中的每個被普通的轉子輪轂承載，轉子輪轂同時形成轉子部件26和塞班泵級22上起泵作用的表面28。霍爾維克泵級進一步包括套筒狀的外霍爾維克定子76和套筒狀的內霍爾維克定子78。外霍爾維克定子76的徑向內表面與外霍爾維克氣缸72的徑向外表面形成具有霍爾維克間隙80的第一霍爾維克泵級。外霍爾維克氣缸72的徑向內表面與內霍爾維克定子78的徑向外表面形成具有霍爾維克間隙82的第二霍爾維克泵級。內霍爾維克定子78的徑向內表面與內霍爾維克泵級74的徑向外表面形成具有霍爾維克間隙84的第三霍爾維克泵級。
[0054]圖4所示的真空泵包括驅動器60，驅動器60為電動馬達，并且在本實施例中為無刷直流馬達。電子控制單元86用于控制驅動器60和提供電流到驅動器60。
[0055]在軸承空間側的轉子軸18的末端設有錐形飛濺螺母58，錐形飛濺螺母58具有朝滾動軸承46減少的外橫截面。飛濺螺母88與操作介質存儲(store)的至少一個滑動片(wiper)相滑動接觸，操作介質存儲中包括多個相互堆疊的吸收盤90，吸收盤90被滾動軸承46的操作介質浸透，例如，通過滾動軸承46的潤滑劑來浸透。在真空泵的運行中，操作介質被從操作介質存儲中通過滑動片經過毛細作用傳輸到轉動的飛濺螺母88，并且由于在飛濺螺母88外直徑沿徑向方向上的離心力的作用，操作介質被傳輸到滾動軸承46以使操作介質滿足預期的功能，離心力在螺母88外直徑徑向方向上隨著徑向尺寸增加。滾動軸承46和操作介質存儲被桶形嵌件(tub-shaped insert) 92和真空泵的蓋元件94包圍。
[0056]轉子軸18被磁力軸承旋轉支撐，在本實施例中，在高真空側，即在泵入口區間38，磁力軸承為永磁磁力軸承。磁力軸承包括位于轉子側的無蓋軸承96和位于定子側的無蓋軸承98，每個無蓋軸承包括多個永磁環100和102的環堆(stack)，多個永磁環100，102在軸向相互疊加。永磁環100，102彼此相對設置，并且形成窄的徑向軸承間隙，轉子側的磁環100由徑向向外設置,定子側的磁環102由徑向向內設置。軸承間隙103中的磁場于磁環100和102之間產生磁斥力，該斥力徑向支撐轉子軸18。
[0057]位于轉子側的磁環100被轉子軸18的承載段104承載，承載段徑向圍繞在磁環100的外側。定子側的磁環102被定子側的承載段106承載，承載段106延伸通過磁環102并且在殼體48的徑向支桿108處懸掛。轉子側的磁環100與旋轉軸19平行固定，在一個方向上通過與承載段104相連的蓋元件110固定，在另一個方向上，通過承載段104的肩部固定。在定子側的磁環102與旋轉軸平行固定，在一個方向上通過與承載段106相連的卡環112固定，并通過設置在卡環112和磁環102之間的補償元件114固定，在另一個方向上，通過與承載段106相連的支撐環116固定。
[0058]應急軸承或者安全軸承118設置在磁力軸承內，在真空泵的正常運行中，應急軸承或者安全軸承118空轉并且沒有接觸，在轉子相對于定子的徑向過度偏轉的時候，應急軸承或者安全軸承118進行配合形成與轉子軸18的徑向相接合，從而防止轉子側的結構與定子側的結構相碰撞。安全軸承118為非潤滑滾動軸承，并且與轉子和/或定子形成徑向間隙，該間隙的效果是:安全軸承118在泵的正常運行期間沒有配合，安全軸承118在徑向偏轉處進入配合，該徑向偏轉尺寸是足夠大的，使得在真空泵的正常運行期間，安全軸承沒有配合。并且同時其是足夠小的，從而在任何環境下，能夠避免轉子側的結構與定子側的結構相碰撞。
[0059]圖4所示的真空泵包括阻隔氣入口 122，阻隔氣入口 122通過閉合元件120閉合，閉合元件120連接軸承空間14到泵外部，阻隔氣通過閉合元件120能夠供應到軸承空間14。在泵的運行期間，供應到軸承空間14的阻隔氣體是通過塞班泵級22傳輸到工作空間12，由此，軸承空間14相對于工作空間12被阻擋。
[0060]標號表
[0061]12 工作空間
[0062]14 軸承空間
[0063]16 分隔壁
[0064]18 轉子軸
[0065]19 旋轉軸
[0066]20間隙
[0067]22 塞班泵級
[0068]24 定子部件
[0069]26 轉子部件
[0070]28, 30起泵作用的表面
[0071]32 密封間隙
[0072]34 傳輸通道
[0073]36凸出部分
[0074]38 泵入口
[0075]40 泵出口
[0076]42 轉子盤
[0077]44 定子盤
[0078]46 滾動軸承
[0079]48 殼體
[0080]50 入口
[0081]52出口
[0082]54, 56 箭頭
[0083]58 入口法蘭
[0084]60驅動器
[0085]62霍爾維克轉子
[0086]64霍爾維克定子
[0087]66霍爾維克氣缸
[0088]68霍爾維克間隙
