專利名稱：：一種新型擴散泵節能加熱器的制作方法
技術領域：
：本實用新型涉及電氣控制領域，尤其涉及可有效控制擴散泵的恒定工作點的加熱泵。
背景技術：
：擴散泵作為高真空獲得的主要設備，應用極為廣泛，幾乎所有的真空系統都有安裝。不僅設備價格低，而且連接方便可靠。擴散泵是通過有的加熱形成高速氣流，在一定位置將高溫高速氣流冷卻，經過多次的反復循環，獲得高真空的，隨著油量的不一樣每次循環的時間也不一樣，所以我們恒定功率加熱總是面臨加'熱過大或過小，環境溫度改變加熱功率不能相應變化擴散泵在常溫下，蒸汽壓是很低的約10-4—10—6,在該溫度下，擴散泵的放氣"量很低的，不易污染真空系統。但是當有被加熱到一定溫度時，油分子能量大大增加，如果真空度比較高(O.l—l.OPa)，則可形成高速的油蒸汽流，油蒸汽的密度或汽壓會大大增加。在雜質氣體出現時，由于油的分子截面比雜質其他分子的截面大得多，油的分子俘獲大量的雜質.氣體分子，易污染真空系統。該具體過程具體如下當高速的蒸汽流在前級(一級噴口附近，即被抽系統接口處)，遇到雜質物質時，會與雜質發生分子碰撞。雜質氣體會被油俘獲，在冷卻的作用下，加上油分子本身是大分子，在噴口處會形成高速的向下汽流，在下一級的噴口處與下級的高速油蒸汽流相遇，與上描述同理，在該噴口處，油蒸汽同樣夢獲來自上一級的雜質氣體，以此類推，后級的雜質氣體濃度會越來越高，實現了氣體定向運動。在擴散泵的抽氣口(最后一級)，雜質氣體將被抽走，冷卻的油重新回到底部進行加熱。重復以上的過程，被抽系統的真空度就會不斷地挺高。另外，由于氣體分子的.運動是永不停止的，遵循高濃度向低濃度相互擴散、交換的原理，最終這種交換達到平衡，也就是所謂的極限。當高溫高速的油分子在俘獲雜質氣體后，在冷卻作用下速度降低，運動方向發生改變改變，成為低速低濃度的蒸汽，這樣避免了油分子.向被抽系統的擴散，又把雜質氣體推向下一級。另外，目前普遍使用的是普通的電爐對擴散泵進行加熱，沒有良好的保.溫措施，熱量容易擴散，熱量不能充分利用，耗能大。而且無法控制加熱體的溫度。任何自然溫度下，電爐都保持同樣的溫度，易導致擴散泵發生爆裂。綜上，現有的擴散泵的工作點經常偏離最佳點，當溫度過低時，達不到高真空；在溫度過高時，會因擴散泵油的過度蒸發而污染真空系統。
實用新型內容本實用新型實施例提供了一種真空擴散泵節能加熱器，能有效控制擴散泵在最佳狀態下工作，并且有利于節省電力。本，宍用新型實施例提供的真空擴散泵節能加熱器，包括數字控制器、加熱體，所述數字控制器與所述加熱體相連接，控制所述加熱體的溫度，所述加熱體的絕緣密封層采用陶資纖維保溫材料制成，所述加熱體的發熱源為遠紅外發熱管。可選地，所述數字控制器與所述加熱體之間通過傳感器連接。可選地，所述,發熱體采用的材料為碳纖維材料。可選地，所述發熱體的工作峰值波長為2.5jim左右。由th看見，應用本實用新型實施例的技術方案，應用本真空擴散泵節能加熱器，數字控制器與加熱體相連接，控制加熱體的溫度，調節加熱體的溫度，使其與實際需要的溫度相一致，即使擴散泵加熱可以控制在設定的最優'工作點-上，從而控制加熱器的功率，使得擴散泵在最佳狀態下工作，避免擴散泵在過冷或過熱的狀態下工作，保證擴散泵隨時處于最佳的、最平衡的工作狀態，保證真空泵的工作狀態不受環境溫度、工作場所等外界條件的限制，使得真玄系統具有穩定的真空性能；同時由于本真空擴散泵節'能加熱器能夠自動控制加熱體的溫度，避免溫度過高，導致擴,散泵爆裂現象的發生，有利于保護擴散泵，延長擴散泵的使用壽命。同時，也有利于最大限度的節省電力。另外，本加熱體的設置有保溫密封層，并且該保溫密封層采用當今世界最先進的陶瓷纖維材料，其隔熱性能優異，有利于減少熱損耗，最大限度的節省電力，熱容量低，蓄熱少，使泵升溫迅速。此處所說明的附圖用來提供對本實用新型的進一步理解，構成本申請的一部分，并不構成對本實用新型的不當限定，在附圖中圖1為本實甩新型實施例'l提供的新型真空擴散泵節能加熱器的結構示意圖《2為本實用新型實施例l提供的加熱體的上蓋內部結構示意圖；圖3為本實用新型實施例14是供的加熱體的上蓋內部結構示意圖4為本實用新型實施例2提供的新型真空擴散泵節能加熱器的結構示意圖。