專利名稱：真空泵的控制裝置的制作方法
技術領域：
本發明涉及一種真空泵的控制裝置，該真空泵具有為使排氣目標空間成為預定真空度進行排氣的泵機部分以及驅動該泵機部分的電動機部分。
背景技術：
過去，例如特開平9-306972公報中公開的半導體制造裝置是為人所熟知的，此型半導體制造裝置設有與對晶片(基板)進行成膜處理等的處理室相對的負載鎖定室。
在這種裝置中，經過負載鎖定室來在處理室和半導體制造裝置的外部之間進行晶片的交換。在負載鎖定室中，通過閥門來連接使所述艙成為預定真空度的真空泵。這種閥門具有能夠從外部進行的操作而使負載鎖定室與真空泵的壓力連通或隔斷的構造。
負載鎖定室和處理室之間的晶片交換，在負載鎖定室被隔斷來自半導體制造裝置外部的壓力、并且利用真空泵使其達到預定真空度的狀態下來進行。另一方面，在負載鎖定室和半導體制造裝置的外部之間的晶片交換，在負載鎖定室被隔斷來自處理室的壓力并且返回到大氣壓的狀態下進行。
而且，負載鎖定室和半導體裝置外部之間的晶片交換操作當中，通過在與負載鎖定室隔斷壓力的處理室中進行成膜處理等，可以提高半導體制造的生產效率。
將大氣壓狀態的負載鎖定室再減壓至預定真空度的時候，通過使閥門從關閉狀態變為打開狀態，使負載鎖定室與真空泵連通，對負載鎖定室進行排氣。此時，在真空泵被驅動的狀態下，在閥門從關閉狀態切換到打開狀態相時，由于真空泵內部從所述的預定真空度急劇升壓至大氣壓，真空泵的壓力負荷(有關排氣的壓力負荷)急劇增大。在采用電動機作為真空泵的驅動源時，與所述壓力負荷急劇增大相伴而來的是，電動機的輸出轉矩也就是真空泵的負荷轉矩急劇增大。
當真空泵的負荷轉矩急劇增大時，為了避免真空泵的構成材料發生破損，需要用能使真空泵的負荷轉矩不超過預定上限值的控制裝置對電動機進行控制。這種控制狀態可以例如參見圖2(a)和圖2(b)所示的時序圖。圖2(a)中虛線91顯示的是采用同步電機類型的無電刷電機作為電動機時的驅動頻率。圖2(b)中虛線92顯示的是向該電動機供給的電流值。該電流值與電動機的輸出轉矩也就是真空泵的負荷轉矩的大小相關。
如圖2(a)，(b)所示，在時間點t1時，所述閥門從關閉狀態向打開狀態切換，由此，與真空泵的壓力負荷急劇增大相伴而來的是，提供給電動機的電流值急劇增大。也就是真空泵的負荷轉矩急劇增大。
當判斷在時間點t2處電動機的電流值達到預定的上限值i2時，控制裝置使電動機的驅動頻率從電動機旋轉速度的高速側的驅動頻率fmax向低速側的驅動頻率fmin急劇降低。通過這樣降低驅動頻率，使電動機的旋轉速度降低，由此抑制真空泵的壓力負荷的增加，與此相伴地，限制電動機輸出轉矩也就是真空泵的負荷轉矩不超過預定的上限值，也就是與供給電流的上限值i2相對應的轉矩的上限值。
但是，在前述的控制狀態中，雖然避免了因為真空泵負荷轉矩過大導致的真空泵構成材料的破損，但是在閥門從關閉狀態切換到打開狀態時發生負荷轉矩的急劇上升。此時在上升的開始時間點t1的前后，產生很大的負荷轉矩的增加速度差，也就是，產生負荷轉矩增加速度的急劇上升變化，并且這種增加速度大的狀態一直持續到電動機的電流值達到預定的上限值i2時。
因此，在前述的控制狀態中，雖然避免了真空泵負荷轉矩的過大，但是由于產生了負荷轉矩的急劇上升變化，并且在這種上升變化后繼續所述增加速度大的狀態，因此擔心真空泵構成材料受到大的沖擊。這就是前述構成材料破損的原因。
