專利名稱：用于真空泵的固定裝置的制作方法
技術(shù)領域：
本發(fā)明涉及高轉(zhuǎn)速真空泵領域，該真空泵緊固和連接到一結(jié)構(gòu)例如真空箱或管上以產(chǎn)生高度真空。更具體地，本發(fā)明涉及一種用于固定這種真空泵的裝置。
背景技術(shù)：
在電子和微型機械元件工業(yè)中，在必須保持受控真空的箱內(nèi)部執(zhí)行機械或等離子加工方法。
為了產(chǎn)生真空，必須使用能夠快速生成和保持適合于所述機械或等離子加工方法的高度真空的泵。通常使用渦輪分子泵(透平分子泵)，該泵包括泵體，在泵體內(nèi)轉(zhuǎn)子被驅(qū)動從而高速旋轉(zhuǎn)，例如大于30,000轉(zhuǎn)/分鐘。通過這樣高的轉(zhuǎn)速，轉(zhuǎn)子獲得了非常高的動能。
泵體包括連接到所述結(jié)構(gòu)例如真空箱或管的出口的同軸入口。所述泵通常僅固定到該結(jié)構(gòu)上，并且僅被圍繞泵的入口以及所述結(jié)構(gòu)的對應開口的區(qū)域支承。因此，泵體包括圍繞入口的同軸的環(huán)形凸緣，在圍繞出口的所述結(jié)構(gòu)的壁上設置有螺紋孔，在泵體的同軸環(huán)形凸緣上設置有通孔，并且撐帽式錨栓(headed bolt)安裝成使它們的桿穿過凸緣的孔并旋擰在所述結(jié)構(gòu)的壁的螺紋孔內(nèi)，以便將真空泵緊固在該結(jié)構(gòu)上，同時凸緣壓靠在該結(jié)構(gòu)的壁上。
螺栓的桿通常為具有圓形截面的圓柱體，并具有穿過直徑稍大于所述桿的直徑的孔的光滑部分，以及旋擰在相關聯(lián)的螺紋孔內(nèi)的螺紋端部。
根據(jù)標準的規(guī)定，凸緣、螺栓和必要的孔的相應尺寸以及螺栓和孔的數(shù)量是泵的直徑的函數(shù)。
因此，對于來自ALCATEL的ATHM類型的渦輪分子泵，通過設置符合“PNEUROP 66061”標準的DN 250 iso-F類型的凸緣，以及12個M10類型的螺栓來固定泵，螺栓的桿的長度大約為30毫米，直徑為10毫米，并且凸緣和所述結(jié)構(gòu)內(nèi)的孔的標稱直徑為11毫米。
這種固定結(jié)構(gòu)在正常使用條件下完全令人滿意，因此能夠承受在正常使用時真空泵的操作產(chǎn)生的機械力。
另一方面，已發(fā)現(xiàn)泵的轉(zhuǎn)子在全速旋轉(zhuǎn)時發(fā)生意外損壞的情況下會出現(xiàn)不可克服的問題。在這種假定條件下，全速旋轉(zhuǎn)的轉(zhuǎn)子會失去平衡，可能猛烈地撞擊泵體的壁，對壁施加橫向或徑向的位移力，并且可能強烈地摩擦泵體的壁，對壁施加同軸轉(zhuǎn)矩。由于高速旋轉(zhuǎn)的轉(zhuǎn)子內(nèi)存儲有高能量，所以轉(zhuǎn)子施加在泵體上的機械應力會非常高，這些應力被傳遞給將真空泵固定到所述結(jié)構(gòu)上的裝置。這在固定螺栓上產(chǎn)生很大的剪切力，并且已發(fā)現(xiàn)在當前的結(jié)構(gòu)中，這些力會使得螺栓斷裂。然后，泵會脫離所述結(jié)構(gòu)并構(gòu)成可能在使用場所飛出的危險的拋射體。
