專利名稱：真空泵的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及真空泵，并且更具體地但不排他地應(yīng)用于包括分子拖 曳泵送機(jī)構(gòu)的真空泵。
背景技術(shù)：
分子拖曳泵送機(jī)構(gòu)在以下總體原則下工作即在低壓下碰撞高速 運(yùn)動(dòng)表面的氣體分子能從該運(yùn)動(dòng)表面獲得速度分量。結(jié)果，分子趨向 于獲得與其所碰撞的表面相同的運(yùn)動(dòng)方向，這驅(qū)使分子通過(guò)泵并且在 泵排氣口 ( pump exhaust)附近產(chǎn)生相對(duì)較大的壓力。
這些泵送機(jī)構(gòu)一般包括轉(zhuǎn)子和定子，該定子具有與轉(zhuǎn)子相對(duì)的一 個(gè)或多個(gè)盤旋或螺旋的通道。分子拖曳泵送機(jī)構(gòu)的類型包括Holweck 泵送機(jī)構(gòu)，該Holweck泵送機(jī)構(gòu)包括具有不同直徑的兩個(gè)同軸汽缸， 這兩個(gè)汽缸通過(guò)位于外汽缸的內(nèi)表面或內(nèi)汽缸的外表面中任一表面上 的盤旋螺紋限定了汽缸之間的盤旋氣體路徑；分子拖曳泵送機(jī)構(gòu)的類 型還包括Siegbahn泵送機(jī)構(gòu)，該Siegbahn泵送機(jī)構(gòu)包括與盤狀定子相 對(duì)的旋轉(zhuǎn)盤，該定子限定了從定子的外周界朝向定子中心延伸的螺旋 通道。分子拖曳泵送機(jī)構(gòu)的另一個(gè)示例是Gaede機(jī)構(gòu)，氣體通過(guò)該 Gaede 4幾構(gòu)繞設(shè)置在徑向或軸向平面內(nèi)的同心通道凈皮泵送。在這種情 況下，通過(guò)通道之間的交叉點(diǎn)以及每級(jí)的相鄰入口和出口之間的緊密 間隙"剝離器(stripper)"節(jié)段將氣體逐級(jí)傳送。Siegbahn和Holweck 泵送機(jī)構(gòu)不需要交叉點(diǎn)或緊密間隙"剝離器"節(jié)段，因?yàn)樗鼈兊娜肟?和出口沿通道的長(zhǎng)度被設(shè)置。
為了制造的目的，Siegbahn泵送才幾構(gòu)可以優(yōu)選地是Holweck和 Gaede泵送才幾構(gòu)。然而，對(duì)于給定的轉(zhuǎn)子-定子間隙，Siegbahn泵送才幾 構(gòu)通常需要更多的泵送級(jí)來(lái)實(shí)現(xiàn)與Holweck泵送機(jī)構(gòu)相同水平的壓縮 和泵送速度。此外，Siegbahn泵送機(jī)構(gòu)需要在軸線方向上具有緊密間 隙，否則需要更多的泵送級(jí)(并且因而需要更大的功率消耗)來(lái)實(shí)現(xiàn) 所需水平的泵送性能。在Siegbahn泵送機(jī)構(gòu)的轉(zhuǎn)子和定子部件之間實(shí) 現(xiàn)緊密的軸向間隙可能相對(duì)困難并且/或者花費(fèi)高。例如，US 6,585,480描述了包括驅(qū)動(dòng)軸的真空泵，其具有沿軸的長(zhǎng)度安裝的Siegbahn泵送 機(jī)構(gòu)的多個(gè)轉(zhuǎn)子盤。定子盤從真空泵的定子徑向向內(nèi)延伸并且位于轉(zhuǎn) 子盤之間。包括上徑向磁性軸承和下徑向磁性軸承以及軸向磁性軸承 的相對(duì)復(fù)雜且昂貴的磁性軸承裝置被提供用于將驅(qū)動(dòng)軸支撐成不接觸 定子并且用于保持轉(zhuǎn)子和定子盤之間的所需軸向間隙。
