專利名稱：排氣泵的堆積物檢測裝置和具備該裝置的排氣泵的制作方法
技術領域：
本發明涉及檢測排氣泵內堆積的生成物(泵內堆積物)的堆積物檢測裝置和具備該裝置的排氣泵，特別是，涉及不管蝕刻等的處理(process)中使用的氣體的種類、流量，而在什么樣的處理中都能更正確地檢測該處理中使用的排氣泵內的堆積物(泵內堆積物)并進行警告的裝置。
背景技術：
在半導體制造裝置中，作為將從蝕刻等的處理裝置排出的氣體向外部進行排氣的裝置，例如，使用圖13所示的排氣泵P。該排氣泵P具有由圓筒部I和葉片部2構成的旋轉體R，旋轉體R由電動機M繞轉子軸3驅動旋轉。這樣，位于排氣泵P的吸氣ロ 4側的氣體 分子通過由旋轉的葉片部2賦予向下的運動量，被移送到螺旋槽部5的上游，在由螺旋槽部5壓縮之后，從排氣ロ 6排到外部。已知有通過如上所述的氣體的排氣而在渦輪分子泵等的排氣泵內堆積生成物(例如，參照專利文獻I的段落0014)。特別是，在圖13的排氣泵中，在圖中的S部易堆積生成物。在專利文獻I中，公開了檢測該泵內堆積的生成物(泵內堆積物)的方式。所公開的堆積物檢測方式為如下方式，即，在渦輪分子泵(20)中，對使其旋翼(23)旋轉的電動機(7)的電流值進行檢測，將檢測到的電動機電流值和預先設定的設定電流值進行比較，其結果是，在檢測出的電動機電流值與預先設定的設定電流值相比為規定值以上的情況下，進行警告的方式(參照同文獻I的段落0022等)。但是，包括專利文獻I的渦輪分子泵(20)的排氣泵的終端用戶，在各種各樣的處理中使用排氣泵，并且根據處理內容流過排氣泵內的氣體的種類、流量也是各種各樣的。而且，根據流過排氣泵內的氣體的種類、流量，對排氣泵的旋轉體進行旋轉驅動的電動機的電流值也發生變化。為此，在如前面所述的專利文獻I的堆積物檢測方式中，存在如下問題，即，由于采用基于預先設定的設定電流值來檢測生成物的堆積并進行警告的結構，所以在與該設定電流值不對應的處理中，不能正確地檢測堆積物并進行警告。另外，也存在如下問題，即，為了避免誤檢測、誤警告，必須在詳細調查了以使用什么流量、種類的氣體的處理來使用排氣泵、或排氣泵的使用狀況的基礎上，配合該使用狀況來變更設定電流值，使用狀況的調查、設定電流值的變更都需要耗費時間和成本。以上的說明中，括號內的符號是專利文獻I中使用的符號。專利文獻I :特開2003 — 232292號公報。
發明內容
本發明是為解決上述問題點而開發的，其目的在于，提供一種堆積物檢測裝置和具備該裝置的排氣泵，該堆積物檢測裝置不管處理中使用的氣體的種類、流量，而在什么樣的處理中都能更正確地檢測該處理中使用的排氣泵內的堆積物(泵內堆積物)并進行警告。為了實現上述目的，首先，本發明的第一方案提供ー種排氣泵的堆積物檢測裝置，其排氣泵通過旋轉體的旋轉動作進行對氣體的排氣，其特征在于，上述堆積物檢測裝置具有執行初始處理的功能；以及執行上述初始處理之后的事后處理的功能，作為上述初始處理，指的是對上述旋轉體進行旋轉驅動的電動機的電流值進行讀入處理和基于該讀入的電動機電流值求出電動機電流初始值并進行存儲處理，作為上述初始處理之后的上述事后處理，指的是對上述電動機的電流值進行讀入處理、基于該讀入的電動機電流值求出電動機電流當前值的處理、以及求出上述電動機電流當前值相對于上述電動機電流初始值的變化量的處理，上述堆積物檢測裝置基于該變化量來檢測泵內堆積物。上述第一方案的本發明的事后處理可進ー步包含基于上述變化量(電動機電流當前值相對于電動機電流初始值的變化量)進行警告設定的處理。該情況下的警告設定也可以采用根據上述變化量(電動機電流當前值相對于電動 機電流初始值的變化量)等級式地設定警告級別的結構。在上述第一方案的本發明的事后處理中，也可以在泵內流過規定的氣體種類、氣體流量的基礎上，在讀入上述電動機的電流值的階段，測量該電動機的溫度，基于測量到的電動機溫度，預測電動機電流到達值，采用預測到的電動機電流到達值作為上述電動機電流當前值。在上述第一方案的本發明的初始處理中，也可以在泵內流過規定的氣體種類、氣體流量的基礎上，在讀入上述電動機的電流值的階段，測量該電動機的溫度，基于測量到的電動機溫度，預測電動機電流到達值，采用預測到的電動機電流到達值作為上述電動機電流初始值并進行存儲。本發明的第二方案提供ー種排氣泵的堆積物檢測裝置，其排氣泵通過旋轉體的旋轉動作進行對氣體的排氣，其特征在于，上述堆積物檢測裝置具有執行初始處理的功能；以及執行上述初始處理之后的事后處理的功能，作為上述初始處理，指的是對上述旋轉體的溫度進行讀入處理和基于該讀入的旋轉體溫度求出旋轉體溫度初始值并進行存儲處理，作為上述初始處理之后的上述事后處理，指的是對上述旋轉體的溫度進行讀入處理、基于該讀入的旋轉體溫度求出旋轉體溫度當前值的處理、以及求出上述旋轉體溫度當前值相對于上述旋轉體溫度初始值的變化量的處理，上述堆積物檢測裝置基于該變化量來檢測泵內堆積物。上述本發明的第二方案的事后處理可進ー步包含基于上述變化量(旋轉體溫度當前值相對于旋轉體溫度初始值的變化量)進行警告設定的處理。這種情況的警告設定也可以采用根據上述變化量(旋轉體溫度當前值相對于旋轉體溫度初始值的變化量)等級式地設定警告級別的結構。本發明的第三方案提供ー種排氣泵的堆積物檢測裝置，其排氣泵通過旋轉體的旋轉動作進行對氣體的排氣，其特征在于，上述堆積物檢測裝置具有執行初始處理的功能；以及執行上述初始處理之后的事后處理的功能，作為上述初始處理，指的是對上述旋轉體進行旋轉驅動的電動機的電流值進行讀入處理、基于讀入的電動機電流值求出電動機電流初始值并進行存儲處理、對上述旋轉體的溫度進行讀入處理、以及基于讀入的旋轉體溫度求出旋轉體溫度初始值并進行存儲處理，作為上述初始處理之后的上述事后處理，指的是對上述電動機的電流值進行讀入處理、基于該讀入的電動機電流值求出電動機電流當前值的處理、求出上述電動機電流當前值相對于上述電動機電流初始值的變化量的處理、對上述旋轉體的溫度進行讀入處理、基于該讀入的旋轉體溫度求出旋轉體溫度當前值的處理、以及求出上述旋轉體溫度當前值相對于上述旋轉體溫度初始值的變化量的處理，上述堆積物檢測裝置基于上述兩個變化量來檢測泵內堆積物。上述本發明的第三方案的事后處理可進ー步包含基于上述兩個變化量(電動機電流當前值相對于電動機電流初始值的變化量、旋轉體溫度當前值相對于旋轉體溫度初始值的變化量)進行警告設定的處理。該情況的警告設定也可以采用根據上述兩個變化量(電動機電流當前值相對于電動機電流初始值的變化量、旋轉體溫度當前值相對于旋轉體溫度初始值的變化量)等級式地設定警告級別的結構。