專利名稱：一種旋渦式真空泵的制作方法
技術領域：
本實用新型涉及真空技術領域，特別涉及一種旋渦式真空泵。
背景技術：
近年來，人們己研制了多種類型的干泵，廣泛應用于半導體工業、分析儀器和電子工業 等真空應用的各個領域。現有的直排大氣干泵根據機械結構形式的不同，可以大致把干式真 空泵分為羅茨式、羅茨+爪式、螺桿式、渦旋式等。羅茨式以及羅茨+爪式組合式結構使得 氣體通路長而復雜，導致冷凝物的堆積和被化學氣體腐蝕的可能性大大增加。由于都是多級 設計，級與級之間又多采用密封，使得零部件較多，泄漏點較多，從而使得維修工作比較麻 煩。而且羅茨+爪式干泵外形尺寸較大，運轉噪聲也較大。螺桿式和渦旋式真空泵轉子形狀特 殊，帶來加工、裝配、定位要求精度高，且加工必須用專機，廢品率高，不利于批量生產， 成本較高，人們一直在尋求能直排大氣的干式真空泵。
實用新型內容
為了解決以上裝置中存在的不足，本實用新型提供一種旋渦式真空泵，它采用旋渦加速 的原理，可以單獨使用，也可以作為干式真空泵機組中的前級泵使用。
本實用新型的技術方案是這樣實現的 一種旋渦式真空泵，包括底座、電機、轉子和定
子，轉子為多級轉子，多級轉子由多層單級轉子形成，單級轉子由三層圓盤疊加形成，轉子
外側有凸臺、進氣道和排氣道；定子為多級定子，每一級定子內側設有徑向葉片，每一級轉 子與對應的一級定子組成一級抽氣壓縮單元；相鄰的兩個抽氣壓縮單元之間設有排氣道。凸
臺位于單級轉子的第二層圓盤氣體壓縮終止處，凸臺作》氣流截止閥。進氣道位于轉子圓周 外側，是由單級轉子的第一層圓盤和第二層圓盤之間凹下去一部分自然形成的。排氣道位于 轉子圓周外側，由單級轉子的第二層圓盤和第三層圓盤之間凹下去一部分自然形成的，排氣 道作為上一級抽氣壓縮單元的排氣口和下一級抽氣壓縮單元的進氣口，在一個抽氣壓縮單元 里，當氣流到達截止閥時就會沿著排氣道進入到下一個抽氣壓縮單元，直至最后排出。徑向 葉片成放射狀，徑向葉片高度與定子高度一致，徑向葉片個數至少為30個，徑向葉片橫截面 形狀為矩形或弓形，弓形的開口方向與轉子旋轉方向相反。
本實用新型的有益效果是本實用新型設計一種旋渦式真空泵，它采用旋渦加速的原理， 可以單獨使用，也可以作為干式真空泵機組中的前級泵使用。在相同體積的直排大氣的干式 真空泵中，它能達到更低的極限壓力；而在相同極限壓力的直排大氣干式真空泵中，該泵具有更小的體積、更輕的質量。該泵氣體通路短，氣體可以快速排出，減少了冷凝物和微小顆 粒堆積的可能。結構簡單，易于加工，維修簡單，同時該泵內運動件與泵腔無摩擦，故幾乎 無磨損，所以該泵振動小，噪聲低。
圖1是本實用新型具有單級轉子的結構示意圖2是單級轉子結構示意圖3是圖2的俯視圖4是本實用新型一種實施例的定子結構示意圖； 圖5是本實用新型一種實施例的轉子結構示意圖； 圖6是圖5的俯視圖7是本實用新型具有多級轉子的結構示意圖中1壓蓋，2轉子，3定子，4電機軸，5上軸承，6電機定子，7電機轉子，8下 軸承，9底座，10底板，11進氣道，12凸臺，13排氣道，14徑向葉片。
具體實施方式