為了避免前述構成材料的破損，考慮對該構成材料進行增強而使其堅固。但是在這種情況下，會帶來了真空泵體積大和重量沉的不便。
本發明的目的是，提供一種真空泵的控制裝置，它不會因真空泵的增強而導致體積大和重量沉，可提高真空泵的耐用性。
發明內容
為了解決上述問題，本發明一實施方案中提供一種真空泵的控制裝置，該裝置在真空泵每單位時間的負荷轉矩的增加量發生急劇的上升變化的時候，控制電動機部分的旋轉速度向下減速。
例如，在真空泵處于操作狀態時，當向排氣目標空間導入外氣而使該空間的壓力急劇上升的情況下，與真空泵的壓力負荷(有關排氣的壓力負荷)的增加相伴而來的是，電動機的輸出轉矩，也就是真空泵的負荷轉矩顯示出增加的傾向。在這種情況下，例如真空泵每單位時間內的負荷轉矩增加量(真空泵的負荷轉矩增加速度)從大約0的狀態上升至超過某值的狀態，也就是真空泵每單位時間內的負荷轉矩增加量發生急劇的上升變化。
本發明的控制裝置中，當真空泵每單位時間的負荷轉矩增加量發生急劇的上升變化時，控制電動機部分的旋轉速度向下減速。由此，在所述的負荷轉矩上升時，因為真空泵每單位時間的負荷轉矩增加量的急劇上升變化、以及在這種上升變化后真空泵每單位時間的負荷轉矩增加量繼續保持大的狀態而使真空泵構成材料受到的沖擊就都可以減小。而且不必為提高耐沖擊性而對真空泵構成材料進行增強，也防止了因為這種增強導致的真空泵體積增加和重量增加。
與基于真空泵每單位時間負荷轉矩增加量而進行減速控制的方案相比較，根據本發明的實施方案，關于真空泵每單位時間負荷轉矩的增加量，可以正確把握其在預定時間內發生何種變化。“真空泵每單位時間負荷轉矩增加量的變化率”表示，真空泵每單位時間負荷轉矩的增加量在單位時間內的變化。
圖1是半導體制造裝置及真空泵的概要圖；圖2(a)是表示電動機的驅動頻率的時序圖；圖2(b)是表示電動機的電流值的時序圖；圖3(a)和3(b)是另一示例的時序圖，其中圖3(a)是表示電動機的驅動頻率的時序圖，圖3(b)是表示電動機的電流值的時序圖。
具體實施例方式
以下描述本發明的半導體制造裝置中負載鎖定室排氣用的真空泵的具體實施方案。
如圖1所示，在半導體制造裝置11中，并設處理室12和負載鎖定室13。在處理室12中，例如對晶片進行真空鍍覆以及濺射等成膜處理。這種處理要用圖中沒有顯示的排氣裝置使處理室12成為預定真空度下來進行。
半導體制造裝置11的外部空間(大氣壓空間)和處理室12之間的晶片交換要通過負載鎖定室13來進行。也就是，在兩個室12和13之間，設有在所述晶片交換時進行交接晶片所經過的路徑，在這個路徑中間，設有可以使兩個室12和13之間壓力連接以及隔斷的門閥14。另外，半導體制造裝置11中，設有在負載鎖定室13和半導體制造裝置11的外部空間之間進行晶片交換的路徑，在該路徑的中途，設有可以使負載鎖定室13和所述外部空間之間壓力連接或者隔斷的門閥15。
在半導體制造裝置11中，通過排氣路徑16與真空泵20連接。真空泵20以負載鎖定室13作為排氣目標空間。在排氣路徑16中途，設有可以通過從外部操作而使負載鎖定室13和真空泵20之間壓力連接或者隔斷的第一閥17。
負載鎖定室13通過外氣導入路徑18與半導體制造裝置11的外部空間相通。在外氣導入路徑18中途，設有可以通過從外部操作而使負載鎖定室13與所述外部空間之間壓力連接或者隔斷的第二閥19。
