專利名稱：一種抽真空系統(tǒng)裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型涉及一種壓力控制裝置，更具體地說(shuō)，本實(shí)用新型涉及一種磷化銦生長(zhǎng)材料烘烤過(guò)程中的抽真空系統(tǒng)裝置。
背景技術(shù)：
磷化銦材料的一系列優(yōu)越特性使其在光通信、微波、毫米波器件、抗輻射太陽(yáng)能電池等許多高技術(shù)領(lǐng)域有廣泛應(yīng)用，具有不可替代性，其戰(zhàn)略意義不言而喻。為了能夠提高磷化銦材料的質(zhì)量，改善其電學(xué)性質(zhì)，研究和控制磷化銦單晶生長(zhǎng)和熱處理過(guò)程所產(chǎn)生的缺陷是一條重要的途徑。近幾年來(lái)，高溫退火處理方法被用于降低磷化銦單晶中的殘留熱應(yīng)力、改善晶片的電學(xué)均勻性和制備半絕緣磷化銦材料。在通常的磷化銦生長(zhǎng)材料的烘烤過(guò)程中，需要在高真空下對(duì)生產(chǎn)磷化銦的器皿及其生產(chǎn)材料進(jìn)行高溫烘烤，以去除雜質(zhì)，否則會(huì)對(duì)磷化銦生長(zhǎng)材料質(zhì)量產(chǎn)生影響。根據(jù)磷化銦功能需求，需要專門設(shè)計(jì)抽真空系統(tǒng)裝置以滿足所需的真空度及精度要求，以獲得高質(zhì)量的磷化銦生長(zhǎng)材料。
實(shí)用新型內(nèi)容本實(shí)用新型的目的在于提供一種抽真空系統(tǒng)裝置，能夠及時(shí)抽走生產(chǎn)磷化銦的器皿及生長(zhǎng)材料烘烤過(guò)程中釋放出來(lái)的雜質(zhì)，獲得高真空狀態(tài)，保證磷化銦生長(zhǎng)材料質(zhì)量。本實(shí)用新型的目的是通過(guò)以下技術(shù)方案來(lái)實(shí)現(xiàn)的:提供一種抽真空系統(tǒng)裝置，其包括機(jī)械泵、分子泵、接口法蘭、法蘭后閥、保護(hù)閥、分子泵前閥及支管閥。其特征是機(jī)械泵、分子泵及接口法蘭是由塑鋼結(jié)構(gòu)的硬管連接在一起，所述的法蘭后閥、保護(hù)閥、分子泵前閥及支管閥分別位于不同位置的硬管上。本實(shí)用新型的抽真空系統(tǒng)裝置能及時(shí)抽走生產(chǎn)磷化銦的器皿及生長(zhǎng)材料烘烤過(guò)程中釋放出來(lái)的雜質(zhì)，使磷化銦生長(zhǎng)材料質(zhì)量得到保證，而且整個(gè)抽真空系統(tǒng)裝置結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，易于實(shí)現(xiàn)，制作成本低。
圖1是本實(shí)用新型抽真空系統(tǒng)裝置的結(jié)構(gòu)示意圖。圖中:機(jī)械泵1，分子泵2，接口法蘭3，法蘭后閥4，保護(hù)閥5，分子泵前閥6，支管閥具體實(shí)施方式
如圖1所示，本實(shí)用新型抽真空系統(tǒng)裝置包括機(jī)械泵1、分子泵2、接口法蘭3、法蘭后閥4、保護(hù)閥5、分子泵前閥6及支管閥7。其特征是機(jī)械泵1、分子泵2及接口法蘭3是由塑鋼結(jié)構(gòu)的硬管連接在一起，所述的法蘭后閥4、保護(hù)閥5、分子泵前閥6及支管閥7分別位于不同位置的硬管上。所述的法蘭后閥4是在烘烤爐真空度達(dá)到時(shí)，關(guān)閉閥門，起保護(hù)烘烤爐真空度作用。所述的保護(hù)閥5打開(kāi)時(shí)與大氣連接，在烘烤爐真空度達(dá)到時(shí)，起保護(hù)泵的作用。工作原理如下:將烘烤爐與的接口法蘭3連接后，保護(hù)閥5及分子泵前閥6處于關(guān)閉狀態(tài)，法蘭后閥4及支管閥7處于打開(kāi)狀態(tài)，開(kāi)動(dòng)機(jī)械泵I，把較大顆粒的粉塵及雜質(zhì)抽走，防止對(duì)分子泵2的堵塞，然后將分子泵前閥6處于打開(kāi)狀態(tài)，開(kāi)動(dòng)分子泵2后，將支管閥7處于關(guān)閉狀態(tài)。在達(dá)到設(shè)定條件后將法蘭后閥4處于關(guān)閉狀態(tài)，然后將保護(hù)閥5處于打開(kāi)狀態(tài)，與大氣連通，再關(guān)機(jī)械泵1、分子泵2即可。
權(quán)利要求1.一種抽真空系統(tǒng)裝置，其特征在于:所述的抽真空系統(tǒng)裝置包括機(jī)械泵、分子泵、接口法蘭、法蘭后閥、保護(hù)閥、分子泵前閥及支管閥，機(jī)械泵、分子泵及接口法蘭是由塑鋼結(jié)構(gòu)的硬管連接在一起，法蘭后閥、保護(hù)閥、分子泵前閥及支管閥分別位于不同位置的硬管上。
專利摘要本實(shí)用新型涉及一種抽真空系統(tǒng)裝置。所述抽真空系統(tǒng)裝置包括機(jī)械泵1、分子泵2、接口法蘭3、法蘭后閥4、保護(hù)閥5、分子泵前閥6及支管閥7。機(jī)械泵1、分子泵2及接口法蘭3是由塑鋼結(jié)構(gòu)的硬管連接在一起，法蘭后閥4、保護(hù)閥5、分子泵前閥6及支管閥7分別位于不同位置的硬管上。法蘭后閥4起保護(hù)烘烤爐真空度作用。保護(hù)閥5起保護(hù)泵的作用。本實(shí)用新型能及時(shí)抽走生產(chǎn)磷化銦的器皿及生長(zhǎng)材料烘烤過(guò)程中釋放出來(lái)的雜質(zhì)，使磷化銦生長(zhǎng)材料質(zhì)量得到保證，而且結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，易于實(shí)現(xiàn)，制作成本低。
文檔編號(hào)F04B41/06GK202971119SQ201220559460
公開(kāi)日2013年6月5日 申請(qǐng)日期2012年10月29日 優(yōu)先權(quán)日2012年10月29日
發(fā)明者關(guān)活明 申請(qǐng)人:臺(tái)山市華興光電科技有限公司