文獻WO-2004/020 839提出了一種方案，該方案說明了一種用于將真空泵固定到所述結(jié)構(gòu)的壁上的裝置，該裝置包括與真空泵體同軸并圍繞入口緊固在真空泵體上的環(huán)形凸緣。在所述結(jié)構(gòu)的壁上設置有螺紋孔，在環(huán)形凸緣內(nèi)設置有通孔，并且撐帽式錨栓安裝成使得它們的桿穿過該通孔并旋擰在相關聯(lián)的螺紋孔內(nèi)，以便將真空泵固定在該結(jié)構(gòu)上，同時凸緣壓靠在該結(jié)構(gòu)的壁上。該通孔包括形狀為圓形截面圓柱體的遠端部，以及與所述結(jié)構(gòu)的壁相鄰的具有圓形截面的同軸的放大的近端部。在真空泵和所述結(jié)構(gòu)之間的連接區(qū)域內(nèi)產(chǎn)生沿任何側(cè)向方向的剪切力的情況下，此構(gòu)造允許螺栓桿彎曲，從而在通孔和相關聯(lián)的螺栓孔之間產(chǎn)生對應的側(cè)向偏移。
此方案可吸收固定螺栓受到的猛烈剪切力。但是，在新一代渦輪分子泵中轉(zhuǎn)子轉(zhuǎn)速更高。在泵發(fā)生損壞的情況下，必須被分散且不能傳遞給所述結(jié)構(gòu)的能量變得大得多，并且在此構(gòu)造中在螺栓斷裂之前的屈服強度變得不夠。此外，在螺栓發(fā)生斷裂的情況下，此方法不能防止泵脫離所述結(jié)構(gòu)。
發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的一個目標是消除現(xiàn)有技術(shù)的缺陷。為此，本發(fā)明提出在保持符合適用標準的條件下，改變真空泵的固定結(jié)構(gòu)以提高將真空泵保持在所述結(jié)構(gòu)上的強度，并防止在轉(zhuǎn)子全速旋轉(zhuǎn)而發(fā)生破裂的情況下固定螺栓斷裂和泵被分離。
為此，本發(fā)明提出一種用于將真空泵固定到一結(jié)構(gòu)的壁上的環(huán)形凸緣，該凸緣包括適于與撐帽式錨栓協(xié)作的孔，以便將真空泵緊固到所述結(jié)構(gòu)上，同時該凸緣壓靠在壁上，其特征在于該凸緣包括-上部環(huán)和下部環(huán)，該上部環(huán)和下部環(huán)協(xié)作以便將泵體的端部夾持在該上部環(huán)和下部環(huán)之間，-在上部環(huán)的一表面內(nèi)形成的至少一個凹口，該表面位于這樣的平面內(nèi)，即，該平面垂直于上部環(huán)的將與所述結(jié)構(gòu)的壁相接觸的表面的平面。
本發(fā)明還包括一種用于將真空泵固定到一結(jié)構(gòu)的壁上的系統(tǒng)，該系統(tǒng)包括圍繞泵的入口與泵體同軸設置的環(huán)形凸緣，該凸緣包括適于與撐帽式錨栓協(xié)作的孔，以便將真空泵緊固到所述結(jié)構(gòu)上，同時該凸緣壓靠在壁上，其特征在于-環(huán)形凸緣包括上部環(huán)和下部環(huán)，該上部環(huán)和下部環(huán)協(xié)作以便將泵體的端部夾持在該上部環(huán)和下部環(huán)之間，-在上部環(huán)的與泵體的端部的表面相接觸的表面內(nèi)的至少一個第一凹口，以及在泵體的端部的表面內(nèi)的至少一個第二凹口，該第一凹口與第二凹口配合以形成腔室，以及-插入該腔室的由柔性材料制成的至少一個柱銷(stud)。
在一個優(yōu)選實施例中，第一凹口在上部環(huán)的一表面內(nèi)，該表面位于這樣的平面內(nèi)，即，該平面垂直于上部環(huán)的將與所述結(jié)構(gòu)的壁相接觸的表面的平面。
在一個變型中，該腔室在垂直于泵體的軸線的平面內(nèi)具有圓形截面。
與圓柱形柱銷相關聯(lián)的這種腔室形狀導致這樣的構(gòu)造，其中在發(fā)生故障時柱銷被剪切加載。這種構(gòu)造的優(yōu)點是制造簡單，并允許泵在凸緣中轉(zhuǎn)過一個最大為5°的角度，柱銷可承受該角度而不會斷裂。