真空泵20設有為使負載鎖定室13成為預定真空度而對該艙13進行排氣的泵機構21，以及驅動該泵機構21的電動機22。電動機22是同步電機類型的無電刷電機，具體的說是無電刷DC電機，通過從構成控制裝置的變頻器30供電而進行驅動。通過調節從變頻器30提供的電流的驅動頻率(旋轉速度指令值)，來調節電動機22的旋轉速度。
在本實施方案中，在利用變頻器30以一定的電壓驅動電動機22的同時，提供給電動機22的供給電流值與電動機22的輸出也就是真空泵20的負荷轉矩的大小相關。
變頻器30設有帶微型計算機的電子控制單元31(ECU)和電流檢測器32。ECU31以及電流檢測器32構成電機的控制裝置。電流檢測器32對提供給電動機22的供給電流值進行檢測，將該檢測信息提供給ECU31。電流檢測器32構成對提供給電動機22的供給電流值進行檢測的檢測裝置。ECU31根據從電流檢測器32提供的檢測信息，調節提供給電動機22的供給電流的驅動頻率。
ECU31根據從電流檢測器32得到的檢測信息(也就是提供給電動機22的供給電流值)來計算電動機22的輸出轉矩也就是真空泵20的負荷轉矩。ECU31根據該負荷轉矩計算出真空泵20的每單位時間的負荷轉矩增加量(以下為方便起見，稱為真空泵20的負荷轉矩增加速度)。ECU31每隔預定時間反復監視真空泵20的負荷轉矩增加速度。
ECU31判斷真空泵20負荷轉矩增加速度大于預定值，以及判斷真空泵20的負荷轉矩增加速度發生急劇的上升變化。根據這種判斷，為了降低真空泵20的負荷轉矩增加速度，ECU31將提供給電動機22的供給電流的驅動頻率向電動機22的旋轉速度的低速側改變，也就是降低驅動頻率。這種控制稱為減速控制。
盡管在判斷了真空泵20的負荷轉矩增加速度發生急劇的上升變化之后，ECU31仍繼續監視真空泵20的負荷轉矩增加速度。具體的說，本實施方案的ECU31只要在其操作狀態下就繼續反復進行前述檢測。在根據前述檢測而判斷真空泵20的負荷轉矩增加速度發生急劇的上升變化的情況下由ECU31進行所述減速控制的同時，將通過這種控制而降低的驅動頻率維持到接著判斷增加速度是否大于預定值的時刻為止。
在判斷真空泵20的負荷轉矩的增加速度發生急劇的上升變化的情況下，ECU31在不優先進行所述減速控制的限度內反復進行所述減速控制。減速控制的優先處理中，例如有使向電動機22提供的供給電流不超過上限值i2的調節處理。這一內容將在后面進行描述。
以下參考圖2(a)和圖2(b)的時序圖描述前述構成的真空泵20的作用。圖2(a)中的實線51表示向本實施方案的電動機22提供的供給電流的驅動頻率。圖2(b)的實線52表示向本實施方案的電動機22提供的供給電流值。
利用真空泵20使負載鎖定室13與處理室12成為同樣的預定真空度，同時在門閥14打開的狀態下，在處理室12和負載鎖定室13之間進行晶片的交接。此時，門閥15以及第二閥19是關閉的。
在門閥14、15是關閉的狀態下第二閥19打開，使負載鎖定室13處在與所述外部空間同樣的壓力(大氣壓)之后，在打開門閥15的狀態下進行，在負載鎖定室13和半導體制造裝置11的外部空間之間的晶片交換。此時，第一閥17關閉。
