專利名稱：一種真空油擴散泵的制作方法
技術領域：
本實用新型涉及一種真空油擴散泵，尤其是涉及一種節能型的真空油擴散泵。
背景技術：
在現有技術中，在真空燒結爐等設備中使用油擴散泵。擴散泵大多采用電熱絲的加熱盤直接加熱，由于環境溫度的影響，
冷卻水溫度的變化，會出現加熱功率過大而影響擴散泵的抽速。
在使用過程中解決這個問tt本依賴使用者的經驗，調節加熱器和
泵體之間的距離來控制加熱效果。在環境溫度比較高的情況下，還要采
用電扇外部冷卻泵體來改善擴散泵的抽氣效果。采用以上手段，即麻煩，
又浪費電能。
實用新型內容
本實用新型的目的在于提供一種真空油擴散泵，其設有測溫裝置，可以使用熱電阻和溫控儀來實現測量擴散泵內擴散泵油的溫度。
本實用新型的進一步的目的在于提供一種真空油擴散泵，其可控制擴散泵加熱電源功率，能夠實現隨著擴散泵油溫度的變化而增大或者減小加熱器的加熱功率。
為此，本實用新型提供了一種真空油擴散泵，包括被抽氣體的進氣
口、對油蒸汽進行加熱的加熱器、使油蒸汽#:加熱器加熱后上升的泵芯、以及被抽氣體與被加熱的油蒸汽的混合氣體的出氣口，其特征在于，還包括一測溫及其控制系統。
優選地，所述測溫及其控制系統包括測溫熱電阻，該測溫熱電阻由陶瓷護管套裝，并由耐溫材料封閉密封。優選地，所述測溫及其控制系統包括溫控儀，該溫控儀與可控硅模塊、擴散泵加熱電熱絲、和測溫熱電阻電連接，可控硅模塊與擴散泵加熱電熱絲電連接，擴散泵加熱電熱絲與測溫熱電阻電連接。
根據本實用新型，可對擴散泵油溫進行測量，從而利用溫控儀及其控制電路來改變加熱功率，控制擴散泵油溫，使擴散泵達到最佳的工作狀態，更起到節能的目的。另外，可對加熱盤采取保溫措施，以降低加熱盤的實際使用功率。
圖l是根據本實用新型的擴散泵的結構示意圖。
圖2是根據本實用新型的擴散泵的控制電路示意圖。
具體實施方式
根據本實用新型的擴散泵如圖l所示，包括進氣口 1、泵芯2、出氣口 3、加熱器6、和一測溫接口。其中，油蒸汽4被加熱器6加熱后在泵芯2內上升，從若干泵芯2的出口逸出后與從進氣口 l進入的被抽氣體5混合，最后通過出氣口3泵出。
特別是，可將測溫熱電阻7用陶瓷護管套好裝入測溫接口，并使用耐溫材料封閉密封線路，以減少環境對測溫電阻的影響。
根據本實用新型的控制電路圖如圖2所示。其中，附圖標記21表示三相380V進線；附圖標記22表示空氣開關；附圖標記23表示接觸器；附圖標記24表示可控硅模塊；附圖標記25表示溫控儀；附圖標記26表示擴散泵加熱電熱絲；附圖標記27表示測溫熱電阻；附圖標記28表示指示燈。
本實用新型的工作原理如下
由溫控儀25設定好擴散泵油的工作溫度(冬天和夏天根據水溫不同可以適當調節)，在擴散泵開機時，接觸器23接受開機指令p及合，擴散泵油溫在常溫，可控硅模塊24接受溫控儀25的控制電流，使通過可控硅模塊24的電流最大，擴散泵加熱電熱絲26開始大功率地加熱擴散泵油，測溫熱電阻27及時地將擴散泵油溫反饋給溫控儀25。
當擴散泵油溫達到工作溫度時，溫控4義25接收到測溫熱電阻27的
反饋，從而使可控硅模塊24的控制電流發生變化，使流過可控硅模塊24
的電流減小，實現擴散泵加熱電熱絲26的功率減小，實現保溫。
在擴散泵油溫發生變化的時候，測溫熱電阻27實時地將當前擴散泵
油溫反饋給溫控儀25,而溫控儀25以控制電流增加或減小的方式改變
通過可控珪模塊24的電流，從而實現擴散泵加熱電熱絲26加熱功率的
改變，實現擴散泵工作油溫的動態平衡。
本實用新型利用控制電路閉環，實現了擴散泵加熱電源功率和擴散
泵油溫的控制。
在擴散泵油溫達到工作值后，實現保溫狀態下的較小加熱功率，從 而可以合理地減少電能消耗。
由于本實用新型可以實現擴散泵油的工作油溫可控，從而不需要外 部另加冷卻風扇。
由于本實用新型對擴散泵油溫和加熱功率進行閉環控制，在擴散泵 加熱電熱絲進行維修后(電阻變小)，也可以維持加熱和保溫功率不變。
本實用新型從以上三個方面都可達到節能目的。
另外，本實用新型可以減少因更擴散泵油使設備產生故障而停機的 時間。
權利要求1. 一種真空油擴散泵，包括被抽氣體的進氣口、對油蒸汽進行加熱的加熱器、使油蒸汽被加熱器加熱后上升的泵芯、以及被抽氣體與被加熱的油蒸汽的混合氣體的出氣口，其特征在于，還包括測溫及其控制系統。
2. 如權利要求l所述的真空油擴散泵，其特征在于，所述測溫及其 控制系統包括測溫熱電阻，該測溫熱電阻由陶資護管套裝，并由耐溫材 料封閉密封。
3. 如權利要求l所述的真空油擴散泵，其特征在于，所述測溫及其 控制系統包括溫控儀，該溫控儀與可控硅模塊、擴散泵加熱電熱絲、和 測溫熱電阻電連接，可控硅模塊與擴散泵加熱電熱絲電連接，擴散泵加 熱電熱絲與測溫熱電阻電連接。
專利摘要一種真空油擴散泵，包括被抽氣體的進氣口、對油蒸汽進行加熱的加熱器、使油蒸汽被加熱器加熱后上升的泵芯、以及被抽氣體與被加熱的油蒸汽的混合氣體的出氣口，其特征在于，還包括一測溫及其控制系統。本實用新型可對擴散泵油溫進行測量，從而利用溫控儀及其控制電路來改變加熱功率，控制擴散泵油溫，使擴散泵達到最佳的工作狀態，更起到節能的目的。另外，可對加熱盤采取保溫措施，以降低加熱盤的實際使用功率。
文檔編號F04F9/00GK201265565SQ20082012262
公開日2009年7月1日 申請日期2008年9月19日 優先權日2008年9月19日
發明者蔚 張, 張杭海, 樊旗根 申請人:寧波科寧達工業有限公司;北京中科三環高技術股份有限公司