另外，在上述本發明的第三方案中，在等級式地設定警告級別的情況下，警告設定也可以為如下的兩種警告設定，即在上述電動機電流當前值相對于上述電動機電流初始 值的變化量為電流關系的最高 警告設定閾值以上的情況下，或者，在上述旋轉體溫度當前值相對于上述旋轉體溫度初始值的變化量為溫度關系的最高 警告設定閾值以上的情況下，進行與各自的閾值對應的警告設定；在上述電動機電流當前值相對于上述電動機電流初始值的變化量為電流關系的初始 警告設定閾值以上、且上述旋轉體溫度當前值相對于上述旋轉體溫度初始值的變化量為溫度關系的初始 警告設定閾值以上的情況下，進行與電流關系或溫度關系的初始 警告設定閾值對應的警告設定。在上述第三方案的本發明的事后處理中，也可以在泵內流過規定的氣體種類、氣體流量的基礎上，在讀入上述電動機的電流值的階段，測量該電動機的溫度，基于測量到的電動機溫度，預測電動機電流到達值，采用預測到的電動機電流到達值作為上述電動機電流當前值。在上述第三方案的本發明的初始處理中，也可以在泵內流過規定的氣體種類、氣體流量的基礎上，在讀入上述電動機的電流值的階段，測量該電動機的溫度，基于測量到的電動機溫度，預測電動機電流到達值，采用預測到的電動機電流到達值作為上述電動機電流當前值并進行存儲。發明效果
根據本發明的第一方案，采用了如下的結構，即，通過初始處理求出電動機電流初始值，通過事后處理求出電動機電流當前值，進ー步，求出電動機電流當前值相對于該電動機電流初始值的變化量，基于這樣的變化量，檢測泵內堆積物。為此，能夠得到如下的作用效果，例如，通過在終端用戶將排氣泵剛組裝于處理執行裝置之后的處理執行時進行上述的初始處理，可得到與實際處理對應的電動機電流的變化量，基于該變化量，進行泵內堆積物的檢測，因此，不管處理中使用的氣體的種類、流量如何，而在什么樣的處理中都能夠更正確地檢測該處理中使用的排氣泵內的堆積物(泵內堆積物)，且進行警告。根據本發明的第二方案，采用了如下的結構，即，通過初始處理求出旋轉體溫度初始值，通過事后處理求出旋轉體溫度當前值，進一歩，求出旋轉體溫度當前值相對于該旋轉體溫度初始值的變化量，基于這樣的變化量，檢測泵內堆積物。為此，能夠得到如下的作用效果，例如，通過在終端用戶將排氣泵剛組裝于處理執行裝置之后的處理執行時進行上述的初始處理，可得到與實際處理對應的旋轉體溫度的變化量，基于該變化量，進行泵內堆積物的檢測，因此，不管處理中使用的氣體的種類、流量如何，而在什么樣的處理中都能夠更正確地檢測該處理中使用的排氣泵內的堆積物(泵內堆積物)，且進行警告。根據本發明的第三方案，基于電動機電流當前值相對于電動機電流初始值的變化量和旋轉體溫度當前值相對于旋轉體溫度初始值的變化量，檢測泵內堆積物，因此，能夠更正確地檢測泵內堆積物，且進行警告。
圖I在圖13的排氣泵的泵控制裝置中組裝有作為本發明ー實施方式的堆積物檢測裝置的例子的功能塊 圖2圖2是模擬做成的圖13的排氣泵內的氣體流路中生成物的堆積狀況的狀態的說明圖，a)是表示生成物堆積比率為25%時的狀態的圖，b)是表示該比率為50%時的狀態的圖，c)是表示該比率為75%時的狀態的圖；
圖3在圖2的模擬堆積物存在的狀況下使圖13的排氣泵運轉且測定了同一排氣泵的電動機的電流時的、生成物堆積比率和電動機電流之間的關系的說明 圖4在圖3的條件2和條件3各自的條件下使圖13的排氣泵運轉且測定了同一排氣泵的電動機的電流時的、將生成物堆積比率和電動機電流之間的關系進行比較的 圖5在圖2的模擬堆積物存在的狀況下使排氣泵運轉且測定了同一排氣泵的旋轉體(具體為葉片部)的溫度時的、生成物堆積比率和旋轉體溫度之間的關系的說明 圖6在圖5的條件2和條件3各自的條件下使排氣泵運轉且測定了同一排氣泵的旋轉體(具體為葉片部)的溫度時的、將生成物堆積比率和旋轉體溫度之間的關系進行比較的 圖7關于基于電動機電流變化量檢測泵內堆積物的例子的執行的流程 圖8關于基于旋轉體溫度變化量檢測泵內堆積物的例子的執行的流程 圖9關于基于電動機電流變化量和旋轉體溫度變化量檢測泵內堆積物的例子的執行的流程 圖10表示了正常檢查模式的執行例，即表示了在采用以上說明的等級式的警告級別的設定的情況下的事后處理的流程的流程 圖11表示了處理執行時和正常檢查模式執行時的電動機電流值的變化的模樣的
圖12相對于氣體負荷的變化，將電動機的電流值的變化和旋轉體的溫度的變化之間的差異進行比較的 圖13排氣泵的一例的剖面 圖14將圖13的排氣泵作為排氣單元而裝入的顧客的處理執行裝置的運行狀態和該排氣泵的電動機的溫度之間的關系的說明 圖15表示了在圖2的模擬堆積物存在的狀況下使圖13的排氣泵運轉且在同一排氣泵的電動機的溫度高時(C4度)和低時(C3度)，對排氣泵內的生成物的堆積和排氣泵的電動機的電流變化之間的關系進行調查的調查試驗的結果的圖；圖16表示了對流過排氣泵內的氣體的流量、排氣泵的電動機的溫度和同電動機的電流值之間的關系進行調查的實驗結果的圖。
具體實施例方式下面，參照附圖對用于實施本發明的最佳方式進行詳細說明。(A)基于電動機電流變化量檢測泵內堆積物的例子(相當于本發明的第一方案)的說明
首先，對排氣泵內的生成物的堆積和排氣泵的電動機的電流變化之間的關系進行說明。在圖13所示的排氣泵P的情況下，生成物堆積于轉子I下部的氣體流路(參照圖 13的S部)。當生成物堆積時，排氣泵P的最下段的渦輪部2下部的壓カ就上升。其結果是，由于施加給電動機M的負荷増大，所以電動機電流值被控制為向增大方向變化。此處，如圖2所示，本發明人等進行了如下的調查試驗，S卩，在圖13的排氣泵P的氣體流路中生成物最易堆積的部位(具體而言，圖13的S部)，做成模擬生成物的堆積狀況，調查排氣泵P內的生成物的堆積和排氣泵P的電動機M的電流變化之間的關系。表示其結果的圖為圖3。如圖3所示，本發明人等確認了在圖13的S部，從泵內堆積物的堆積厚度超過氣體流路的50% (參照圖2的生成物堆積比率50%)的時刻開始，電動機電流值顯著地向增大方向變化。因此，通過檢測該電動機電流值的變化量(以下稱為“電動機電流變化量”)，能夠檢測泵內堆積物，或者能夠推定其堆積厚度。另外，電動機電流值開始上升的泵內堆積物的堆積厚度并不是在所有的機種都是50%，而是因設計而變動。另外，例如，如圖3及圖4所示，在如排氣泵P的運轉條件I (使B氣體以800sccm流過)那樣，流過排氣泵P的氣體的流量小的情況下，電動機電流值的變化率小，不能有意地判定電動機電流值的増大。進而，電動機電流值也因排氣泵P的個體差異及以相同的流量使氣體流過時的泵溫度而變化。因此，為了有意地判定電動機電流值的增大,需要至少10%以上的電動機電流增大(Al)。圖I是在圖13的排氣泵P的泵控制裝置中組裝有作為本發明的一個實施方式的堆積物檢測裝置的例子的功能塊圖。同圖的泵控制裝置50具有總括控制排氣泵P的微型計算機部51、對排氣泵P的電動機M進行驅動的電動機驅動器52、基于來自微型計算機部51的指令在與未圖示的顧客的包含處理裝置的顧客裝置等外部裝置之間進行通信的通信単元53、基于來自微型計算機部51的指令顯示排氣泵P的運轉狀況的顯示単元54、以及對微型計算機部51進行設定值等的輸入的輸入操作單元55，電動機驅動器52具備作為檢測電動機M的電流值的電動機電流值檢測單元的功能。微型計算機部51具有通過執行圖7所示的流程圖的各處理來執行初始處理及初始處理后的事后處理的功能，作為初始處理執行下述(I 一 I) (I 一 2)的處理，作為初始處理后的事后處理執行下述(2 — I) (2 — 4)的處理。《初始處理》
