專利名稱:干式真空泵的制作方法
技術領域:
本發明涉及真空技術領域,特別涉及一種干式真空泵。
背景技術:
近年來,人們已研制了多種類型的干泵,廣泛應用于半導體工業、分析儀器和電子工業 等真空應用的各個領域。現有的干泵根據機械結構形式的不同,可以大致把干式真空泵分為 羅茨式、羅茨+爪式、螺桿式、渦旋式等。羅茨式以及羅茨+爪式組合式結構使得氣體通路長 而復雜,導致冷凝物的堆積和被化學氣體腐蝕的可能性大大增加。由于都是多級設計,級與 級之間又多采用密封,使得零部件較多,泄漏點較多,從而使得維修工作比較麻煩。而且羅 茨+爪式干泵外形尺寸較大,運轉噪聲也較大。螺桿式和渦旋式真空泵轉子形狀特殊,帶來加 工、裝配、定位要求精度高,且加工必須用專機,廢品率高,不利于批量生產,成本較高, 人們一直在尋求能直排大氣的干式真空泵。
發明內容
為了解決以上裝置的不足,本發明提供一種干式真空泵。
本發明采用的技術方案是 一種干式真空泵,包括底座、電機、轉子和定子,轉子由至 少一級旋渦級轉子組成,每一級旋渦級轉子的外側沿圓周方向設有環形凹槽,在凹槽里均勻 分布有與凹槽等高的葉片;定子的圓周內側設有旋渦槽,旋渦槽的級數與轉子旋渦級的級數 一致,旋渦槽內有一段升起的凸臺,每一級旋渦槽與相對應的一級旋渦級轉子構成一級抽氣 壓縮單元;在相鄰的兩個抽氣壓縮單元之間設有排氣道,排氣道位于定子圓周內側相鄰兩個 旋渦槽之間。
凹槽截面形狀為近半圓形。葉片個數至少為30個,葉片橫截面形狀為矩形或者弓形,其 中弓形的開口方向與轉子旋轉方向一致。每一級旋渦槽的截面形狀為近半圓形。凸臺位于每 一級抽氣壓縮單元的氣體壓縮終止處,截面形狀為近半圓形。排氣道是兩個旋渦槽之間凹下 去一部分自然形成,排氣道作為上一級抽氣壓縮單元的排氣口和下一級抽氣壓縮單元的進氣m。
本發明的有益效果是本發明設計一種新型的干式真空泵,它采用旋渦加速的原理,可 以單獨使用,也可以作為干式真空泵機組中的前級泵使用。在相同體積的直排大氣的干式真 空泵中,它能達到更低的極限壓力;而在相同極限壓力的直排大氣干式真空泵中,該泵具有 更小的體積、更輕的質量。同時該泵氣體通路短,氣體可以快速排出,減少了冷凝物和微小 顆粒堆積的可能。該泵結構簡單,零部件少,易于加工,維修簡單,同時該泵內運動件與泵
腔無摩擦,故幾乎無磨損,所以該泵振動小,噪聲低。
圖1是本發明一種實施例的的結構示意圖; 圖2是本發明一種實施例的轉子結構示意圖; 圖3是本發明一種實施例的定子結構示意圖中1壓蓋,2定子,3轉子,4主軸,5機械密封,6上軸承,7底座,8排氣口, 9電機轉子,10電機定子,11下軸承,12油池,13進氣道,14凸臺,15排氣道,16葉 片。
具體實施例方式
結合附圖對本發明做進一步描述-
如圖l為本發明一種實施例的結構示意圖,包括底座7,與底座7相連的電機轉子9, 與主軸4相連的轉子3,主軸4中心設有吸油孔,吸油孔通入底座下部的潤滑油池12內,主 軸4上設有出油處,出油處由多個出油孔構成,出油孔位于上軸承6和下軸承11附近,為上 軸承6和下軸承11提供潤滑油,上軸承6和下軸承11采用滾動軸承,密封采用機械密封5; 轉子3由三級旋渦級轉子組成,每一級旋渦級轉子的外側沿圓周方向設有環形凹槽,凹槽截 面形狀為近半圓形,在凹槽里均勻分布有與凹槽等高的葉片16,葉片16橫截面形狀為矩形, 