該腔室和柱銷的最大尺寸必須與凸緣標準化所施加的限制相適應。腔室的直徑制成等于或稍小于柱銷的直徑，以便可利用材料的彈性通過輕微的徑向壓縮插入柱銷；因此柱銷不能脫離它們的腔室。例如，根據(jù)本發(fā)明的固定系統(tǒng)可包括直徑為10±0.1mm的腔室以及直徑為10±0.5mm且高度為14±0.5mm的柱銷，這使得柱銷的最大壓縮量為0.6mm。
在另一個變型中，該腔室在垂直于泵體的軸線的平面內(nèi)具有橢圓形截面。
通過凸緣上的凹口與泵體的端部處的凹口的配合所限定的腔室有利地為橢圓形，以增加柱銷的空間，從而提高減震能力，同時仍符合所述標準的幾何約束條件。
在本發(fā)明的一個特定實施例中，在配合時形成腔室的凹口為圓化的形狀，并且每個凹口具有不同的曲率半徑。形成該腔室的其中一個凹口優(yōu)選地具有符合柱銷形狀的圓化形狀以及圓角，以防止與損壞該柱銷的銳邊接觸。另一種凹口的曲率半徑大得多，從而可以在壓縮過程中起作用，減小了施加在柱銷上的應力。在這種構(gòu)造中，柱銷在腔室內(nèi)的壓縮使泵體可進行30°的旋轉(zhuǎn)，并防止柱銷斷裂。
轉(zhuǎn)子的損壞-其導致泵體旋轉(zhuǎn)-在柱銷的長度上產(chǎn)生壓縮應力，該應力由于構(gòu)成柱銷的材料的彈性變形特性而被吸收。
根據(jù)本發(fā)明，柱銷由柔性材料優(yōu)選地由彈性體材料制成。構(gòu)成柱銷的材料在剛度和減震品質(zhì)方面的特性允許凸緣相對于泵體的端部發(fā)生微小的位移而柱銷不會破裂。彈性體優(yōu)選地選自聚硅氧烷、聚氯丁烯及其共聚物，異戊二烯的均聚物和共聚物，以及異丁烯的均聚物和共聚物，尤其是異丁烯和異戊二烯的共聚物。
對于在剪切過程中起作用的構(gòu)造，肖氏硬度為70的聚氯丁烯是優(yōu)選的。對于在壓縮過程中起作用的構(gòu)造，肖氏硬度為70的異丁烯和異戊二烯的共聚物是優(yōu)選的。
在柱銷發(fā)生斷裂的極端情況下，仍可確保設備的安全性，這是因為被夾在上部環(huán)和下部環(huán)之間的泵體將在上部環(huán)和下部環(huán)之間轉(zhuǎn)動而不存在保持螺栓斷裂的危險。
本發(fā)明還包括一種利用固定系統(tǒng)將真空泵固定到一結(jié)構(gòu)的壁上的方法，該固定系統(tǒng)包括圍繞泵的入口與泵體同軸設置的環(huán)形凸緣，該凸緣包括適于與撐帽式錨栓協(xié)作的孔，以便將真空泵緊固到所述結(jié)構(gòu)上，同時該凸緣壓靠在壁上。根據(jù)本發(fā)明，該環(huán)形凸緣包括上部環(huán)和由兩個半環(huán)組成的下部環(huán)。該方法包括以下步驟-從上方將上部環(huán)放置成圍繞泵體的端部，該上部環(huán)在與泵體的端部的表面相接觸的表面內(nèi)包括至少一個第一凹口，該第一凹口與泵體的端部的表面內(nèi)的第二凹口相配合以形成腔室，-從下方將柱銷插入該腔室，-將構(gòu)成下部環(huán)的每個半環(huán)圍繞泵體的端部放置在上部環(huán)下面，-使用螺栓組裝該上部環(huán)和下部環(huán)，-使用撐帽式錨栓將包含圍繞泵體的凸緣的組件固定到所述結(jié)構(gòu)的壁上。