(I - I)對電動機M的電流值進行讀入處理。
(I 一 2)基于在上述(I 一 I)中讀入的電動機電流值，求出電動機電流初始值并進行存儲處理。《事后處理》
(2 - I)對電動機M的電流值進行讀入處理。(2 一 2)基于在上述(2 — I)中讀入的電動機電流值，求出電動機電流當前值的處理。(2 一 3)通過從由上述(2 — 2)求出的電動機電流當前值減去由上述(I 一 2)存儲的電動機電流初始值，求出電動機電流變化量的處理。(2 一 4)基于上述(2 — 3)求出的電動機電流變化量，進行警告設定的處理。《初始處理和事后處理的處理內容的詳細情況》
上述(I 一 I)的電動機電流值的讀入雖然為從電動機驅動器52讀取電動機電流檢測值的方式，但也可以用其它方法來讀入電動機M的電流值。上述(2 — I)的電動機電流值的讀入也同樣。作為電動機電流初始值，可采用電動機電流平均值。電動機電流平均值的求法可采用如下方法及方式等的各種方式，例如，采用在規定時間內多次讀入電動機電流值，并對讀入的多個電動機電流值的總和除以讀入次數得到電動機電流平均值的方法；采用通過多次重復該方法，取得幾個電動機電流初始值，并通過對取得的多個電動機電流初始值的總和除以重復次數，最終取得電動機電流初始值的方式等。上述電動機電流當前值的求法也同樣。存儲電動機電流初始值的方式可采用如下的方式及該方式以外的方式，例如，采用將內置于微型計算機部51的未圖示的非易失性存儲介質的一部分確保為存儲區，并在該存儲區存儲電動機電流初始值的方式。另外，電動機電流當前值也與電動機電流初始值相同，也可以采用存儲于非易失性存儲介質的存儲區的方式。作為與之不同的方式，也可以采用將內置于微型計算機部51的未圖示的RAM等易失性存儲介質的一部分確保為存儲區，并在該存儲區存儲電動機電流當前值的方式。如上所述，在采用了在存儲區存儲電動機電流初始值和電動機電流當前值的結構的情況下，關于求出電動機電流變化量的處理，只要從存儲區取得電動機電流初始值和電動機電流當前值，并從取得的電動機電流當前值減去電動機電流初始值即可。基于電動機電流變化量進行的警告設定可采用例如根據該電動機電流變化量，將警告級別等級式地設定為級別I、級別2、…的方式及另外的方式。在等級式地設定警告級別的方式中，既可采用設定的警告級別從通信單元53向外部裝置輸出，又可采用由顯示單元54顯示各警告級別等的、用于通知警告內容的各種處理。另外，等級式的警告級別的設定也可以按照例如在電動機電流變化量為電動機電流初始值的+ 30%以上時設定級別I的警告、在+ 40%以上時設定級別2的警告、在+ 50%以上時設定級別3的警告等的、隨著電動機電流變化量的増大來提高警告級別的方式進行設定。圖7是表示在基于電動機電流變化量檢測泵內堆積物的例子中采用了等級式的的警告級別的設定時的初始處理和事后處理的流程的流程圖。圖7的流程圖的處理通過微型計算機部51的啟動、或者在經由輸入操作単元55將處理開始命令輸入到微型計算機部51時由通信単元53接收到處理開始命令時等，由微型計算機部51來執行。參照圖7可知，微型計算機部51首先將由電動機驅動器52檢測到的電流值(電動機電流值)讀入到緩沖器內(步驟101);通過對讀入的電動機電流值進行平均化處理，取得電動機電流初始值并進行設定(步驟102及103)。通過重復進行N次該步驟101 103的處理(步驟104的No)求出最終的電動機電流初始值(步驟104的Yes)后，將該求出的電動機電流初始值存儲于存儲區(步驟105)。到此，初始處理結束。接著，作為事后處理，微型計算機部51將電動機電流值讀入到緩沖器內(步驟106);通過將讀入的電動機電流值進行平均化處理求出電動機電流當前值(步驟107);通過從該電動機電流當前值減去上述電動機電流初始值，求出電動機電流變化量(步驟108)，進入步驟109。 在步驟109中，判定在步驟108求出的電動機電流變化量是否為級別I的警告設定閾值(例如，電動機電流初始值的+ 30%)以上。在此，在級別I的警告設定閾值以上(步驟109的Yes)的情況下，進行級別I的警告設定(步驟110)，進入下ー步驟111。在步驟111中，判定在步驟108求出的電動機電流變化量是否為級別2的警告設定閾值(例如，電動機電流初始值的+ 40%)以上。在此，在級別2的警告設定閾值以上(步驟111的Yes)的情況下，將先設定的級別I的警告設定取消，進行級別2的警告設定(步驟112)，進入下ー步驟113。在步驟113中，判定在步驟108求出的電動機電流變化量是否為級別3的警告設定閾值(例如，電動機電流初始值的+ 50%)以上。在此，在級別3的警告設定閾值以上(步驟113的Yes)的情況下，將先設定的級別2的警告設定取消，進行級別3的警告設定(步驟114)。級別1、2、3的警告設定如前所述。另外，在步驟109中，在電動機電流變化量不是級別I的警告設定閾值以上的情況下、和在步驟111中，在電動機電流變化量不是級別2的警告設定閾值以上的情況下、以及在步驟113中，在電動機電流變化量不是級別3的警告設定閾值以上的情況下，分別返回到步驟106的處理(步驟109的No、步驟111的No、步驟113的No)，重復進行步驟106 步驟114的處理。上述各級別的警告設定閾值(電動機電流初始值的+ 30%、+ 40%、+ 50%)只是ー個例子，也可以不拘泥于本例而任意設定。在以上說明的初始處理中，優選進行電動機M的電流值穩定的時間例如數分鐘的氣體的排氣，其后，基于讀入的電動機電流值，求出電動機電流平均值。初始處理時流過排氣泵P的氣體流量的上限以電動機電流初始值在滿足下述式I的范圍內的方式設定即可。若這樣設定，則電動機M的電流不會超過電動機驅動器52的最大供給電流，能夠更正確地測定電動機電流變化量。如果不考慮電動機驅動器52的最大供給電流值且多余地使大量的氣體流過排氣泵時，則電動機M的電流不能増大，旋轉體R變得不能維持其轉速，就不能正確地測定電動機電流變化量。<式 I >I0 + Imax < I備注)
