專利名稱：一種真空擴散泵的制作方法
技術領域：
本實用新型涉及真空泵領域，特別是一種真空擴散泵。
背景技術：
擴散泵是目前獲得高真空的最廣泛、最主要的工具之一。擴散泵是一種次級泵，它需要機械泵作為前級泵。擴散泵中的油在真空中加熱到沸騰溫度(約為200度)產生大量的油蒸氣，油蒸氣經由各級噴嘴定向高速噴出。由于擴散泵進氣口附近被抽氣體的分壓強高于蒸氣流中該氣體的分壓強。這樣，被抽氣體分子沿著蒸氣方向高速運動，氣體分子碰到泵體內壁又反射回來，再受到蒸氣流碰撞而重新沿蒸氣流方向流向泵壁。經過幾次碰撞后，氣體分子被壓縮到低真空端，再由下幾級噴嘴噴出的蒸氣進氣多級壓縮，最后由前級泵抽走，而油蒸氣在冷卻的泵壁上被冷凝后又返回到下層重新被加熱，如此循環工作達到抽氣目的。存在的問題是，1、油的蒸發與空氣接觸的面積有關，而現有的結構限制了油與空氣接觸的面積，影響蒸發效率。2、雖然存在冷卻夾套，但是仍有部分油蒸汽會從入口返流進入到被抽容器，影響了擴散泵的性能。3、擴散泵停止工作時，泵油易劣化。4、加熱元件故障易導致電爐斷電停止工作，由于電爐與擴散泵底部結合牢固，加熱元件的爐絲出故障不易察覺，電爐故障后加熱功能無效導致真空度的變化，從而影響正常生產。發明內容針對現有技術的 不足，本實用新型的目的是提供一種真空擴散泵，可以克服現有技術中油的蒸發效率低的問題，進一步的，可以避免油蒸汽的返流，避免泵油劣化和避免電爐內的加熱元件故障而導致真空度的變化。本實用新型的目的是這樣實現的:一種真空擴散泵，包括泵體，泵體上設有入口和出口，泵體外壁設有冷卻夾套，泵體的真空腔內設有多級噴嘴，蒸發油腔與多級噴嘴分別連接，蒸發油腔下部設有加熱元件，所述的蒸發油腔內設有導油盤；所述的導油盤呈倒扣的碗狀，導油盤外緣最寬處覆蓋回油孔的水平面投影位置，最窄處覆蓋所有蒸發孔的水平面投影位置。所述的蒸發油腔或加熱元件附近設有溫度傳感器。靠近泵體的入口處還設有冷凝柵。泵體的出口處設有單向蝶閥。所述的多級噴嘴為三個。所述的多級噴嘴同心布置，從內層到外層高度逐步降低。本實用新型提供的一種真空擴散泵，通過設置的導油盤，提高了油的蒸發效率。通過設置的冷凝柵，確保油蒸汽在此處被冷凝，不會產生返流。設置的溫度傳感器，可以方便地觀察擴散泵加熱元件的運作情況，及時對設備進行修理維護，從而提高生產效率。設置的單向蝶閥可以確保本實用新型在不工作時，仍保持真空狀態，以免泵油劣化。
以下結合附圖和實施例對本實用新型作進一步說明。[0015]
圖1是本實用新型的整體結構示意圖。圖中:入口 I，冷卻夾套2，一級噴嘴3，真空腔4，二級噴嘴5，三級噴嘴6，出口 7，導油盤8，蒸發油腔9，加熱元件10，溫度傳感器11，泵體12，冷凝柵13，單向蝶閥14，回油孔15,蒸發孔16。
具體實施方式
如
圖1中，一種真空擴散泵，包括泵體12，泵體12上設有入口 I和出口 7，泵體12外壁設有冷卻夾套2，泵體12的真空腔4內設有多級噴嘴，蒸發油腔9與多級噴嘴分別連接，蒸發油腔9下部設有加熱元件10，所述的蒸發油腔9內設有導油盤8 ;所述的導油盤8呈倒扣的碗狀，導油盤8外緣最寬處覆蓋回油孔15的水平面投影位置，最窄處覆蓋所有蒸發孔16的水平面投影位置。通過設置的導油盤，擴大了泵油與空氣的接觸面，提高了油的蒸發效率，且回油順暢，相比未改造前，效率提升15%。所述的蒸發油腔9或加熱元件10附近設有溫度傳感器。