例如在向負載鎖定室13內搬入晶片之后，利用真空泵20使負載鎖定室13成為預定真空度的時候，真空泵20也就是電動機22處于被驅動狀態，第一閥17打開，開始給負載鎖定室13排氣。圖2(a)和圖2(b)中的時間點t1表示第一閥17打開的時間點，在該時間點之前，ECU31以電動機22的旋轉速度的高速側的驅動頻率fmax驅動電動機22。
在時間點t1之前，第一閥17處于關閉狀態，真空泵20的與排氣有關的壓力負荷大約為0，給電動機22提供的供給電流是最小值i1。
在時間點t1，第一閥17打開，處于大氣壓狀態下的負載鎖定室13內的氣體向泵機構21內急速地導入，因此真空泵20的壓力負荷急劇增大。與此相伴的是，電動機22的輸出轉矩也就是真空泵20的負荷轉矩上升。即在圖2(b)中，電流值從時間點t1上升。此時，電流值的增加速度也就是真空泵20的負荷轉矩的增加速度從0開始向不是0的增加速度上升變化。也就是，在時間點t1以前，電流值是一定的，電流值的增加速度是0。
ECU31利用來自電流檢測器32的檢測信息，計算真空泵20的負荷轉矩的增加速度，判斷該增加速度是否大于預定值，以及判斷真空泵20的負荷轉矩的增加速度是否發生急劇的上升變化。根據這種判斷，為了將負荷轉矩的增加速度向預定的目標值、例如與圖2(b)中以點劃線表示的直線61相對應的負荷轉矩增加速度降低，ECU31降低電動機22的旋轉速度。也就是，ECU31進行電動機22的減速控制。
通過反復進行所述減速控制，ECU31降低給電動機22提供的供給電流的驅動頻率。通過這種漸減處理，可以緩慢降低電動機22的旋轉速度。也就是，利用ECU31，以時間點t1為起點，將驅動頻率從驅動頻率fmax緩慢降低。
由于降低了驅動頻率，因此降低了電動機22的旋轉速度。通過降低旋轉速度，抑制了真空泵20的壓力負荷的增加傾向，與此相伴的是，降低了真空泵20的負荷轉矩的增加速度。
為了使向電動機22提供的供給電流值不超過上限值i2，ECU31對驅動頻率進行調節。優先于上述減速控制進行這種調節處理。亦即，ECU31判斷電流值到達預定上限值i2時，就將電動機22的驅動頻率從該時間點(該實施方案中為時間點t3)的驅動頻率f1向低速側的驅動頻率fmin急劇降低。
通過根據該驅動頻率的急劇減小而降低電動機22的旋轉速度，抑制了這種增加傾向，限制電動機22的輸出轉矩、也就是真空泵20的負荷轉矩不超過與上限值i2相對應的上限轉矩。而且，為了在電流值處于不超過上限值i2的范圍內實現負載鎖定室13的高效排氣，ECU31對驅動頻率進行調整，以盡可能將電動機22的旋轉速度維持在高速，。
所述電流值的上限值i2是為了避免因為電動機22的輸出轉矩也就是真空泵22的負荷轉矩過大導致真空泵20的構成材料破損來設定的。
隨著利用真空泵20對負載鎖定室13進行減壓，真空泵20的壓力負荷降低后，為了在電流值處于不超過上限值i2的范圍內，盡可能使電動機的旋轉速度成為高速，ECU31將驅動頻率向驅動頻率fmax增加(時間點t4-時間點t5之間)。此時，在本實施方案中，盡管驅動頻率增加，但是仍顯示伴隨在真空泵20的壓力負荷降低，真空泵20的負荷轉矩(也就是電流值)減少的傾向。
在該實施方案中，獲得以下的效果。
(1)在真空泵20的負荷轉矩的增加速度發生急劇的上升變化的時候，ECU31對電動機22的旋轉速度進行減速控制。這樣，降低了真空泵20的負荷轉矩上升時的增加速度。因此可以減小因為真空泵20的負荷轉矩增加速度發生急劇的上升變化以及在該上升變化之后繼續保持所述增加速度為大的狀態而給真空泵20的構成材料帶來的沖擊。所以例如不必為了提高耐沖擊性而對真空泵20的構成材料進行增強，可以防止因為增強所帶來的真空泵20的大型化和重量化。