I為電動機驅動器的最大供給電流值，Itl為電動機電流初始值，Imax為涉及最高警告級別的電動機電流變化量(在前面的例子中，由于級別3的警告為最高的警告級別，所以Imax為電動機電流初始值的+ 50%)。初始處理時流過排氣泵P的氣體流量的下限設為在生成物的堆積量増大時電動機電流值的變化變為電動機電流初始值的+ 10%以上等的、能夠有意義地判定電動機電流的變化的氣體流量以上。在圖3的情況下，作為氣體的種類和流量，如果選定B氣體和1200sCCm的流量，就能夠滿足上述的兩個條件(氣體流量的上限和下限)，更正確的堆積厚度的推定變為可能。《進行初始處理的時期(定時)》
排氣泵P在出廠后作為執行處理的裝置(處理執行裝置)的排氣單元被組裝使用。根據 這種排氣泵P的使用方式，上述初始處理在排氣泵的出廠前進行、或者在實際使用排氣泵的終端用戶將排氣泵P剛組裝于處理執行裝置之后的處理執行時進行、或者定期地暫停處理來進行。在排氣泵P的出廠前進行初始處理的情況下，試驗地對流過排氣泵P的氣體的種類和流量進行規定，將根據該規定使排氣泵P運轉時的電動機M的電流值進行讀入。進而，基于讀入的電動機電流值，求出電動機平均電流值并進行存儲(上述(I 一 I) (I 一 2)的處理)。《以正常檢查模式(healthcheck mode)進行初始處理和事后處理的例子》
在定期地暫停處理進行初始處理的情況下，作為排氣泵P的正常檢查模式，能夠進行上述初始處理和事后處理。在正常檢查模式下，對流過排氣泵P的正常檢查用氣體的種類和流量進行規定，將根據該規定使排氣泵P運轉時的電動機M的電流值進行讀入，基于讀入的電動機電流值，求出電動機電流初始值并進行存儲(上述(I 一 I) (I 一 2)的處理)。之后，也可以通過按順序執行上述(2 — I) (2 — 4)的處理，求出電動機電流變化量，基于求出的電動機電
流變化量，進行警告設定。正常檢查模式的執行可以在生成物的堆積增大速度快的處理中以一日一次的步調頻繁地進行，也可以在此以外的處理中以I 2周一次的步調進行。可是，在采用上述的正常檢查模式的情況下，微型計算機部51有必要對進入了正常檢查模式的情況進行識別，執行初始處理和事后處理。這是為了，通過將處理和正常檢查模式分離，更可靠地推定生成物的堆積狀況。圖11表示的是處理執行中的電動機電流值和正常檢查模式執行中的電動機電流值。由同圖可知，處理執行中的電動機電流值有時變得比正常檢查模式執行中的電動機電流值大。為此，如果微型計算機部51不能對進入了正常檢查模式的情況進行識別，就會導致不管是不是在處理執行中，都執行上述初始處理和事后處理，通過讀取處理執行中的大的電動機電流值，會產生進行錯誤的警告設定這樣的不良狀況。《基于正常檢查命令的利用的正常檢查模式的識別》
作為對進入了正常檢查模式的情況進行識別的方法，考慮利用正常檢查命令的方法。具體而言，微型計算機部51經由通信単元53或輸入操作単元55，從顧客取得所謂流過正常檢查用氣體的正常檢查命令(信號)，以該正常檢查命令為觸發信號而識別為進入了正常檢查模式，執行初始處理和事后處理。若這樣，則由于僅在進入了正常檢查模式時進行初始處理和事后處理，所以不操作進行錯誤的警告設定。《不利用正常檢查命令來識別正常檢查模式的例子》
在處理執行中，由于流過排氣泵P的氣體的流量、種類會變化，所以電動機M的電流值會較大地變動。另ー方面，在正常檢查模式下，由于對流過排氣泵P的氣體的種類和流量進行了規定，所以電動機M的電流值比較穩定。通過利用這樣的電動機電流值的變動和穩定現象，而不利用正常檢查命令，也能夠識別為正常檢查模式。具體而言，與處理中電動機電流值變動的最大時間Tpmax進行比較，將正常檢查氣體導入時間Th (在排氣泵P內流過正常檢查用氣體的時間)設成充分長的時間(例如，10倍以上)。而且，在微型計算機部51，始終監視電動機電流值，若在圖11所示的Tc期間(=正 常檢查氣體導入時間Th —直到電動機電流值穩定的時間)電動機電流值連續地大致穩定，則識別為執行了正常檢查模式即可。圖10是表示正常檢查模式的執行例即上面說明的采用了等級式的警告級別設定時的事后處理的流程的流程圖。另外，在該圖10的正常檢查模式執行例中，通過已經進行了前述的初始處理，電動機電流初始值Ii被存儲于微型計算機部51的存儲區。另外，讀入的電動機電流值被存儲于緩沖存儲器。當參照圖10時，首先進行正常檢查定時器的值T的復位(步驟401)和電流累計值It的復位(步驟402)。接著，作為初始處理后的事后處理，讀入電動機電流值Ic (步驟403)，將讀入的電動機電流值Ic和在上述初始處理中預先存儲的電動機電流初始值Ii進行比較(步驟404)。然后，在該讀入的電動機電流值Ic為電動機電流初始值Ii以上的(步驟404的Yes)情況下，從緩沖存儲器讀出上次讀入的電動機電流值(以下稱為“上次的電動機電流值lb”)(步驟405)，在同一緩沖存儲器存儲在上述步驟403讀入的電動機電流值(以下稱為“本次的電動機電流值Ic”)(步驟406)。接著，將成為是否進入了正常檢查模式的判定基準的正常檢查模式判定閾值(具體而言，是電動機電流值的變動幅度，例如，接近零的值)和從上次的電動機電流值Ib減去本次的電動機電流值Ic所得的值的絕對值(本次和上次的電動機電流值的變動幅度)進行比較。進而，在該絕對值小于正常檢查模式判定閾值(步驟407的Yes)的情況下，使正常檢查定時器的值T計數完成(count up)(步驟408),進入下ー步驟409。在步驟409中，作為電動機電流值的累計處理，在電流累計值It中加上本次的電動機電流值Ic，在下ー步驟410中，通過將該相加值作為電流累計值It進行存儲，來更新電流累計值It。進而，在下ー步驟411中，將正常檢查定時器的值T和圖11所示的Tc期間(=正常檢查氣體導入時間Th —直到電動機電流值穩定的時間)進行比較。然后，在上述步驟411中，若TきTc (步驟411的Yes)，則識別為微型計算機部51執行了正常檢查模式，通過對上述更新后的電流累計值It除以正常檢查定時器的值T(It / T),求出電動機電流當前值Ia,通過從電動機電流當前值減去電動機電流初始值,求出電動機電流變化量(步驟412)。其后的從步驟413到418的處理與上面所述的從步驟109到114的處理相同，因此，省略其詳細說明。在上述的例子(基于電動機電流變化量檢測泵內堆積物的例子)中，采用了如下結構，即，由初始處理求出電動機電流初始值，由事后處理求出電動機電流當前值，進ー步，求出電動機電流當前值相對于該電動機電流初始值的變化量，基于這樣的變化量，檢測泵內堆積物，進行警告設定。