具體實施方式下面將結合附圖以及具體實施例來詳細說明本實用新型，在此本實用新型的示意性實施例以及說明用來解釋本實用新型，但并不作為對本實用新型的限定。誕施例1:根據現有技術的分析，當油溫過高，冷卻會較慢，油分子的無序運動加'劇，導，致氣體擴散，向系統擴散增加，真空度下降，不能反射回去；當油溫過低，油蒸汽的速度和汽壓低，交換率降低，抽氣口的抽速將下降，阻止油蒸汽向被抽系統擴散的較好的方法是快速冷卻噴出的油蒸汽。可見，對于擴散泵，過冷或過熱都會一定程度上破壞擴散泵的工作狀態'，如何使;由既要達到高的溫度或者高的蒸汽壓，又能將向系統擴散的污染降到最低(使得油溫最低)，還能使得系統能夠逸速冷卻，從而使得循環達到最佳。這意味著需要找到一個最佳溫度點，也就.是最佳油溫。從而使得擴散泵在最佳狀態下工作，避免擴散泵在過冷或過熱的狀態T工作，同時也有利于最大.限度的節省電力。為了達到上面的目的，本實施例提供了一種新型的真空擴散泵節能加熱ll，如圖1所示，該真空擴散泵節能加熱器包括數字控制器102、加熱體101,所述數字控制器102與所述加熱體101相連接，控制所述加熱體101的溫度，所述加熱體101的絕緣密封層1012(參見圖3、4中的1012)采用陶資纖維保溫材料制成，所述加熱體的發熱源(參見圖2中的1011)為遠紅外發熱管。另外，選擇石炭'纖維作為發熱體，其熱效率為普通電熱絲的1.3倍，能夠進一步有利于最大限度的節省電力。另'外，還可以將發熱體的工作峰值設計在2.5jam左右(在該工作波長下最有利于擴散泵油的直接吸收)。實驗證明，應用本實施例的真空擴散泵節能加熱器，每小時能節省的耗電量在'180W—300W，按照一萬臺計算每天工作8小時，一年節電數量將是非常可觀的。為了說明本實施例的真空擴散泵節能加熱器德性能，發明人作了測試實驗，實驗數據如表一、二所示表一節電性能對照表<table>tableseeoriginaldocumentpage7</column></row><table>綜上可見，應用本實施例的真空擴散泵節能'加熱器，不僅能夠保證擴散泵始終處于最優的工作狀態，還有利于節省電力，并且能夠大大減少擴散泵爆裂的現象。實施例2:圖4為本實施例提供的另一種新型真空擴散泵節能加熱器，該新型真空擴散泵節能加熱器與實施例'1所提供的真空擴散泵節能加熱器，所不同之處在于i斤述數字控制器102與所述加熱體101之間通過傳感器103連接，所漆傳感器103探測所述加熱體.01的溫度，并將所述溫度傳遞至所述數字控制器102，供其依據所述溫度控制所述加熱體101的溫度。以上對本實用新型實施例所提供的真空擴散泵節能加熱器進行了詳細介紹，本文中應用了具體個例對本實用新型實施例的原理以及實施方式進行了闡述，以上實施例的說明只適用于幫助理解本實用新型實施例的原理；同時，對于本領域的一幾技術人員，,據本實用新型實施例，在具體實施方式以及應用范圍上均會有改變之處，綜上所述，本說明書內容不應理解為對本家用.新型的限制。權利要求1、一種真空擴散泵節能加熱器，其特征是，包括數字控制器、加熱體，所述數字控制器與所述加熱體相連接，控制所述加熱體的溫度，所述加熱體的絕緣密封層采用陶瓷纖維保溫材料制成，所述加熱體的發熱源為遠紅外發熱管。2、根據權利要求1所述的真空擴散泵節能加熱器，其特征是，所述數字控制器與所述加熱體之間通過傳感器連接。3、'根據權利要求1或2所述的真空擴散泵節能加熱器，'其特征是，所述發熱體采用的材料為碳纖維材料。4、根據權利要求3所述的真空擴散泵節能加熱器，其特征是，所述發熱體的工作峰值波長為2.5jam左右。專利摘要本實用新型涉及電氣控制領域，公開了一種新型擴散泵節能加熱器，包括數字控制器、加熱體，所述數字控制器與所述加熱體相連接，控制所述加熱體的溫度，所述加熱體的絕緣密封層采用陶瓷纖維保溫材料制成，所述加熱體的發熱源為遠紅外發熱管。應用該新型擴散泵節能加熱器能有效控制擴散泵在最佳狀態下工作，并且有利于節省電力。文檔編號F04F9/00GK201228675SQ200820048860公開日2009年4月29日申請日期2008年6月6日優先權日2008年6月6日發明者長麥申請人:長麥