(2)ECU31根據給電動機22提供的供給電流值計算出真空泵20的負荷轉矩。但是不必要設置用于檢測真空泵負荷轉矩的轉矩傳感器等特殊裝置。這樣可以降低成本并簡化構造。
(3)ECU31每隔預定時間反復監視真空泵20的負荷轉矩的增加速度，即使在判斷真空泵20的負荷轉矩增加速度發生急劇的上升變化之后，仍繼續進行這種監視。即使在所述減速控制開始之后，仍可根據真空泵20的負荷轉矩的增加速度的變化，對電動機22的旋轉速度進行適當控制。
(4)當真空泵20的負荷轉矩的增加速度大于預定值時，ECU31判斷真空泵20的負荷轉矩的增加速度發生急劇的上升變化，則進行所述的減速控制。這與用例如在預定時間點的真空泵20的負荷轉矩的增加速度和與所述預定時間點不同的另一個預定時間點的所述增加速度之差來進行減速控制的方案相比，可以省去為了計算增加速度的差而進行的處理。也就是可以簡化ECU31的計算，從而減輕了負擔。
圖2(b)的時序圖中，在真空泵20的負荷轉矩上升開始的時間點t1之前，因為真空泵20的有關排氣的壓力負荷大概是一定的(大約是0)，因此負荷轉矩增加速度值也是一定的(0)。在這種情況下，通過判斷負荷轉矩的增加速度是否大于預定值，就可以正確判斷負荷轉矩的增加速度是否發生急劇的上升變動。因此在這種情況下，不必計算所述增加速度的差，就可以正確判斷真空泵20的負荷轉矩的增加速度是否發生急劇的上升變化。
(5)為了將真空泵20的負荷轉矩增加速度朝著預定的目標值降低，ECU31進行所述減速控制。也就是為了使真空泵20的負荷轉矩的增加速度與預定的目標值接近或者一致而進行控制。通過這種控制，真空泵20的負荷轉矩上升時的增加速度可比傳統技術中的增加速度降低。
(6)為了使真空泵20的負荷轉矩不超過預定的上限值也就是不超過與供給電流的上限值i2相對應的負荷轉矩的上限值，ECU31進行電動機22的控制。也就是利用ECU31來限制作用在真空泵20上的負荷轉矩的最大值，從而可以避免因為過大的負荷轉矩導致真空泵20的構成材料發生變形和破損等。
(7)利用ECU31進行的減速控制，是將向電動機22提供的供給電流的驅動頻率向電動機22的旋轉速度的低速側改變。這樣，通過將驅動頻率向低速側改變，降低了電動機22的旋轉速度，與此相應，真空泵20的壓力負荷降低。因為該壓力負荷降低，因此實現了真空泵20的負荷轉矩的增加速度的降低。
(8)電動機22是由同步電機類型的無電刷DC電機構成的。這樣，與有電刷的電機相比較，容易將電動機22設置為耐久性高的電動機。另外，不管作用在真空泵20上的負荷轉矩有多大，均可通過調節供給電流的驅動頻率來調整電動機22的旋轉速度。
(9)負載鎖定室13是作為包圍半導體制造裝置11的大氣壓空間和處理室12之間交接晶片時的中轉點的艙。負載鎖定室13頻繁的從預定真空度升壓至大氣壓。也就是，對負載鎖定室13進行排氣的真空泵20中，頻繁的發生與其壓力負荷急劇增加相伴而來的負荷轉矩的急劇增加。在這個方案中，采用有本實施方案的電機控制裝置的變頻器30，對真空泵20的耐用性的提高特別有效。
在不脫離本發明的精神的范圍內，可以實施以下方案。