為此，例如，通過在終端用戶將排氣泵P剛組裝于處理執行裝置之后的處理執行時進行上述的初始處理，能夠得到對應于實際處理的電動機電流的變化量，基于該變化量，進行泵內堆積物的檢測，因此，不管在處理中使用的氣體的種類、流量如何，在什么樣的處理中，都能夠更正確地檢測該處理中使用的排氣泵P內的堆積物(泵內堆積物)并進行警告。由于終端用戶在運轉中的排氣泵P的泵控制裝置50中內置了具備檢測排氣泵P的電動機M的電流值的功能的電動機驅動器52，所以基于電動機電流值的變化量檢測泵內堆積物的上述的例子可不由終端用戶對運轉中的排氣泵追加硬件資源，僅以軟件的變更來對應。 在對排氣泵P的氣體負荷的變動大的處理(例如，蝕刻裝置)中，電動機電流值的變動也大，因此難以穩定地將電動機電流值讀入，但通過上面說明的正常檢查模式的導入，可將電動機電流值穩定地讀入，因此即使在氣體負荷的變動大的處理中，也能夠精度良好地檢測生成物的堆積狀況。另外，在正常檢查模式下，在排氣泵P和包含其該泵控制裝置50的產品出廠時，可求出電動機電流初始值并存儲，因此，也可省略基于終端用戶的初始處理的電動機電流初始值的設定作業。(B)基于旋轉體溫度變化量檢測泵內堆積物的例子(相當于本發明的第二方案)的說明
首先，對排氣泵內的生成物的堆積和排氣泵的旋轉體的溫度變化之間的關系進行說明。圖5是在圖2的模擬堆積物存在的狀況下使圖13的排氣泵P運轉，測定同一排氣泵P的旋轉體R的溫度時的結果(生成物堆積比率和旋轉體溫度之間的關系)的說明圖。如圖5所示，本發明人等確認了從泵內堆積物的堆積厚度超過氣體流路的50%(參照圖2的生成物堆積比率50%)的時點起，旋轉體R的溫度顯著地向増大方向變化。因此，通過檢測該旋轉體溫度的變化量，既能夠檢測泵內堆積物，又能夠推定其堆積厚度。另外，在本發明人等中，也確認了在流過排氣泵P的氣體流量小的情況下，旋轉體R的溫度的變化率小，不能有意地判定旋轉體R的溫度的増大。當考慮基于排氣泵P的個體差異的運轉開始時及溫度平衡時的溫度差時，為了有意地判定旋轉體R的溫度增大量，需要5°C以上的溫度増加。可是，如圖12所示，與電動機M的電流值相比，旋轉體R的溫度不隨著作用于旋轉體R的氣體負荷的短時間(數分鐘程度)的變化而變化。如圖12所示，在實際的處理中，大致相同方案的氣體種類、流量的組合繼續的情況多。在這種處理的情況下，旋轉體R的溫度與將電動機的電流值的變化以時間進行積分變為同等。由以上可知，在本例中，在將排氣泵P剛組裝于處理執行裝置之后，且在執行了規定的處理數以后，作為初始處理，讀入排氣泵P的旋轉體R的溫度，基于該讀入的旋轉體溫度，求出旋轉體溫度初始值并存儲。進而，在初始處理后的事后處理中，在處理執行后，毎次都讀入旋轉體R的溫度，基于讀入的旋轉體溫度，求出旋轉體溫度當前值。而且，求出旋轉體溫度當前值相對于旋轉體溫度初始值的變化量(以下稱為“旋轉體溫度變化量”)，基于求出的旋轉體溫度變化量，檢測堆積物，進行警告設定。為了進行這樣的處理，上面所述的圖I的泵控制裝置50、圖13的排氣泵P按照以下方式構成。在圖13的排氣泵P中設置檢測旋轉體R的溫度的溫度檢測單元7，在該排氣泵13的泵控制裝置50 (參照圖I)中輸入由溫度檢測單元7檢測出的旋轉體R的溫度。而且，同一泵控制裝置50的微型計算機部51具有通過執行圖8所示的流程圖的各處理來執行初始處理及初始處理后的事后處理的功能，即，作為初始處理，執行下述(3 — I) (3 — 2)的處理，作為初始處理后的事后處理，執行下述(4 一 I) (4 一 4)的處理。
《初始處理》
(3-1)對排氣泵P的旋轉體的溫度進行讀入處理。(3 一 2)基于在上述(3 — I)中讀入的旋轉體溫度，求出旋轉體溫度初始值并存儲的處理。《事后處理》
(4-1)對排氣泵P的旋轉體的溫度進行讀入處理。(4 一 2)基于在上述(4 一 I)中讀入的旋轉體溫度，求出旋轉體溫度當前值的處理。(4 — 3)通過從由上述(4 — 2)求出的旋轉體溫度當前值減去由上述(3 — 2)存儲的旋轉體溫度初始值，求出旋轉體溫度變化量的處理。(4 一 4)基于由上述(4 一 3)求出的旋轉體溫度變化量，進行警告設定的處理。《初始處理和事后處理的處理內容的詳細情況》
在上述(3 — I)的旋轉體溫度的讀入將來自溫度檢測單元7的輸入進行讀取。在上述(4 一 I)的旋轉體溫度的讀入也同樣。關于旋轉體溫度初始值，可采用旋轉體溫度平均值。旋轉體溫度平均值的求法與對應于此的上述的電動機電流平均值的求法同樣，因此，省略其詳細說明。另外，存儲旋轉體溫度初始值的方式、求出旋轉溫度變化量的方式以及基于旋轉溫度變化量進行的警告設定的方式也分別與對應于這些方式的上述的方式即存儲電動機電流初始值的方式、求出電動機電流變化量的方式、基于電動機電流變化量進行的警告設定的方式同樣，因此，省略其詳細說明。圖8是表示在基于旋轉體溫度變化量檢測泵內堆積物的例子中采用了等級式的警告級別的設定時的初始處理和事后處理的流程的流程圖。另外，該流程圖的處理的執行定時與圖7的流程圖的處理的執行定時同樣。若參照圖8，則微型計算機部51首先通過溫度檢測單元7將旋轉體R的溫度讀入到緩沖器內(步驟201)，通過對讀入的旋轉體溫度進行平均化處理，取得旋轉體溫度初始值并設定(步驟204及203)。如果通過重復進行N次該步驟201 203的處理(步驟204的No)求出了最終的旋轉體溫度初始值(步驟204的Yes)，則將求出的旋轉體溫度初始值存儲于存儲區(步驟205)。到此，初始處理結束。旋轉體溫度的初始值的讀入也可以使用輸入操作単元55及通信単元53向微型計算機部51發出指示。另外，作為自動地進行該操作的方法，在排氣泵P被安裝于裝置之后，也可使用某固定時間(例如，1000個小時)的期間的旋轉體的最大溫度，將該最大溫度設為初始溫度。當然，固定時間可通過處理等設為不同的時間。接著，微型計算機部51將旋轉體R的溫度讀入到緩沖器內(步驟206)，通過對讀入的旋轉體溫度進行上述的平均化處理，求出旋轉體溫度當前值(步驟207)，通過從該旋轉體溫度當前值減去上述旋轉體溫度初始值，求出旋轉體溫度變化量(步驟208)，進入步驟209。在步驟209中，判定在步驟208求出的旋轉體溫度變化量是否為級別I的警告設定閾值(例如，旋轉體溫度初始值的+ 5°C)以上。在此，在級別I的警告設定閾值以上(步驟209的Yes)的情況下，進行級別I的警告設定(步驟210)，進入下ー步驟211。