發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明提供一種真空泵，該真空泵包括外殼、被軸承裝置支撐成 相對(duì)外殼旋轉(zhuǎn)的驅(qū)動(dòng)軸、以及泵送機(jī)構(gòu)，該泵送機(jī)構(gòu)包括安裝在外殼 上的定子部件和安裝在驅(qū)動(dòng)軸上軸向接近定子部件的轉(zhuǎn)子部件，所述 軸承裝置包括被金屬?gòu)椥灾渭趶较蚝洼S向方向支撐的軸承，該金 屬?gòu)椥灾渭ū欢鄠€(gè)撓性構(gòu)件連接的內(nèi)環(huán)部分和外環(huán)部分，這樣 在軸承的內(nèi)圏和彈性支撐件的外部之間存在固定關(guān)系從而確定泵送機(jī) 構(gòu)的轉(zhuǎn)子部件和定子部件之間的軸向間隙。
使用彈性支撐件以在軸向和徑向方向支撐驅(qū)動(dòng)軸并且確定泵送機(jī) 構(gòu)的轉(zhuǎn)子部件和定子部件之間的軸向間隙，可以顯著地降低軸向和徑 向磁性軸承的現(xiàn)有軸承裝置的費(fèi)用以及復(fù)雜性，同時(shí)能夠?qū)崿F(xiàn)對(duì)于軸 承在彈性支撐件內(nèi)的軸向位置的緊密公差控制，因而實(shí)現(xiàn)對(duì)于泵送機(jī) 構(gòu)的部件之間的軸向間隙的緊密控制。
每個(gè)撓性構(gòu)件優(yōu)選地是與內(nèi)環(huán)部分和外環(huán)部分基本同心的細(xì)長(zhǎng)弓 形構(gòu)件。在優(yōu)選實(shí)施例中，這些構(gòu)件沿周向排列對(duì)齊。因此，彈性支 撐件的撓性構(gòu)件能夠提供彈性支撐件的一體板簧，并且從而確定彈性 支撐件的徑向剛度。例如使用有限元分析，可以將彈性支撐件的徑向 撓性容易地設(shè)計(jì)為具有適于驅(qū)動(dòng)軸的振動(dòng)特性的預(yù)定撓曲特性。可以 實(shí)現(xiàn)在50-500 N/mm范圍內(nèi)的低徑向剛度從而滿足真空泵的所需轉(zhuǎn)子 動(dòng)力學(xué)特性；降低徑向剛度降低了泵的二階模態(tài)固有頻率，從而降低 了在全速泵送下振動(dòng)的傳輸并且因而降低了對(duì)于特定失衡軸的泵振動(dòng) 水平。由此考慮到，可以實(shí)現(xiàn)容許水平的傳輸不平衡振動(dòng)而不需要執(zhí) 行高速平衡，從而為每個(gè)泵提供顯著的費(fèi)用降低。
撓性構(gòu)件可以被軸向放置從而軸向地預(yù)加栽軸承。
彈性支撐件優(yōu)選地由例如回火鋼、鋁、鈦、磷青銅、鈹青銅、鋁 合金或鈦合金的金屬材料形成。在這種情況下，彈性支撐件的徑向和
5軸向剛度不隨溫度或時(shí)間而改變(即蠕變)。彈性支撐件的軸向剛度優(yōu)
選地在500至10000 N/mm的范圍內(nèi)，更優(yōu)選地在500至1000 N/mm的 范圍內(nèi)，并且最優(yōu)選地在600至800N/mm的范圍內(nèi)，這樣在泵運(yùn)轉(zhuǎn)期 間驅(qū)動(dòng)軸的軸向運(yùn)動(dòng)最小，從而能夠在泵運(yùn)轉(zhuǎn)期間基本保持泵送機(jī)構(gòu) 的部件之間的緊密軸向間隙。
至少一個(gè)彈性體阻尼構(gòu)件被優(yōu)選地安裝在彈性支撐件上用于阻尼 徑向振動(dòng)。阻尼構(gòu)件可以常規(guī)地位于在彈性支撐件的端面內(nèi)形成的環(huán) 槽內(nèi)。
泵送機(jī)構(gòu)可以是Siegbahn泵送機(jī)構(gòu)，其中轉(zhuǎn)子部件和定子部件中 的一個(gè)包括多個(gè)壁，所述壁具有朝向轉(zhuǎn)子部件和定子部件中的另一個(gè) 延伸并且限定多個(gè)螺旋通道的側(cè)面?；蛘?，泵送機(jī)構(gòu)可以是Gaede泵 送才幾構(gòu)或再生泵送機(jī)構(gòu)。
泵送機(jī)構(gòu)可以包括位于驅(qū)動(dòng)軸上的多個(gè)所述轉(zhuǎn)子部件以及安裝在