通過閱讀下文對一個實施例的說明并且從附圖中可清楚地了解本發(fā)明的其它特征和優(yōu)點，該實施例當然是作為說明性的和非限制性的示例給出的，在附圖中-圖1是示出根據(jù)本發(fā)明的渦輪分子泵結(jié)構(gòu)的縱向剖面的示意圖，該泵固定到一結(jié)構(gòu)例如真空箱上；-圖2是根據(jù)本發(fā)明的上部環(huán)的仰視圖；-圖3是根據(jù)本發(fā)明的下部環(huán)的俯視圖；-圖4是根據(jù)本發(fā)明的固定裝置的分解透視圖；-圖5是根據(jù)本發(fā)明的固定系統(tǒng)的剖視圖，該固定系統(tǒng)位于將泵固定到所述結(jié)構(gòu)上的螺栓的平面內(nèi)；
-圖6是根據(jù)本發(fā)明的固定系統(tǒng)在柱銷的平面內(nèi)的剖視圖；-圖7a、7b和7c示出腔室和相關聯(lián)的柱銷的變型。
具體實施例方式
首先考慮圖1，該圖示出渦輪分子類型的真空泵結(jié)構(gòu)1，其緊固在與結(jié)構(gòu)3例如真空箱相關聯(lián)的壁2上。
真空泵1包括泵體4，在該泵體中轉(zhuǎn)子5圍繞泵體4的軸線I-I高速旋轉(zhuǎn)。泵體4包括入口6和排放口8，抽吸氣體7通過與泵體4同軸的該入口進入，排出氣體9通過該排放口排出。轉(zhuǎn)子5被內(nèi)部馬達10驅(qū)動而在泵體4中旋轉(zhuǎn)，并且被磁性軸承或機械軸承11和12沿側(cè)向?qū)颉?br>
與結(jié)構(gòu)3相關聯(lián)的壁2包括與真空泵1的入口6成對應關系的抽吸氣體出口13。結(jié)構(gòu)3限定了與外部環(huán)境隔離開的封閉箱，在該箱中真空泵1能夠生成受控的真空。壁2可以是該結(jié)構(gòu)的外殼或者是連接到該結(jié)構(gòu)的固定部件的外殼，該固定部件例如是與一結(jié)構(gòu)-例如真空箱或管-相關聯(lián)的凸緣，其適于接納泵的固定凸緣。
根據(jù)本發(fā)明，一不銹鋼環(huán)形凸緣14包括具有肩部16的上部環(huán)15和下部環(huán)17，并圍繞與入口6同軸的泵體4的端部18安裝在真空泵1的泵體4上，以便可使真空泵1固定在結(jié)構(gòu)3的壁2上。肩部16使上部環(huán)15在泵體4上軸向定位。
圖2是根據(jù)本發(fā)明的上部環(huán)15的透視圖。上部環(huán)15的接觸面20將抵靠在結(jié)構(gòu)3的壁2上。環(huán)15為環(huán)形并包括肩部16，該肩部是為了有助于將該環(huán)15放置在泵體4的端部18上。在圖2所示的實施例中，根據(jù)目前執(zhí)行的標準“PNEUROP 66061”，環(huán)15內(nèi)具有12個均勻間隔的通孔21。在一個特定實施例中，通孔為文獻WO 2004/020839所述的類型，并包括遠端部和同軸的放大的近端部，該遠端部為具有圓截面的圓柱形狀，該近端部具有圓截面并與所述結(jié)構(gòu)的壁相鄰。實際上，通孔的近端部可有利地具有形狀為圓截面圓柱的近端，該近端通過具有圓截面的截頭圓錐遠端連接到通孔的所述遠端部。
上部環(huán)15還包括12個凹口22，這些凹口均勻分布在上部環(huán)15的與泵體的端部18接觸的環(huán)形內(nèi)壁23上，并且設置在每對通孔21之間。
圖3是下部環(huán)17的透視圖，該下部環(huán)中具有12個與上部環(huán)15內(nèi)的通孔21對應的通孔30。為了能夠圍繞泵體4的端部18定位下部環(huán)17，下部環(huán)包括兩個半環(huán)17a和17b。
圖4是示出上部環(huán)15、下部環(huán)17和泵體4的端部18的分解透視圖。泵體4的端部18帶有凹口40，該凹口與上部環(huán)15的對應凹口22配合以形成適于容納柱銷41的腔室40-22。