在步驟211中，判定在步驟208求出的旋轉體溫度變化量是否為級別2的警告設定閾值(例如，旋轉體溫度初始值的+ 10°C)以上。在此，在級別I的警告設定閾值以上(步驟211的Yes)的情況下，將先設定的級別I的警告設定取消，進行級別2的警告設定(步驟212)，進入下ー步驟213。在步驟213中，判定在步驟208求出的旋轉體溫度變化量是否為級別3的警告設定閾值(例如，旋轉體溫度初始值的+ 15°C)以上。在此，在級別3的警告設定閾值以上(步驟213的Yes)的情況下，將先設定的級別2的警告設定取消，進行級別3的警告設定(步驟214)。級別I、2、3的警告設定例，如上所述。另外，在步驟209中旋轉體溫度變化量不為級別I的警告設定閾值以上的情況下和在步驟211中旋轉體溫度變化量不為級別2的警告設定閾值以上的情況下以及在步驟213中旋轉體溫度變化量不為級別3的警告設定閾值以上的情況下，分別返回到步驟206的處理(步驟209的No、步驟211的No、步驟213的No)，重復進行步驟206 步驟214的處理。上述各級別的警告設定閾值(旋轉體溫度初始值的+5°C、+ IO0C,+ 15°C)只是ー個例子，也可以不拘泥于本例而任意設定。在以上說明的例子(基于旋轉體溫度變化量檢測泵內堆積物的例子)中，可采用如下所述的結構，即，通過初始處理求出旋轉體溫度初始值，通過事后處理求出旋轉體溫度當前值，進而，求出旋轉體溫度當前值相對于該旋轉體溫度初始值的變化量，基于這樣的變化量，檢測泵內堆積物。為此，例如，通過在終端用戶將排氣泵剛組裝于處理執行裝置之后的處理執行時進行上述的初始處理，能夠得到對應于實際處理的旋轉體溫度的變化量，由于基于該變化量進行泵內堆積物的檢測，所以不管處理中使用的氣體的種類、流量如何，在什么樣的處理中，都能夠更正確地檢測該處理中使用的排氣泵內的堆積物(泵內堆積物)，且進行警告。圖9是表示在基于電動機電流變化量和旋轉體溫度變化量檢測泵內堆積物的例子(相當于本發明的第三方案)中，采用了上面說明的等級式的的警告級別的設定時的初始處理和事后處理的流程的流程圖。在該圖9的流程圖中，對與圖7、圖8的流程圖的處理相同的處理附帯同一符號。另外，圖9的流程圖的處理的執行定時與圖7的流程圖的處理的執行定時同樣。在圖9中，同時并列地進行步驟101 108的處理和步驟201 208的處理。另夕卜，該同時并列進行的處理組分別與圖7的流程圖所示的步驟101 108的處理、圖8的流程圖所示的步驟201 208的處理相同，因此省略其詳細說明。下面，對其以后的不同的步驟30IA 303A及30IB 303B、304的各處理進行說明。在步驟301A中，將在步驟108中求出的電動機電流變化量和針對電動機電流變化量而規定最高 警告級別的警告設定閾值(例如，電動機電流變化量的+ 50%。以下稱為“電流關系的最高 警告設定閾值”)進行比較，判定電動機電流變化量是否為電流關系的最高 警告設定閾值以上。
而且，在該步驟301A中，在電動機電流變化量為電流關系的最高 警告設定閾值以上的情況下，進行與電流關系的最高 警告設定閾值對應的警告設定的處理(步驟301A的Yes、步驟304)。另ー方面，在電動機電流變化量不為電流關系的最高 警告設定閾值以上(步驟30IA的No)的情況下，進入下ー步驟302A。在步驟302A中，將步驟108中求出的電動機電流變化量和針對電動機電流變化量而規定初始 警告級別的警告設定閾值(例如，電動機電流變化量的+ 30%。以下稱為“電流關系的初始 警告設定閾值”)進行比較，判定電動機電流變化量是否為電流關系的初始 警告設定閾值以上。在步驟303A中，將步驟208中求出的旋轉體溫度變化量和針對旋轉體溫度增大量而規定初始 警告級別的警告設定閾值(例如，旋轉體溫度變化量的+ 5°C。以下稱為“溫度關系的初始 警告設定閾值”)進行比較，判定旋轉體溫度變化量是否為溫度關系的初始 警告設定閾值以上。而且，在電動機電流變化量為電流關系的初始 警告設定閾值以上(步驟302A的Yes)且旋轉體溫度變化量為溫度關系的初始 警告設定閾值以上(步驟303A的Yes)的情況下，進行與電流關系或溫度關系的初始 警告設定閾值對應的警告設定的處理(步驟304)。另ー方面，在電動機電流變化量不為電流關系的初始 警告設定閾值以上(步驟302A的No)的情況下、在旋轉體溫度變化量不為溫度關系的初始 警告設定閾值以上的(步驟303A的No)的情況下,返回到步驟106。在步驟301B中，將步驟208中求出的旋轉體溫度變化量和針對旋轉體溫度變化量而規定最高 警告級別的警告設定閾值(例如，旋轉體溫度變化量的+ 15°C。以下稱為“溫度關系的最高 警告設定閾值”)進行比較，判定旋轉體溫度變化量是否為溫度關系的最高 警告設定閾值以上。而且，在該步驟301B中，在旋轉體溫度變化量為溫度關系的最高 警告設定閾值以上(步驟301B的Yes)的情況下，進行與溫度關系的最高 警告設定閾值對應的警告設定的處理(步驟304)。另ー方面，在旋轉體溫度變化量不為溫度關系的最高 警告設定閾值以上(步驟30IB的No)的情況下，進入下ー步驟302B。在步驟302B中，將步驟208中求出的旋轉體溫度變化量和溫度關系的初始 警告設定閾值進行比較。另外，在下ー步驟303B中，將步驟108中求出的電動機電流變化量和電流關系的初始 警告設定閾值進行比較。而且，在旋轉體溫度變化量為溫度關系的初始 警告設定閾值以上(步驟302B的Yes)且電動機電流變化量為電流關系的初始 警告設定閾值以上(步驟303B的Yes)的情況下，進行與溫度關系或電流關系的初始 警告設定閾值對應的警告設定的處理(步驟304)。另ー方面，在旋轉體溫度變化量不為溫度關系的初始 警告設定閾值以上(步驟302B的No)的情況下、在電動機電流變化量不為電流關系的初始 警告設定閾值以上(步驟303B的No)的情況下，返回到步驟206。在以上說明的例子(基于電動機電流變化量和旋轉體溫度變化量檢測泵內堆積物的例子)中，由于基于電動機電流變化量和旋轉體溫度變化量來檢測泵內堆積物，所以與僅基于電動機電流變化量或僅基于旋轉體溫度變化量來檢測泵內堆積物的情況相比，能夠精度良好地進行泵內堆積物的檢測。在以上說明的全部例子中，將警告級別劃分成數個等級，但也可采用不那樣劃分的結構。在將警告級別劃分成數個等級的情況下，對終端用戶而言排氣泵的保養作業變得 容易。例如，在發出了級別I的警告的時點，準備備用排氣泵，在發出了級別2的警告的時點，通過更換排氣泵，能夠使備用排氣泵的保有臺數最小限，能夠謀求成本降低。圖14是將圖13的排氣泵P作為排氣單元而裝入的顧客的處理執行裝置的運轉狀態和該排氣泵P的電動機M的溫度之間的關系的說明圖。在圖14中，在時刻t0 tl期間，通過由顧客的處理執行裝置多次執行處理，排氣泵P的電動機M的溫度穩定在固定溫度(C2度)。