所述外殼上且位于所述轉(zhuǎn)子部件之間的多個(gè)所述定子部件。 可以在所述泵送機(jī)構(gòu)的上游提供渦輪分子泵送機(jī)構(gòu)。
現(xiàn)在，結(jié)合附圖僅通過(guò)示例的方式描述本發(fā)明的優(yōu)選特征，其中
圖l是部分真空泵的橫截面圖2是圖1的一部分的近視圖；以及
圖3是沿圖2中的線X-X截取的彈性支撐件的截面的立體圖。
具體實(shí)施例方式
首先參考圖1，真空泵10包括外殼12和驅(qū)動(dòng)軸14，該驅(qū)動(dòng)軸14 被軸承裝置支撐成相對(duì)于外殼12繞縱軸線16旋轉(zhuǎn)。馬達(dá)18位于外殼 12內(nèi)以旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)軸14。真空泵IO也至少包括泵送機(jī)構(gòu)20，在該示例 中通過(guò)Siegbahn泵送機(jī)構(gòu)來(lái)提供該泵送機(jī)構(gòu)20，不過(guò)該泵送機(jī)構(gòu)可以 包括Siegbahn泵送機(jī)構(gòu)、Gaede泵送才幾構(gòu)和再生泵送才幾構(gòu)中的一個(gè)或 多個(gè)。渦輪分子泵送機(jī)構(gòu)(未示出)可以被設(shè)置于泵送機(jī)構(gòu)20的上游。
圖1中所示的Siegbahn泵送機(jī)構(gòu)包括安裝在驅(qū)動(dòng)軸14上以隨其旋 轉(zhuǎn)的葉輪22。葉輪22包括Siegbahn泵送機(jī)構(gòu)的多個(gè)轉(zhuǎn)子部件24、 26、 28，所述轉(zhuǎn)子部件是從驅(qū)動(dòng)軸12向外延伸且基本正交于軸線16的平面盤狀構(gòu)件。Siegbahn泵送機(jī)構(gòu)的多個(gè)定子部件被安裝在外殼12上并 且位于接近轉(zhuǎn)子部件且在轉(zhuǎn)子部件之間的位置。在這個(gè)示例中， Siegbahn泵送機(jī)構(gòu)包括三個(gè)轉(zhuǎn)子部件24、 26、 28和兩個(gè)定子部件30、 32，不過(guò)如果必要的話可以提供任意數(shù)量的轉(zhuǎn)子部件和定子部件以便 滿足真空泵的所需泵送性能。
每個(gè)定子部件30、 32均是環(huán)狀定子部件的形式并且包括朝向鄰近 轉(zhuǎn)子部件延伸的多個(gè)壁。例如，參考定子部件30，定子部件30包括位 于其每個(gè)相應(yīng)側(cè)的多個(gè)壁34、 36。壁34朝向轉(zhuǎn)子部件24延伸并且在 定子部件的一側(cè)限定多個(gè)螺旋流動(dòng)通道。壁36朝向轉(zhuǎn)子部件26延伸 并且在定子部件的另一側(cè)限定多個(gè)螺旋流動(dòng)通道。定子部件32以與定 子部件30相似的方式構(gòu)造。定子部件30、 32的壁的高度沿Siegbahn 泵送機(jī)構(gòu)軸向地減小，這樣流動(dòng)通道的容積朝向真空泵10的出口 40 逐漸減小從而壓縮穿過(guò)泵送機(jī)構(gòu)20的氣體。每個(gè)壁的端部與鄰近的轉(zhuǎn) 子部件的相對(duì)表面隔開軸向間隙y，其如圖1所示。
軸14被軸承裝置支撐，該軸承裝置包括兩個(gè)軸承，這兩個(gè)軸承可 以位于軸的相應(yīng)端部處或者位于所述端部的中間。被動(dòng)磁性軸承(未 示出)支撐軸14的第一高真空部分。優(yōu)選地使用磁性軸承來(lái)支撐軸14 的高真空部分，因?yàn)槠洳恍枰獣?huì)污染泵送機(jī)構(gòu)的潤(rùn)滑劑。因?yàn)楸粍?dòng)磁 性軸承軸向不穩(wěn)定并且不能為軸14提供正軸位置(positive axial location),所以滾動(dòng)軸承42支撐軸14的第二低真空部分，從而消除這 個(gè)軸向不穩(wěn)定性并提供軸14的正軸位置。