[0089]70間隔環
[0090]72，74 霍爾維克氣缸
[0091]76，78 霍爾維克定子
[0092]80，82，84霍爾維克間隙
[0093]86電子控制單元
[0094]88飛濺螺母
[0095]90吸收盤
[0096]92桶形嵌入件
[0097]94蓋元件
[0098]96，98磁無蓋軸承
[0099]100, 102磁環
[0100]103軸承間隙
[0101]104, 106承載段
[0102]108支桿
[0103]110蓋元件
[0104]112卡環
[0105]114補償元件
[0106]116支撐環
[0107]118安全軸承
[0108]120閉合元件
[0109]122阻隔氣入口
【權利要求】
1.一種真空泵，特別是渦輪分子泵或者側槽泵，具有工作空間(12)、軸承空間(14)、設置在所述工作空間(12)和所述軸承空間(14)之間的分隔壁(16)和至少一個轉子軸(18)，所述轉子軸(18)延伸通過所述分隔壁，并與所述分隔壁(16)形成間隙(20)，所述真空泵具有在所述工作空間(12)和所述軸承空間(14)之間阻擋的阻擋裝置，其特征在于，所述阻擋裝置由塞班泵級(22)形成，所述塞班泵級(22)用于提供在所述工作空間(12)和所述軸承空間(14)之間的并且穿過所述間隙(20)的泵動。
2.如權利要求1所述的真空泵，其特征在于，所述塞班泵級(22)用于提供從所述軸承空間(14)通過所述間隙(20)到所述工作空間(12)的泵動。
3.如權利要求1或者2所述的真空泵，其特征在于，所述塞班泵級(22)包括定子部件(24)和轉子部件(26)，所述定子部件(24)和所述轉子部件(26)中的每個形成兩個相對設置的表面(28，30)中的一個，所述兩個表面(28，30)起塞班泵級(22)的泵的作用。
4.如權利要求3所述的真空泵，其特征在于，起泵作用的一個表面(28)由帶紋路的表面形成，起泵作用的另一表面(30)由平面形成。
5.如權利要求4所述的真空泵，其特征在于，所述定子部件(24)具有起泵作用的帶紋路的表面(28)。
6.如權利要求3至5中的任一項所述的真空泵，其特征在于，起泵作用的所述兩個表面(28，30)之間形成有所述塞班泵級(22)的至少一個傳輸通道和用于密封所述傳輸通道(34)的密封間隙(32)。
7.如權利要求6所述的真空泵，其特征在于，限制所述密封間隙(32)的，并且起泵作用的至少一個表面(28，30)的區域是或者能夠至少部分地通過材料去除加工方法制造。
8.如權利要求3至7中的任一項所述的真空泵，其特征在于，所述定子部件(24)和/或所述轉子部件(26)被設置為大致為圓盤形。
9.如權利要求3至8中的任一項所述的真空泵，其特征在于，所述定子部件(24)和/或所述轉子部件(26)被設置為注射成型件、鍛造件或者成形件。
10.如權利要求3至9中的任一項所述的真空泵，其特征在于，所述定子部件(24)和/或所述轉子部件(26)至少部分或者全部地包括金屬，特別包括鋁；和/或所述定子部件(24)和/或所述轉子部件(26)至少部分或者全部地包括塑料。
11.如權利要求3至10中的任一項所述的真空泵，其特征在于，所述定子部件(24)設置為分離的部件，所述分離的部件被所述真空泵的靜態組件(16，48)承載。
12.一種制造真空泵的方法，特別是渦輪分子泵或者側槽泵的制造方法，上述方法提供工作空間(12)、軸承空間(14)、設置在所述工作空間(12)和所述軸承空間(14)之間的分隔壁(16)，以及延伸通過所述分隔壁(16)的至少一個轉子軸(18)，所述轉子軸(18)與所述分隔壁(16)形成間隙(20)，還提供用于在所述工作空間(12)和所述軸承空間(14)之間阻擋的阻擋裝置，提供塞班泵級(22)作為阻擋裝置，所述塞班泵級(22)用于提供在所述工作空間(12)和所述軸承空間(14)之間的并且穿過所述間隙(20)的泵動。
13.如權利要求12所述的方法，其特征在于，制造定子部件(24)和轉子部件(26)，所述定子部件(24)和所述轉子部件(26)中的每個具有起泵作用的表面(28，30)，所述起泵作用的表面(28，30)限制所述塞班泵級(22)的至少一個傳輸通道(34)以及密封所述傳輸通道(34)的密封間隙(32)，起泵作用的至少一個表面(28，30)限制所述密封間隙(32)的區域的至少一部分是通過材料去除加工方法制造。
14.如權利要求12或者13所述的方法，其特征在于，所述塞班泵級(22)的定子部件(24)為分離的部件，并且連接于真空泵的靜態組件(16，48)。
【文檔編號】F04D19/04GK104295509SQ201410334674
【公開日】2015年1月21日 申請日期:2014年7月14日 優先權日:2013年7月15日
【發明者】揚·霍夫曼, 米爾科·馬科塔 申請人:普發真空有限公司