接著，當從時刻tl之后不久為檢修等使顧客的處理執行裝置停止時，隨之，起因于排氣泵P的負荷減輕等，使得排氣泵P的電動機M的溫度下降到規定溫度(Cl度)。其后，從時刻t2起，停止中的處理執行裝置重啟，通過在同一裝置中處理恢復 重啟，從時刻t2起，起因于排氣泵P的負荷増大等，使得排氣泵P的電動機M的溫度上升。而且，在由處理執行裝置多次執行了處理的時刻t3，該電動機M的溫度穩定在固定溫度(C2度)。這樣，組裝于顧客的處理執行裝置的排氣泵P的電動機M不會始終為固定的溫度。根據顧客的處理執行裝置的運轉狀態，排氣泵P的電動機M中產生AC度的溫度差(AC度=C2度一 Cl度)。上述電動機M的溫度差AC度會給該電動機電流值帶來影響。為了調查該影響，本發明人等進行了調查試驗。在該調查試驗中，在圖13的排氣泵P的氣體流路中生成物最易堆積的部位(具體而言，圖13的S部)，作成圖2所示的模擬生成物的堆積狀況，在這種模擬堆積物存在的狀況下，使排氣泵P運轉。而且，在同一排氣泵P的電動機M的溫度高時(C4度)和低時(C3度)，調查了排氣泵P內的生成物的堆積和排氣泵P的電動機M的電流變化之間的關系。表示其調查結果的圖為圖15。另外，在該調查試驗中，在電動機M的溫度高時(C4度)和低時(C3度)，將流過排氣泵P內的氣體的種類、流量設定成同一條件。同圖中的曲線A表示電動機M的溫度高時(C4度)的生成物堆積比率和電動機M的電流變化之間的關系，另外，同圖中的曲線B表示電動機M的溫度低時(C3度)的生成物堆積比率和電動機M的電流變化之間的關系。由圖15的兩曲線A、B可知，即使流過排氣泵P的氣體的種類和流量相同，在電動機M的溫度高時(C4度)和低時(C3度)，在電動機電流值中也會產生差值。本發明人等的實驗判明，其差值因流過排氣泵P的氣體的種類和流量、電動機M的規格等有些許不同，但最大為10%程度。圖16是表不對流過排氣泵P的氣體的流量、排氣泵P的電動機M的溫度、同一電動機M的電流值之間的關系進行調查的實驗結果的圖。如同圖(a)所示，在流過排氣泵P的氣體的流量為固定的情況下，如同圖(b) (c)所示，排氣泵P的電動機M的溫度和電流值從開始流過氣體的時刻tO起開始増大。而且，關于電動機M的溫度，如同圖(b)所示，從開始流過氣體的時刻tO起經過規定時間以后，在規定溫度穩定下來，關于電動機M的電流值，如同圖(c)所示，與電動機M的溫度的穩定大致同等地上升，在規定電流值穩定下來。同圖(b)所示的電動機M的溫度差造成的電動機電流值的差值最大變為10%程度。如上說明的那樣，由于在電動機M的溫度高時(例如，圖15的C4度)和低時(例如，圖15的C3度)，電動機電流值中產生差值，所以，如果在上述初始處理中存儲的電動機電流初始值為圖15的Al，且在上述事后處理中求出的電動機電流當前值為圖15的A2，則即使是相同的電動機電流變化量Ai (=A2 — Al)，在電動機M的溫度高時(C4度)和低時(C3度)，如圖15所示，生成物堆積比率也必然不同(根據圖15，電動機M的溫度低時(C3度)的生成物堆積比率為約72%，電動機M的溫度高時(C4度)的生成物堆積比率為約69%)。這里，在電動機M的溫度低時(例如，圖15的C3度)，在上述的事后處理中，為了正確地檢測電動機M的溫度高時(例如，圖15的C4度)的泵內堆積物(排氣泵P內堆積的生成 物)的堆積量，需要考慮電動機M的溫度。另外，如前面用圖4所說明的那樣，由于基于流過排氣泵P的氣體的流量導致電動機電流值的變化率不同，所以同樣也需要考慮流過排氣泵P的氣體的流量。為了考慮以上的事項(電動機M的溫度、流過排氣泵P內的氣體的流量)而正確地檢測生成物的堆積量，在上述正常檢查模式的事后處理中，在排氣泵P內使規定的氣體種類、氣體流量流過的基礎之上，在讀入電動機M的電流值的階段，測量該電動機M的溫度，基于測量到的電動機溫度，預測電動機電流到達值。而且，將該預測到的電動機電流到達值作為上述(2 — 2)的電動機電流當前值被采用。作為預想電動機電流到達值的方法，例如，如圖16 (a)所示，也可以通過進行在排氣泵P內流過規定的氣體種類、氣體流量并測量電動機溫度和電動機電流的實驗，預先取得如圖16 (b) (c)所示的電動機溫度和電動機電流的相關數據，從該相關數據預想電動機電流到達值。另外，在正常檢查模式下，需要流過某種程度的氣體流量。理由是，當氣體流量小吋，電動機電流值的變化量就小，難以進行生成物的檢測。因而，為了在正常檢查模式下易檢測生成物，需要預定適當的氣體種類和流量。當用圖14和圖15的例子進行說明時，上述“電動機電流到達值”，是指如下所述的預想的電動機電流值，即，在時刻t2降低到Cl度或C3度的電動機M的溫度通過處理的恢復 重啟而上升到C2度或C4度時被推測為到達的電流值。上述“電動機電流到達值”能夠通過計算來預想。根據圖15的曲線A、B，如果流過排氣泵P的氣體種類和氣體流量相同，則電動機M的溫度差(C4 一 C3)導致的電動機電流值之差如上所述那樣最大為10%。因此，例如，如果在電動機M的溫度為C3度時預測上升到C4度時的電動機電流值(電動機電流到達值)，則對C3度時的電動機電流值加上該10%即可。另外，該10%的這種相加量根據流過排氣泵P的氣體的種類、流量能適當變更。而且，如上所述，通過電動機M的溫度為C3度時預想的電動機電流到達值(電動機M的溫度上升到C4度時的電動機電流值)在上述事后處理中作為電動機M的溫度變為C4度時的電動機電流當前值被采用，即使在電動機M的溫度為C3度時進行事后處理的情況下，也能夠精度良好地檢測電動機M的溫度變為C4度時的泵內堆積物的堆積量。
關于電動機M的溫度的測量,考慮利用附屬于該電動機M的未圖不的溫度傳感器、后加的溫度傳感器的方法。上述電動機電流到達值的預測也可以通過上述初始處理來實施。在這種情況下，在該初始處理中，在排氣泵P使規定的氣體種類、氣體流量流過的基礎上，在讀入電動機M的電流值的階段，測量該電動機M的溫度，基于測量到的電動機溫度，預測電動機電流到達值。而且，將預測的電動機電流到達值作為上述(I 一 2)的電動機電流初始值被采用并將其存儲。在以上的說明中，如圖13所示，以具備葉片部2和螺旋槽部5的所謂的復合翼型的排氣泵為例，對檢測該排氣泵的氣體流路內堆積的生成物時的結構進行了說明，但在其以外的其它排氣泵中，例如，在不具有圖13的螺旋槽部5的所謂的全翼型的排氣泵中檢測其氣體流路內堆積的生成物的情況下，本發明也能適用。符號說明 P 排氣泵
M 電動機 R 旋轉體
1圓筒部
2葉片部
3轉子軸
4排氣泵的吸氣ロ
5螺旋槽部
6排氣泵的排氣ロ
7溫度檢測單元 50泵控制裝置 51微型計算機部 52電動機驅動器 53通信單元
54 顯示單元 55輸入操作単元。
權利要求