滾動(dòng)軸承42在圖2中被更具體地示出。滾動(dòng)軸承42位于軸14的 低真空部分和泵10的外殼12之間。滾動(dòng)軸承42包括相對(duì)軸14固定的 內(nèi)圏44、外圈46以及多個(gè)滾動(dòng)元件48，所述滾動(dòng)元件48被保持架50 支撐從而允許內(nèi)團(tuán)44和外團(tuán)46的相對(duì)旋轉(zhuǎn)。使用例如油等的潤(rùn)滑劑
承載膜:從而最小化摩擦和磨損:在這個(gè)示例^，潤(rùn)滑劑供應(yīng)系統(tǒng)包
括離心泵，該離心泵包括一個(gè)或多個(gè)吸液芯52以便將來(lái)自泵10的潤(rùn) 滑劑儲(chǔ)存器的潤(rùn)滑劑供應(yīng)到位于軸14的一端的圓錐螺母56的錐形表 面54。隨著軸14的旋轉(zhuǎn)，潤(rùn)滑劑沿錐形表面54行進(jìn)到軸承42的下端 中(如所示)?？梢蕴峁┓雷o(hù)元件58以阻止?jié)櫥瑒妮S承42滲出。該 防護(hù)件可以是被彈簧夾或其他緊固件保持在適當(dāng)位置的單獨(dú)部件，或，可以使用油脂(油和增稠劑的混 合物)來(lái)潤(rùn)滑軸承42，這樣泵10可以沿任意取向被使用。
為了在泵IO的使用期間提供對(duì)于軸14和軸承42的振動(dòng)的阻尼， 在軸承42和外殼12之間提供彈性支撐件60來(lái)相對(duì)于外殼12在徑向和 軸向方向支撐軸承42。如圖3所示，彈性支撐件60包括金屬構(gòu)件，該 金屬構(gòu)件具有被多個(gè)一體撓性構(gòu)件66連接在一起的一體式內(nèi)環(huán)部分62 和外環(huán)部分64，所述一體撓性構(gòu)件66通過(guò)在支撐件60內(nèi)機(jī)加工槽縫 68來(lái)形成。每個(gè)撓性構(gòu)件66被第一彈性鉸鏈70連接到內(nèi)環(huán)部分62， 并且通過(guò)第二彈性鉸鏈72連接到外環(huán)部分64。
每個(gè)撓性構(gòu)件66均是與內(nèi)環(huán)部分62和外環(huán)部分64基本同心的細(xì) 長(zhǎng)弓形構(gòu)件的形式，并且如圖3所示，撓性構(gòu)件66優(yōu)選地沿周向排列 對(duì)齊。因此彈性支撐件60的撓性構(gòu)件66提供彈性支撐件60的一體板 簧。
彈性支撐件60的內(nèi)環(huán)部分62具有與滾動(dòng)軸承42的外圏46的外表 面接合的軸向延伸的圓柱內(nèi)表面74。如圖2所示，內(nèi)環(huán)部分62也具有 朝向其上端面78 (如所示)設(shè)置的徑向向內(nèi)延伸的軸向支撐部分76， 從而接合滾動(dòng)軸承42的外圏46的上表面以軸向地支撐軸承42，這樣 在軸承42的內(nèi)圈44和彈性支撐件60的外環(huán)部分64之間存在固定關(guān) 系。軸向支撐部分76在軸向方向具有厚度t，該軸向方向即平行于軸 14的縱軸線16的方向。彈性體阻尼環(huán)80位于在彈性支撐件60的端面 78內(nèi)形成的環(huán)槽82內(nèi)。阻尼環(huán)80被設(shè)計(jì)成在槽82內(nèi)具有相對(duì)松的徑 向配合。
端面78接合外殼12的徑向延伸表面，同時(shí)彈性支撐件60的外環(huán) 部分64的軸向延伸圓柱外表面84接合外殼12的軸向延伸表面。通過(guò) 相互接合的螺紋將軸承螺母90附連到外殼12，這樣軸承螺母90的上 端面(如所示)接合彈性支撐件60的下端面92，從而相對(duì)于外殼12 保持彈性支撐件60，并且優(yōu)選地軸向預(yù)加載彈性支撐件60。如圖2所 示，軸承螺母90具有軸向延伸內(nèi)表面94,該軸向延伸內(nèi)表面94提供 徑向端止動(dòng)表面從而限制軸14和軸承42的徑向運(yùn)動(dòng)。軸承螺母90也 具有徑向向內(nèi)延伸部分96，該徑向向內(nèi)延伸部分96具有上表面98 (如 所示)以提供軸向端止動(dòng)表面從而限制軸14和軸承42沿向下(如所 示)方向的軸向運(yùn)動(dòng)。外殼12提供相對(duì)的軸向端止動(dòng)表面從而限制軸