轉子3上方設有與定子2相連的壓蓋1,定子2的圓周內側設有三級旋渦槽,每一級旋渦槽 與相對應的一級旋渦級轉子構成一級抽氣壓縮單元,壓蓋l上平面設有吸氣口,當轉子3旋 轉時,氣體從吸氣口進入,隨后進入進氣道13,然后氣體進入一級抽氣壓縮單元,經過旋轉 的葉片16時獲得能量,加速氣流的運動,葉片16之間的氣體和旋渦槽內的氣體以旋渦的形 式沿著轉子3旋轉方向運動,直至每一級抽氣壓縮單元的壓縮終止處,相鄰兩級抽氣壓縮單 元之間設有排氣道15,氣體通過排氣道15從上一級抽氣壓縮單元進入下一級抽氣壓縮單元, 排氣道15與排氣口 8相連,經過抽氣壓縮單元的多次壓縮從排氣口 8排向大氣。
如圖2為本發明一種實施例的轉子結構示意圖,轉子3由三級旋渦級轉子組成,每一級 旋渦級轉子的外側沿圓周方向設有環形凹槽,凹槽截面形狀為近半圓形,在凹槽里均勻分布 有與凹槽等高的葉片16,葉片16橫截面形狀為矩形,轉子3與定子2共同構成抽氣壓縮單 元。
如圖3為本發明一種實施例的定子結構示意圖,定子2內側有三級旋渦槽以及與旋渦轉 子相匹配的凸臺14,定子2內側設有進氣道13和排氣道15,進氣道13與進氣口相連,排氣 道15與排氣口.8相連。
權利要求
1. 一種干式真空泵,包括底座、電機、轉子和定子,其特征在于所述的轉子由至少一級旋渦級轉子組成,每一級旋渦級轉子的外側沿圓周方向設有環形凹槽,在凹槽里均勻分布有與凹槽等高的葉片;所述定子的圓周內側設有旋渦槽,旋渦槽的級數與轉子旋渦級的級數一致,旋渦槽內有一段升起的凸臺,每一級旋渦槽與相對應的一級旋渦級轉子構成一級抽氣壓縮單元;在相鄰的兩個壓縮單元之間設有排氣道,排氣道位于定子圓周內側相鄰兩個旋渦槽之間。
2. 根據權利要求1所述的干式真空泵,其特征在于所述的凹槽截面形狀為近半圓形。
3. 根據權利要求1所述的干式真空泵,其特征在于所述的葉片個數至少為30個,葉片橫截 面形狀為矩形或者弓形,其中弓形的開口方向與轉子旋轉方向一致。
4. 根據權利要求1所述的干式真空泵,其特征在于所述的每一級旋渦槽的截面形狀為近半圓 形。
5. 根據權利要求1所述的干式真空泵,其特征在于所述的凸臺位于每一級抽氣壓縮單元氣體 壓縮終止處,截面形狀為近半圓形。
6. 根據權利要求1所述的干式真空泵,其特征在于所述的排氣道是旋渦槽之間凹下去一部分 自然形成,排氣道作為上一級抽氣壓縮單元的排氣口和下一級抽氣壓縮單元的進氣口。
全文摘要
一種干式真空泵,涉及真空技術,真空泵包括底座、電機、轉子和定子,轉子由至少一級旋渦級組成,每一級旋渦級的外側沿圓周方向設有環形凹槽,在凹槽里均勻分布有與凹槽等高的葉片;定子的圓周內側設有旋渦槽,旋渦槽的級數與轉子旋渦級的級數一致,旋渦槽內有一段升起的凸臺,每一級旋渦槽與相對應的一級旋渦級構成一級抽氣壓縮單元;在相鄰的兩個抽氣壓縮單元之間設有排氣道,排氣道位于定子圓周內側相鄰兩個旋渦槽之間。該泵能夠實現直排大氣的功能,并且結構簡單,零部件少,易于加工,維修簡單,同時該泵內運動件與泵腔無摩擦,故幾乎無磨損,所以該泵振動小,噪聲低。
文檔編號F04C25/00GK101392750SQ20081022843
公開日2009年3月25日 申請日期2008年10月31日 優先權日2008年10月31日
發明者坤 劉, 巴德純, 常學森, 玉 肖 申請人:東北大學;成都南光機器有限公司