1.一種排氣泵的堆積物檢測裝置，其排氣泵通過旋轉體的旋轉動作進行對氣體的排氣，其特征在于， 上述堆積物檢測裝置具有執行初始處理的功能；以及執行上述初始處理之后的事后處理的功能， 作為上述初始處理，指的是對上述旋轉體進行旋轉驅動的電動機的電流值進行讀入處理和基于該讀入的電動機電流值求出電動機電流初始值并進行存儲處理， 作為上述初始處理之后的上述事后處理，指的是對上述電動機的電流值進行讀入處理、基于該讀入的電動機電流值求出電動機電流當前值的處理、以及求出上述電動機電流當前值相對于上述電動機電流初始值的變化量的處理， 上述堆積物檢測裝置基于該變化量來檢測泵內堆積物。
2.根據權利要求I所述的堆積物檢測裝置，其特征在于， 上述權利要求I中的事后處理還包含基于同權利要求I中的變化量進行警告設定的處理。
3.根據權利要求2所述的排氣泵的堆積物檢測裝置，其特征在于， 上述權利要求2中的警告設定是根據同權利要求2中的變化量，等級式地設定警告級別的警告設定。
4.根據權利要求I所述的排氣泵的堆積物檢測裝置，其特征在于， 在上述權利要求I中的事后處理中,在泵內流過規定的氣體種類、氣體流量的基礎上，在讀入上述電動機的電流值的階段，測量該電動機的溫度，基于測量到的電動機溫度，預測電動機電流到達值，采用預測到的電動機電流到達值作為上述電動機電流當前值。
5.根據權利要求I所述的排氣泵的堆積物檢測裝置，其特征在于， 在上述權利要求I中的初始處理中,在泵內流過規定的氣體種類、氣體流量的基礎上，在讀入上述電動機的電流值的階段，測量該電動機的溫度，基于測量到的電動機溫度，預測電動機電流到達值，采用預測到的電動機電流到達值作為上述電動機電流初始值并進行存儲。
6.一種排氣泵的堆積物檢測裝置，其排氣泵通過旋轉體的旋轉動作進行對氣體的排氣，其特征在于， 上述堆積物檢測裝置具有執行初始處理的功能；以及執行上述初始處理之后的事后處理的功能， 作為上述初始處理，指的是對上述旋轉體的溫度進行讀入處理和基于該讀入的旋轉體溫度求出旋轉體溫度初始值并進行存儲處理， 作為上述初始處理之后的上述事后處理，指的是對上述旋轉體的溫度進行讀入處理、基于該讀入的旋轉體溫度求出旋轉體溫度當前值的處理、以及求出上述旋轉體溫度當前值相對于上述旋轉體溫度初始值的變化量的處理， 上述堆積物檢測裝置基于該變化量來檢測泵內堆積物。
7.根據權利要求6所述的排氣泵的堆積物檢測裝置，其特征在于， 上述權利要求6中的事后處理還包含基于同權利要求6中的變化量進行警告設定的處理。
8.根據權利要求7所述的排氣泵的堆積物檢測裝置，其特征在于，上述權利要求7中的警告設定是根據同權利要求7中的變化量，等級式地設定警告級別的警告設定。
9.一種排氣泵的堆積物檢測裝置，其排氣泵通過旋轉體的旋轉動作進行對氣體的排氣，其特征在于， 上述堆積物檢測裝置具有執行初始處理的功能；以及執行上述初始處理之后的事后處理的功能， 作為上述初始處理，指的是對上述旋轉體進行旋轉驅動的電動機的電流值進行讀入處理、基于讀入的電動機電流值求出電動機電流初始值并進行存儲處理、對上述旋轉體的溫度進行讀入處理、以及基于讀入的旋轉體溫度求出旋轉體溫度初始值并進行存儲處理， 作為上述初始處理之后的上述事后處理，指的是對上述電動機的電流值進行讀入處理、基于該讀入的電動機電流值求出電動機電流當前值的處理、求出上述電動機電流當前值相對于上述電動機電流初始值的變化量的處理、對上述旋轉體的溫度進行讀入處理、基于該讀入的旋轉體溫度求出旋轉體溫度當前值的處理、以及求出上述旋轉體溫度當前值相對于上述旋轉體溫度初始值的變化量的處理， 上述堆積物檢測裝置基于上述兩個變化量來檢測泵內堆積物。
10.根據權利要求9所述的排氣泵的堆積物檢測裝置，其特征在于， 上述權利要求9中的事后處理還包含基于同權利要求9中的兩個變化量進行警告設定的處理。
11.根據權利要求10所述的排氣泵的堆積物檢測裝置，其特征在于， 上述權利要求10中的警告設定是根據同權利要求10中的兩個變化量，等級式地設定警告級別的警告設定。
12.根據權利要求11所述的排氣泵的堆積物檢測裝置，其特征在于， 上述權利要求11中的警告設定為如下的兩種警告設定，即 在上述電動機電流當前值相對于上述電動機電流初始值的變化量為電流關系的最高·警告設定閾值以上的情況下，或者，在上述旋轉體溫度當前值相對于上述旋轉體溫度初始值的變化量為溫度關系的最高·警告設定閾值以上的情況下，進行與各自的閾值對應的警告設定； 在上述電動機電流當前值相對于上述電動機電流初始值的變化量為電流關系的初始·警告設定閾值以上、且上述旋轉體溫度當前值相對于上述旋轉體溫度初始值的變化量為溫度關系的初始·警告設定閾值以上的情況下，進行與電流關系或溫度關系的初始·警告設定閾值對應的警告設定。
13.根據權利要求9所述的排氣泵的堆積物檢測裝置，其特征在于， 在上述權利要求9中的事后處理中，在泵內流過規定的氣體種類、氣體流量的基礎上，在讀入上述電動機的電流值的階段，測量該電動機的溫度，基于測量到的電動機溫度，預測電動機電流到達值，采用預測到的電動機電流到達值作為上述電動機電流當前值。
14.根據權利要求9所述的排氣泵的堆積物檢測裝置，其特征在于， 在上述權利要求9中的初始處理中，在泵內流過規定的氣體種類、氣體流量的基礎上，在讀入上述電動機的電流值的階段，測量該電動機的溫度，基于測量到的電動機溫度，預測電動機電流到達值，采用預測到的電動機電流到達值作為上述電動機電流當前值并進行存儲。
15.—種排氣泵,其特征在于， 具備上述權利要求I 14中的任一項所述的堆積物檢測裝置。
全文摘要
本發明提供一種堆積物檢測裝置和具備該裝置的排氣泵，其不管處理中使用的氣體的種類、流量如何，而在什么樣的處理中都能夠更正確地檢測該處理中使用的排氣泵內的堆積物(泵內堆積物)，且進行警告。排氣泵(P)的泵控制裝置(50)包含檢測泵內堆積物的堆積物檢測裝置，堆積物檢測裝置具有執行初始處理的功能以及執行上述初始處理之后的事后處理的功能，作為上述初始處理，指的是對排氣泵的旋轉體進行旋轉驅動的電動機的電流值進行讀入處理和基于讀入的電動機電流值求出電動機電流初始值并進行存儲處理，作為上述初始處理之后的事后處理，指的是對上述電動機的電流值進行讀入處理、基于讀入的電動機電流值求出電動機電流當前值的處理、以及求出電動機電流當前值相對于電動機電流初始值的變化量的處理，堆積物檢測裝置基于該變化量來檢測泵內堆積物。
文檔編號F04D27/00GK102812254SQ20118001682
公開日2012年12月5日 申請日期2011年4月27日 優先權日2010年5月21日
發明者榎本良弘 申請人:埃地沃茲日本有限公司