在上述實施方案中，在判斷真空泵20的負荷轉矩的增加速度大于預定值時，判斷真空泵20的負荷轉矩的增加速度發生急劇的上升變化，則ECU31對電動機22的旋轉速度進行減速控制。作為這種方案的替代是，ECU31計算出關于真空泵20的負荷轉矩增加速度的變化率，也就是每單位時間內上述增加速度的變化量，在判斷這種計算結果大于預定值時，進行上述減速控制。這樣，在真空泵20的負荷轉矩在時間點t1之前的增加速度不是一定值的情況下，也可以正確的把握真空泵20的負荷轉矩的增加速度在預定時間間隔內發生什么量的變化。
在這種情況下，例如ECU31計算出現在的負荷轉矩的增加速度和從現在開始預定時間之前的時間點處的負荷轉矩增加速度之間的差。當判斷在從現在的負荷轉矩的增加速度中減去預定時間之前的時間點處的負荷轉矩的增加速度所得到的結果(增加速度差)大于預定值時，可以判斷真空泵20的負荷轉矩的增加速度發生急劇的上升變化。根據這種判斷，ECU31為降低真空泵20的負荷轉矩的增加速度而進行上述減速控制。
在利用ECU31將驅動頻率降低的開始時間點(t1)至電動機22的電流值達到上限值i2的過程中，真空泵20的負荷轉矩的增加速度沒有必要設為線性的增加傾向。例如，從時間點t1的負荷轉矩的增加速度比傳統的低，隨后到電流值達到上限值i2的過程中，負荷轉矩的增加速度比傳統的高。這樣，例如就在真空泵20的負荷轉矩剛剛上升之后，增加速度降低，而電流值達到上限值i2的時間卻能比傳統的更短。
為了將真空泵20的負荷轉矩的增加速度變化率(每單位時間內上述增加速度的變化量)朝著預定的目標值降低，ECU31進行上述減速控制即可。在這種情況下，例如使圖3(b)中點劃線所示的曲線62相對應的負荷轉矩的增加速度的變化率成為上述預定目標值。圖3(a)是表示在這種情況下電動機22的驅動頻率的時序圖，圖3(b)是表示電動機22的電流值的時序圖。圖3(a)中的虛線所示的線91與圖2(a)相同，表示傳統的電動機的驅動頻率。圖3(b)中虛線所示的線92與圖2(b)相同，表示傳統的電動機的電流值。
這樣為了使真空泵20的負荷轉矩的增加速度的變化率與預定的目標值接近或者一致而進行控制。通過這種控制，真空泵20的負荷轉矩的至少上升開始時的增加速度比原來的增加速度降低。因此，在真空泵20的構成材料受到的沖擊中，因為真空泵20的負荷轉矩的增加速度的變化率導致的沖擊可以變小。
可以在ECU31判斷所述增加速度急劇發生上升變化之后立即停止，或者在從該判斷結束時刻之后的預定時間之后停止利用ECU31監視真空泵20的負荷轉矩的增加速度。這樣一來，例如，與ECU31繼續處于動作狀態而反復進行所述監視的情況相比，停止所述監視可以減輕ECU31的負擔。
另外，在這種情況下，也可以對利用ECU31進行所述減速控制的重復次數有所限制。這樣，在真空泵20的負荷轉矩上升時，真空泵20的構成材料受到的沖擊小，雖如此卻能夠使電動機22的旋轉速度盡早回到例如真空泵20的排氣效率高的高的旋轉速度。
另外，若設定電動機22的驅動頻率的下限，同時不降至該下限之下地對電動機22進行驅動，則可以不必限制所述減速控制的重復次數。
電動機22的驅動頻率降低時，可質該驅動頻率不是逐漸減少而是從驅動頻率fmax向驅動頻率fmin急劇減少。在這種情況下，可以使真空泵20的負荷轉矩上升時的增加速度降低。