814和軸承42沿向上(如所示)方向的軸向運(yùn)動(dòng)。
彈性支撐件60由例如鋁或其合金、回火鋼、鈹青銅、磷青銅、鈦 或其合金或者其他金屬合金的金屬材料制成。由槽縫68的幾何形狀并 且因而由撓性構(gòu)件66的幾何形狀來(lái)確定彈性支撐件60的剛度，并且 可以使用有限元分析來(lái)準(zhǔn)確地估算彈性支撐件60的剛度。已經(jīng)發(fā)現(xiàn)彈 性支撐件60可以被容易地設(shè)計(jì)成具有相對(duì)低的徑向剛度，例如在50 至500 N/mm的范圍內(nèi)，并且優(yōu)選地約為200 N/mm，從而阻止振動(dòng)從 軸14傳送到外殼12。當(dāng)在泵10的使用期間轉(zhuǎn)子14和軸承42之間存 在相對(duì)大的徑向位移時(shí)，所述徑向位移例如由于相對(duì)大的不平衡或者 當(dāng)以臨界速度或以大約臨界速度運(yùn)轉(zhuǎn)時(shí)所引起，阻尼環(huán)80被徑向壓縮， 從而產(chǎn)生對(duì)振動(dòng)的徑向阻尼。當(dāng)振動(dòng)相對(duì)小時(shí)，阻尼環(huán)80幾乎不產(chǎn)生 徑向阻尼，因而振動(dòng)幾乎不被傳送到外殼12。
彈性支撐件60也可以具有相對(duì)大的軸向剛度，例如在500至10000 N/mm的范圍內(nèi)，并且優(yōu)選地在500至1000 N/mm的范圍內(nèi)，并且更 優(yōu)選地在600至800 N/mm的范圍內(nèi)，這樣在泵10運(yùn)轉(zhuǎn)期間存在軸14 的最小軸向運(yùn)動(dòng)。在這個(gè)示例中，彈性支撐件60的軸向支撐部分76 的厚度t確定軸承42的內(nèi)圏和彈性支撐件的外環(huán)部分之間的空間關(guān)系， 這又確定了泵送機(jī)構(gòu)20的轉(zhuǎn)子部件和定子部件之間的軸向間隙y。由 于彈性支撐件60具有大的軸向剛度，所以在泵10的使用期間這個(gè)軸 向間隙可以被保持為基本恒定的值，從而使得在泵10的使用期間可以 保持緊密的軸向間隙。
權(quán)利要求
1.一種真空泵，該真空泵包括外殼、由軸承裝置支撐成相對(duì)于所述外殼旋轉(zhuǎn)的驅(qū)動(dòng)軸、以及泵送機(jī)構(gòu)，該泵送機(jī)構(gòu)包括安裝在所述外殼上的定子部件以及安裝在所述驅(qū)動(dòng)軸上軸向接近所述定子部件的轉(zhuǎn)子部件，所述軸承裝置包括被金屬?gòu)椥灾渭趶较蚝洼S向方向支撐的軸承，該金屬?gòu)椥灾渭ū欢鄠€(gè)撓性構(gòu)件連接的內(nèi)環(huán)部分和外環(huán)部分，這樣在所述軸承的內(nèi)圈和所述彈性支撐件的外環(huán)部分之間存在固定關(guān)系，從而確定所述泵送機(jī)構(gòu)的所述轉(zhuǎn)子部件和所述定子部件之間的軸向間隙。
2. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的真空泵，其中每個(gè)所述撓性構(gòu)件是與所述內(nèi)環(huán)部分和外環(huán)部分實(shí)質(zhì)上同心的細(xì)長(zhǎng)弓形構(gòu)件。
3. 根據(jù)權(quán)利要求2所述的真空泵，其中所述撓性構(gòu)件沿周向排列 對(duì)齊。
4. 根據(jù)上述任意一項(xiàng)權(quán)利要求所述的真空泵，其中所述撓性構(gòu)件 提供所述彈性支撐件的多個(gè)一體板簧。
