一種真空低溫泵中的二級冷板的制作方法
【專利摘要】本發明公開了一種真空低溫泵中的二級冷板，它包括筒體和封頭，封頭固定在筒體上，筒體的外壁上分別成型有若干環形凹槽和縱向凹槽，筒體的環形凹槽內焊接有環狀銅管，筒體的縱向凹槽內焊接有縱向銅管，所述的環狀銅管和縱向銅管相連通并焊接在一起。本發明在筒體上成型凹槽作為其加強筋，同時又在凹槽上焊接銅管加固，從而增強了二級冷板的強度，增加了泵體的使用壽命。另外，其所焊接的銅管可以連通氦壓縮機組，從而使二級冷板能夠加快冷卻速度，從而有效的凝結氣體。
【專利說明】一種真空低溫泵中的二級冷板
【技術領域】:
[0001]本發明涉及真空低溫泵的【技術領域】，更具體地說涉及一種真空低溫泵中的結構改進的二級冷板。
【背景技術】:
[0002]低溫泵，又稱冷凝泵，是利用低溫表面冷凝氣體的真空泵。其可以獲得抽氣速率最大、極限壓力最低的清潔真空，廣泛應用于半導體和集成電路的研究和生產，以及分子束研究、真空鍍膜設備、真空表面分析儀器、離子注入機和空間模擬裝置等方面。而作為其冷凝氣體所用的冷板則是其關鍵的部件。現有的低溫泵的二級冷板結構如圖1所示，其由筒體10和封頭20組成，現有的冷板一般均由無氧的紫銅制成，其在體積較小時，筒體10的強度尚可，但制成較大的冷板時，則其筒體10的強度往往不夠，易致使低溫泵喪失功能。
【發明內容】
:
[0003]本發明的目的就是針對現有技術之不足，而提供一種結構改進的真空低溫泵中的二級冷板，其在筒體上增加凹槽成為其加強筋，同時在凹槽上設置銅管增加強度，從而保證了冷板的強度。
[0004]為實現上述目的，本發明的真空低溫泵中的二級冷板包括筒體和封頭，封頭固定在筒體上，筒體的外壁上分別成型有若干環形凹槽和縱向凹槽，筒體的環形凹槽內焊接有環狀銅管，筒體的縱向凹槽內焊接有縱向銅管，所述的環狀銅管和縱向銅管相連通并焊接
在一起。
[0005]作為上述技術方案的優選，所述的筒體上的縱向凹槽的最低端位于筒體最下端的環形凹槽上。
[0006]作為上述技術方案的優選，所述的環狀銅管和縱向銅管通過磷銅釬焊密封焊接在一起。
[0007]作為上述技術方案的優選，所述環形凹槽和縱向凹槽所在處的筒體壁厚等于筒體其他圓柱面處的壁厚。
[0008]本發明的有益效果在于:其在筒體上成型凹槽作為其加強筋，同時又在凹槽上焊接銅管加固，從而增強了二級冷板的強度，增加了泵體的使用壽命。另外，其所焊接的銅管可以連通氦壓縮機組，從而使二級冷板能夠加快冷卻速度，從而有效的凝結氣體。
【專利附圖】
【附圖說明】:
[0009]下面結合附圖對本發明做進一步的說明:
[0010]圖1為現有的二級冷板的結構示意圖；
[0011]圖2為本發明的結構示意圖；
[0012]圖3為本發明的半剖結構示意圖。
[0013]圖中符號說明:[0014]10 —筒體；11 —環形凹槽；12 —縱向凹槽；20 —封頭；31 —環狀銅管；32 —縱向銅管。
【具體實施方式】:
[0015]以下所述僅為體現本發明原理的較佳實施例，并不因此而限定本發明的保護范圍。
[0016]見圖2至圖3所示:本發明的真空低溫泵中的二級冷板包括筒體10和封頭20，封頭20固定在筒體10上，筒體10的外壁上分別成型有若干環形凹槽11和縱向凹槽12，環形凹槽11和縱向凹槽12所在處的筒體10壁厚等于筒體10其他圓柱面處的壁厚。縱向凹槽12的最低端位于筒體10最下端的環形凹槽11上。筒體10的環形凹槽11內焊接有環狀銅管31，筒體10的縱向凹槽12內焊接有縱向銅管32，所述的環狀銅管31和縱向銅管32相連通并通過磷銅釬焊密封焊接在一起。
[0017]本發明的工作原理如下:二級冷板的筒體10卷制之前先通過沖壓成型方式成型環形凹槽11和縱向凹槽12，再進行卷制焊接，并焊接上封頭20。然后再在凹槽內焊接銅管，成型的環形凹槽11和縱向凹槽12可作為加強筋，增加了筒體10的抗彎變形強度，同時子在其凹槽內焊接銅管，銅管又能增加了筒體10的抗彎變形強度并可以將銅管連接氦壓縮機組，加快二級冷板的冷卻速度。
【權利要求】
1.一種真空低溫泵中的二級冷板，它包括筒體(10)和封頭(20)，封頭(20)固定在筒體(10)上，其特征在于:筒體(10)的外壁上分別成型有若干環形凹槽(11)和縱向凹槽(12)，筒體(10)的環形凹槽(11)內焊接有環狀銅管(31)，筒體(10)的縱向凹槽(12)內焊接有縱向銅管(32)，所述的環狀銅管(31)和縱向銅管(32)相連通并焊接在一起。
2.根據權利要求1所述的一種真空低溫泵中的二級冷板，其特征在于:所述的筒體(10)上的縱向凹槽(12)的最低端位于筒體(10)最下端的環形凹槽(11)上。
3.根據權利要求1所述的一種真空低溫泵中的二級冷板，其特征在于:所述的環狀銅管(31)和縱向銅管(32 )通過磷銅釬焊密封焊接在一起。
4.根據權利要求1所述的一種真空低溫泵中的二級冷板，其特征在于:所述環形凹槽(11)和縱向凹槽(12)所在處的筒體(10)壁厚等于筒體(10)其他圓柱面處的壁厚。
【文檔編號】F04B37/08GK103603788SQ201310495458
【公開日】2014年2月26日 申請日期:2013年10月18日 優先權日:2013年10月18日
【發明者】黃文成 申請人:昆山珍實復合材料有限公司