這三個部件按如下方式進行組裝。
(a)從上方放置上部環(huán)15，使其圍繞渦輪分子泵1的泵體4的上端部18。上部環(huán)形環(huán)15上的肩部16使得可調(diào)節(jié)環(huán)15在泵體4上的軸向位置。
(b)將柱銷41從下方插入腔室40-22。
(c)通過圍繞渦輪分子泵的端部18設置每個半環(huán)17a和17b，將下部環(huán)17安裝在上部環(huán)15下面。用螺栓42組裝上部環(huán)15和兩個下部半環(huán)17a和17b以構(gòu)成環(huán)形凸緣14。在泵體4內(nèi)設置有槽口43以有助于螺栓42通過。這樣，可以在不必手動地將上部環(huán)15保持在合適位置的情況下，運送渦輪分子泵以及將該泵緊固到所述結(jié)構(gòu)或底盤3上。
(d)利用分別穿過環(huán)15和17的在光孔21和30內(nèi)的撐帽式錨栓44，將包含渦輪分子泵4和環(huán)形凸緣14的組件固定到底盤3上。
在全速運行的轉(zhuǎn)子5發(fā)生損壞的情況下，轉(zhuǎn)子5內(nèi)存儲的動能傳遞給泵體4，泵體將旋轉(zhuǎn)。本發(fā)明旨在利用柱銷的材料的彈性變形特性來吸收該能量。顯然，泵體4可進行旋轉(zhuǎn)運動直到柱銷41緊靠由配合的凹口22和40形成的空間的側(cè)壁。彈性體柱銷在剛度和阻尼品質(zhì)方面的特性將允許環(huán)形凸緣14相對于泵體4的端部18發(fā)生小位移，而不會損壞柱銷41。通過擠壓柱銷41以使能量耗散。因此，該系統(tǒng)的結(jié)構(gòu)確保螺栓44在任何情況下仍保持在合適的位置，這是因為施加在螺栓44上的剪應力被大大削弱。
此外，如果一個柱銷41不能吸收足以防止其發(fā)生損壞的能量，則柱銷41的碎片將沿旋轉(zhuǎn)方向滲入環(huán)形凸緣14和泵體4的端部18之間，其作用是將會繼續(xù)制動泵體4的旋轉(zhuǎn)，防止泵體4在凸緣14內(nèi)自由轉(zhuǎn)動。
圖5是根據(jù)本發(fā)明的固定系統(tǒng)在用于將泵固定到所述結(jié)構(gòu)上的螺栓44的平面內(nèi)的剖視圖。根據(jù)適用的標準，圍繞出口孔13分布的螺紋孔50設置在結(jié)構(gòu)3的壁2中。相關聯(lián)的光滑通孔21設置在上部環(huán)15內(nèi)，具有頭部51的螺栓44安裝在該上部環(huán)15內(nèi)，以便它們的桿52穿過孔21并旋擰在相關聯(lián)的螺紋孔50內(nèi)，從而將真空泵1緊固在結(jié)構(gòu)3上，并且凸緣14的表面20壓靠在結(jié)構(gòu)3的壁2上。
圖6是根據(jù)本發(fā)明的固定系統(tǒng)在柱銷41的平面內(nèi)的剖視圖，該平面平行于圖5的平面。根據(jù)本發(fā)明，上部環(huán)15的環(huán)形內(nèi)表面23包括凹口22。泵體4的端部18包括凹口40。凹口22和40成對地配合以形成腔室40-22，由柔性材料制成的柱銷41插在該腔室內(nèi)。該材料優(yōu)選地為彈性體，例如聚硅氧烷、聚氯丁二烯或氯丁二烯的共聚物，異戊二烯或異戊二烯的共聚物，或者異丁烯或異丁烯的共聚物。這里所使用的材料為異戊二烯和異丁烯的共聚物。
圖7a示出根據(jù)本發(fā)明的一個不同實施例的圓柱形柱銷的剪切安裝方式(mounting in shear)。由上部環(huán)71的凹口70和泵體的端部73上的凹口72限定的腔室空間在垂直于泵體軸線的平面內(nèi)具有圓形截面。該腔室空間適于使柱銷74在該腔室內(nèi)壓縮。