5. 根據(jù)上述任意一項(xiàng)權(quán)利要求所述的真空泵，其中所述撓性構(gòu)件 被軸向放置從而軸向預(yù)加載所述軸承。
6. 根據(jù)上述任意一項(xiàng)權(quán)利要求所述的真空泵，其中金屬材料包括 回火鋼、鋁、鈦、磷青銅、鈹青銅、鋁合金以及鈦合金。
7. 根據(jù)上述任意一項(xiàng)權(quán)利要求所述的真空泵，其中所述彈性支撐 件具有在500至10000 N/mm范圍內(nèi)的軸向剛度。
8. 根據(jù)上述任意一項(xiàng)權(quán)利要求所述的真空泵，其中所述彈性支撐 件具有在500至1000 N/mm范圍內(nèi)的軸向剛度。
9. 根據(jù)上述任意一項(xiàng)權(quán)利要求所述的真空泵，其中所述彈性支撐 件具有在50至500 N/mm范圍內(nèi)的徑向剛度。
10. 根據(jù)上述任意一項(xiàng)權(quán)利要求所述的真空泵，其中彈性體阻尼構(gòu) 件被安裝在所述彈性支撐件上。
11. 根據(jù)權(quán)利要求10所述的真空泵，其中所述阻尼構(gòu)件位于在所 述彈性支撐件的端面內(nèi)形成的環(huán)槽內(nèi)。
12. 根據(jù)上述任意一項(xiàng)權(quán)利要求所述的真空泵，其中所述轉(zhuǎn)子部件 和所述定子部件中的一個(gè)包括具有側(cè)面的多個(gè)壁，所述側(cè)面朝向所述 轉(zhuǎn)子部件和所述定子部件中的另一個(gè)延伸并且限定多個(gè)螺旋通道。
13. 根據(jù)上述任意一項(xiàng)權(quán)利要求所述的真空泵，其中所述泵送機(jī)構(gòu) 是Siegbahn泵送才/L構(gòu)。
14. 根據(jù)上述權(quán)利要求1-11中任意一項(xiàng)權(quán)利要求所述的真空泵， 其中所述泵送機(jī)構(gòu)是Gaede泵送機(jī)構(gòu)。
15. 根據(jù)上述權(quán)利要求1-11中任意一項(xiàng)權(quán)利要求所述的真空泵， 其中所述泵送機(jī)構(gòu)是再生泵送機(jī)構(gòu)。
16. 根據(jù)上述任意一項(xiàng)權(quán)利要求所述的真空泵，其中所述泵送機(jī)構(gòu) 包括位于所述驅(qū)動(dòng)軸上的多個(gè)所述轉(zhuǎn)子部件以及安裝在所述外殼上且 位于所述轉(zhuǎn)子部件之間的多個(gè)所述定子部件。
17. 根據(jù)上述任意一項(xiàng)權(quán)利要求所述的真空泵，包括在所述泵送機(jī) 構(gòu)的上游的渦輪分子泵送機(jī)構(gòu)。
全文摘要
一種真空泵，包括外殼、由軸承裝置支撐成相對(duì)于所述外殼繞軸線旋轉(zhuǎn)的驅(qū)動(dòng)軸、以及泵送機(jī)構(gòu)，該泵送機(jī)構(gòu)包括安裝在所述外殼上的定子部件以及安裝在所述驅(qū)動(dòng)軸上軸向接近所述定子部件的盤狀轉(zhuǎn)子部件。所述軸承裝置包括被彈性支撐件在徑向和軸向方向支撐的軸承，該彈性支撐件包括被多個(gè)撓性構(gòu)件連接的內(nèi)環(huán)部分和外環(huán)部分，這樣在所述軸承的內(nèi)圈和所述彈性支撐件的外環(huán)部分之間存在固定關(guān)系，從而確定所述泵送機(jī)構(gòu)的所述轉(zhuǎn)子部件和所述定子部件之間的軸向間隙。
文檔編號(hào)F04D19/04GK101517241SQ200780035047
公開日2009年8月26日 申請(qǐng)日期2007年7月27日 優(yōu)先權(quán)日2006年9月22日
發(fā)明者B·D·布魯斯特, M·E·托爾納 申請(qǐng)人:愛德華茲有限公司