由此結構，可以方便地觀察擴散泵加熱元件的運作情況，及時對設備進行修理維護，從而提高生產效率。靠近泵體12的入口 I處還設有冷凝柵13。由此結構，避免了油蒸汽的返流，提高了效率。泵體12的出口 7處設有單向蝶閥14。由此結構，當本實用新型不工作時，高精度的單向蝶閥14即關閉，真空腔4內仍保持真空狀態，以免泵油劣化。優化的方案中，所述的多級噴嘴為三個。所述的多級噴嘴同心布置，從內層到外層高度逐步降低。使用時，泵油被加熱元件10加熱形成油蒸汽，從蒸發孔16進入到各級噴嘴，當油蒸汽從一級噴嘴3以超音速噴出后，其速度逐漸增大，壓力及密度逐漸降低，入口 I的氣體因密度差要向蒸汽射流中·擴散并被射流攜帶到冷卻夾套2的泵體12內壁處，在該處，工作蒸汽大部分被冷凝成油滴沿泵體12內壁流回到油鍋中循環使用，而被抽氣體在泵體12內壁處堆積、壓縮，最后被二級噴嘴5和三級噴嘴6的下級射流攜帶走，以達到逐級壓縮，最后被前級泵從出口 7抽走。少量的返流油蒸汽在冷凝柵13處被冷凝形成油滴回流。當加熱元件異常時，控制系統或人工即可查看到溫度傳感器11返回的異常信號，從而及時處理。當本實用新型停止工作時，在真空腔4的真空作用下，單向蝶閥14迅速關閉，此時再關閉入口I和出口 7處的閥門，即可確保泵體12內的真空度，從而確保泵油的劣化。
權利要求1.一種真空擴散泵，包括泵體(12)，泵體(12)上設有入口( I)和出口( 7)，泵體(12)外壁設有冷卻夾套(2)，泵體(12)的真空腔(4)內設有多級噴嘴，蒸發油腔(9)與多級噴嘴分別連接，蒸發油腔(9)下部設有加熱元件(10)，其特征是:所述的蒸發油腔(9)內設有導油盤(8);所述的導油盤(8)呈倒扣的碗狀，導油盤(8)外緣最寬處覆蓋回油孔(15)的水平面投影位置，最窄處覆蓋所有蒸發孔(16)的水平面投影位置。
2.根據權利要求1所述的一種真空擴散泵，其特征是:所述的蒸發油腔(9)或加熱元件(10)附近設有溫度傳感器。
3.根據權利要求1所述的一種真空擴散泵，其特征是:靠近泵體(12)的入口(I)處還設有冷凝柵(13)。
4.根據權利要求1所述的一種真空擴散泵，其特征是:泵體(12)的出口(7)處設有單向蝶閥(14)。
5.根據權利要求1所述的一種真空擴散泵，其特征是:所述的多級噴嘴為三個。
6.根據權利要求1所述的一種真空擴散泵，其特征是:所述的多級噴嘴同心布置，從內層到外層高度逐 步降低。
專利摘要一種真空擴散泵，包括泵體，泵體上設有入口和出口，泵體外壁設有冷卻夾套，泵體的真空腔內設有多級噴嘴，蒸發油腔與多級噴嘴分別連接，蒸發油腔下部設有加熱元件，所述的蒸發油腔內設有導油盤；所述的導油盤呈倒扣的碗狀，導油盤外緣最寬處覆蓋回油孔的水平面投影位置，最窄處覆蓋所有蒸發孔的水平面投影位置。所述的蒸發油腔或加熱元件附近設有溫度傳感器。本實用新型通過設置的導油盤，提高了油的蒸發效率。通過設置的冷凝柵，確保油蒸汽在此處被冷凝，不會產生返流。設置的溫度傳感器，可以方便地觀察擴散泵加熱元件的運作情況，及時對設備進行修理維護，從而提高生產效率。
文檔編號F04F9/02GK203114757SQ201320055749
公開日2013年8月7日 申請日期2013年2月1日 優先權日2013年2月1日
發明者謝長明, 高登華, 謝云 申請人:湖北東田光電材料科技有限公司