圖7b示出根據(jù)另一個實施例的橢圓形柱銷的剪切安裝方式。由上部環(huán)76的凹口75、泵體的端部78上的凹口77以及柱銷79限定的空間可以有利地為橢圓形，即，其長度大于寬度。此實施例增加了柱銷79的空間并從而增加了聚合體的數(shù)量，以便在符合標準的幾何約束條件的同時提高柱銷79的減震能力。
圖7c示出另一個實施例的圓柱形柱銷的壓縮安裝方式。腔室80的上部具有非常接近于柱銷81尺寸的尺寸以及圓角，以防止銳邊剪切柱銷81。下部82的曲率半徑大得多以便在壓縮過程中平緩地起作用。通過這種安裝方式，在發(fā)生故障時對圓柱形柱銷81壓縮加載。
本發(fā)明并不局限于所述實施例，而是適用于本領域技術(shù)人員顯而易見的許多變型。當然，本發(fā)明不僅可應用于通過符合“PNEUROP 66061”標準的具有12個螺栓的系統(tǒng)固定的真空泵，而且還可應用于通過適合于其尺寸的不同標準系統(tǒng)固定的具有不同尺寸的真空泵。
權(quán)利要求
1.一種用于將真空泵(1)固定到一結(jié)構(gòu)(3)的壁(2)上的環(huán)形凸緣(14)，該凸緣包括適于與撐帽式錨栓(44)協(xié)作的孔(21，30)，以便將真空泵(1)緊固到所述結(jié)構(gòu)(3)上，同時所述凸緣(14)壓靠在壁(2)上，其特征在于，該凸緣包括-上部環(huán)(15)和下部環(huán)(17)，該上部環(huán)和下部環(huán)協(xié)作以便將泵體(4)的端部(18)夾持在該上部環(huán)(15)和下部環(huán)(17)之間，-在上部環(huán)(15)的一表面(23)內(nèi)形成的至少一個凹口(22)，該表面(23)位于這樣的平面內(nèi)，即，該平面垂直于上部環(huán)(15)的將與所述結(jié)構(gòu)(3)的壁(2)相接觸的表面(20)的平面。
2.一種用于將真空泵(1)固定到一結(jié)構(gòu)(3)的壁(2)上的系統(tǒng)，該系統(tǒng)包括圍繞泵(1)的入口(6)與泵體(4)同軸設置的環(huán)形凸緣(14)，該環(huán)形凸緣包括適于與撐帽式錨栓(44)協(xié)作的孔(21，30)，以便將真空泵(1)緊固到所述結(jié)構(gòu)(3)上，同時所述凸緣(14)壓靠在壁(2)上，其特征在于-該環(huán)形凸緣(14)包括上部環(huán)(15)和下部環(huán)(17)，該上部環(huán)和下部環(huán)協(xié)作以便將泵體(4)的端部(18)夾持在該上部環(huán)(15)和下部環(huán)(17)之間，-在上部環(huán)(15)的與泵體(4)的端部(18)的表面相接觸的表面(23)內(nèi)的至少一個第一凹口(22)，以及在泵體(4)的端部(18)的表面內(nèi)的至少一個第二凹口(40)，該第一凹口(22)與第二凹口(40)相配合以形成腔室(40-22)，以及-插入該腔室(40-22)的由柔性材料制成的至少一個柱銷(41)。
3.根據(jù)權(quán)利要求2的固定系統(tǒng)，其特征在于，第一凹口(22)在上部環(huán)(15)的一表面(23)內(nèi)，該表面(23)位于這樣的平面內(nèi)，即，該平面垂直于上部環(huán)(15)的將與所述結(jié)構(gòu)(3)的壁(2)相接觸的表面(20)的平面。