如圖1、 2、 3所示，為本實用新型具有單級轉子的結構示意圖及單級轉子結構示意圖， 包含有底座9，與底座9相連的電機轉子7，與電機軸4相連的轉子2，電機軸4上中心設有 吸油孔，吸油孔通入底座下部的潤滑油池內，電機軸4上設有出油處，出油處由多個出油孔 構成，出油孔位于上軸承5、下軸承8附近，為上軸承5、下軸承8提供潤滑油。轉子2為 單級轉子，單級轉子由三層圓盤組成一體，第一層圓盤與第三層圓盤直徑相似，與單級轉子 匹配的定子3為單級定子，單級轉子和單級定子構成一級抽氣壓縮單元，單級轉子外側有與 定子3相匹配的凸臺12，定子3包圍在轉子2的外圓周，定子3內側設有42個徑向葉片14， 徑向葉片14成放射狀，徑向葉片14橫截面形狀為矩形，轉子上方設有與定子3相連的壓蓋 1，壓蓋l上平面設有吸氣口，轉子2轉動，氣體從吸氣口進入，隨后進入進氣道ll，氣體 經過旋轉的徑向葉片14時，可以加速氣流的運動，當氣體到達截止閥時就會沿著排氣道13 排出，排氣道13與排氣口相連，排氣口位于底座9上，在此過程中氣流以旋渦形式流動。
本實用新型的另一種實施例，如圖5、 6、 7所示，轉子2是五級，配合以五級定子3構 成抽氣壓縮單元，轉子2轉動，氣體從吸氣口吸入，氣體經過旋轉的徑向葉片14時，可以加 速氣流的運動，.相鄰兩級抽氣壓縮單元之間設有排氣道13，氣體以旋渦形式通過排氣道13 從上一級抽氣壓縮單元進入下一級抽氣壓縮單元，經過抽氣壓縮單元的多次壓縮從排氣口排 向大氣。
權利要求1.一種旋渦式真空泵，包括底座、電機、轉子和定子，其特征在于所述的轉子為多級轉子，多級轉子由多層單級轉子形成，單級轉子由三層圓盤疊加形成，轉子外側有凸臺、進氣道和排氣道；所述的定子為多級定子，每一級定子內側設有徑向葉片，每一級轉子與對應的一級定子組成一級抽氣壓縮單元；相鄰的兩個壓縮單元之間有排氣道。
2. 根據權利要求1所述的一種旋渦式真空泵，其特征在于所述的凸臺位于單級轉子的第二層 圓盤上。
3. 根據權利要求1所述的一種旋渦式真空泵，其特征在于所述的進氣道位于轉子圓周外側， 是由單級轉子的第一層圓盤和第二層圓盤之間凹下去一部分自然形成的。
4. 根據權利要求1所述的一種旋渦式真空泵，其特征在于所述的排氣道位于轉子圓周外側， 是由單級轉子的第二層圓盤和第三層圓盤之間凹下去一部分自然形成的。
5. 根據權利要求1所述的一種旋渦式真空泵，其特征在于所述的徑向葉片成放射狀，徑向葉 片高度與定子高度一致，徑向葉片個數至少為30個，徑向葉片橫截面形狀為矩形或弓形， 弓形的開口方向與轉子旋轉方向相反。
專利摘要一種旋渦式真空泵，涉及真空技術領域，包括底座、電機、轉子和定子，轉子為多級轉子，多級轉子由多層單級轉子組成，單級轉子由三層圓盤疊加形成，轉子外側有凸臺、進氣道和排氣道；定子為多級定子，每一級定子內側設有徑向葉片，每一級轉子與對應的一級定子組成一級抽氣壓縮單元；相鄰的兩個抽氣壓縮單元之間設有通氣道。該泵采用旋渦加速的原理，可以單獨使用，也可以作為干式真空泵機組中的前級泵使用，泵結構簡單，零部件少，易于加工，維修簡單，同時該泵內運動件與泵腔無摩擦，故幾乎無磨損，所以該泵振動小，噪聲低。
文檔編號F04D17/00GK201292958SQ20082021878
公開日2009年8月19日 申請日期2008年10月31日 優先權日2008年10月31日
發明者坤 劉, 巴德純, 常學森, 玉 肖 申請人:東北大學;成都南光機器有限公司