4.根據(jù)權(quán)利要求2的固定系統(tǒng)，其特征在于，該腔室(40-22)在垂直于泵體(4)的軸線的平面內(nèi)具有圓形截面。
5.根據(jù)權(quán)利要求2的固定系統(tǒng)，其特征在于，該腔室(40-22)在垂直于泵體(4)的軸線的平面內(nèi)具有橢圓形截面。
6.根據(jù)權(quán)利要求2的固定系統(tǒng)，其特征在于，在配合時形成腔室(40-22)的凹口(22，40)具有圓化的形狀，并且每個凹口(22，40)的曲率半徑不同。
7.根據(jù)權(quán)利要求2的固定系統(tǒng)，其特征在于，柱銷(41)由彈性體制成。
8.根據(jù)權(quán)利要求7的固定系統(tǒng)，其特征在于，該彈性體選自聚硅氧烷、聚氯丁烯及其共聚物，異戊二烯的均聚物和共聚物，以及異丁烯的均聚物和共聚物。
9.一種利用固定系統(tǒng)將真空泵(1)固定到一結(jié)構(gòu)(3)的壁(2)上的方法，該固定系統(tǒng)包括圍繞泵(1)的入口(6)與泵體(4)同軸設置的環(huán)形凸緣(14)，該環(huán)形凸緣包括適于與撐帽式錨栓(44)協(xié)作的孔(21，30)，以便將真空泵(1)緊固到所述結(jié)構(gòu)(3)上，同時所述凸緣(14)壓靠在壁(2)上，其特征在于，該環(huán)形凸緣(14)包括上部環(huán)(15)和由兩個半環(huán)(17a，17b)組成的下部環(huán)(17)，并且該方法包括以下步驟-從上方將該上部環(huán)(15)放置成圍繞泵體(4)的端部(18)，該上部環(huán)(15)在與泵體(4)的端部(18)相接觸的表面(23)內(nèi)包括至少一個第一凹口(22)，該第一凹口與泵體(4)的端部(18)的表面內(nèi)的第二凹口(40)相配合以形成腔室(40-22)，-從下方將柱銷(41)插入該腔室(40-22)，-將構(gòu)成下部環(huán)(17)的每個半環(huán)(17a，17b)圍繞泵體(4)的端部(18)放置在上部環(huán)(15)下面，-使用螺栓(42)組裝該上部環(huán)(15)和下部環(huán)(17)，-使用撐帽式錨栓(44)將包含圍繞泵體(4)的凸緣(14)的組件固定到所述結(jié)構(gòu)(3)的壁(2)上。
全文摘要
本發(fā)明涉及高轉(zhuǎn)速真空泵領域，該真空泵緊固和連接到一結(jié)構(gòu)例如真空箱或管上以產(chǎn)生高度真空。本發(fā)明提供一種環(huán)形固定凸緣，該凸緣包括與撐帽式錨栓協(xié)作的孔以便將真空泵固定到所述結(jié)構(gòu)上。該凸緣包括上部環(huán)和下部環(huán)，其相互協(xié)作以便將泵體的端部夾在上部環(huán)和下部環(huán)之間，以及在上部環(huán)的一表面內(nèi)的至少一個第一凹口，該表面位于這樣的平面內(nèi)，即該平面垂直于上部環(huán)的將與所述結(jié)構(gòu)的壁相接觸的表面的平面。本發(fā)明還提供一種固定系統(tǒng)，該系統(tǒng)包括圍繞泵的入口與泵體同軸設置的環(huán)形凸緣。與上部環(huán)的表面接觸的泵體的端部的表面內(nèi)的至少一個第二凹口與所述第一凹口相配合以形成腔室，并且由柔性材料制成的至少一個柱銷插入該腔室。
文檔編號F04D29/64GK1963231SQ20061014454
公開日2007年5月16日 申請日期2006年11月10日 優(yōu)先權(quán)日2005年11月10日
發(fā)明者N·瓦雷納, O·達維萊爾 申請人:阿爾卡特公司