也可以設置對電動機22提供的供給電流的上限值i2。也就是限制真空泵20中的負荷轉矩的最大值。
例如，也可以為了檢測真空泵負荷轉矩而設置轉矩傳感器，以根據電動機22的供給電流以外的方法來掌握所述負荷轉矩。
電動機22也可以由無電刷DC電機以外的同步電機類型的無電刷電機構成。這種電機的示例是，磁阻同步電機、步進電機、感應型同步電機、永磁體同步電機、磁滯同步電機等。并且，電動機22也可以采用電感電機類型的無電刷電機或者由上述電機之外的無電刷電機。另外，還可以采用有電刷電機，例如DC電機和通用電機等。
電動機22只要是可通過調節提供給電動機22的供給電流的電壓值調節電動機22的旋轉速度的類型即又。在這種情況下，所述電壓值與旋轉速度指令值相當。
在上述實施方案中，真空泵20是用于負載鎖定室13的，但也可以用于處理室12。或者可以用于半導體制造裝置11之外的裝置。
上述實施方案是在負載鎖定室13處于大氣壓狀態下第一閥17打開的情況下以電動機22的控制為目標。但是不限于此。例如也可在電動機22起動時，為了降低真空泵20的負荷轉矩的增加速度，進行電動機的減速控制。或者在本發明中，不只限于從真空泵20的負荷轉矩的增加速度為0的狀態上升，也包括在從比0大的增加速度向更大的增加速度上升時為了降低負荷轉矩的增加速度，對電動機22進行減速控制的情況。
權利要求
1.一種真空泵控制裝置，所述真空泵具有為使排氣目標空間具有預定真空度而進行排氣的泵機構以及用于驅動該泵機構的電動機，其特征在于，在所述真空泵每單位時間的負荷轉矩的增加量發生急劇上升變化時，進行減速控制以使電動機的旋轉速度下降。
2.如權利要求1所述的真空泵控制裝置，其中根據提供給電動機的供給電流值而計算出所述真空泵的負荷轉矩。
3.如權利要求1或2所述的真空泵控制裝置，其中每隔預定時間反復監視所述真空泵每單位時間的負荷轉矩的增加量，并且在判斷了真空泵每單位時間的負荷轉矩發生急劇上升變化之后繼續這種監視。
4.如權利要求1或2所述的真空泵控制裝置，其中在所述真空泵每單位時間的負荷轉矩增加量大于預定值時，判斷真空泵每單位時間的負荷轉矩的增加量發生急劇的上升變化，進行所述減速控制。
5.如權利要求1或2所述的真空泵控制裝置，其中在所述真空泵每單位時間的負荷轉矩增加量的變化率大于預定值時，判斷真空泵每單位時間內負荷轉矩的增加量發生急劇的上升變化，進行所述減速控制。
6.如權利要求4所述的真空泵控制裝置，其中為使所述真空泵每單位時間的負荷轉矩增加量向預定目標值降低而進行所述減速控制。
7.如權利要求5所述的真空泵控制裝置，其中為使所述真空泵每單位時間的負荷轉矩增加量的變化率向預定目標值降低而進行所述減速控制。
8.如權利要求1或2所述的真空泵控制裝置，其中為使所述真空泵的負荷轉矩不超過預定上限值而進行電動機的控制。
9.如權利要求1或2所述的真空泵控制裝置，其中所述電動機具有同步電機類型或者感應電機類型的無電刷電機結構。
10.如權利要求1或2所述的真空泵控制裝置，其中所述真空泵以在半導體制造裝置中與處理室并設的負載鎖定室作為排氣目標空間。
11.如權利要求1或2所述的真空泵控制裝置，其中每隔預定時間反復監視所述真空泵每單位時間的負荷轉矩增加量，并在判斷了真空泵每單位時間負荷轉矩增加量發生急劇上升變化之后停止這種監視。
12.如權利要求11所述的真空泵控制裝置，其中限制所述減速控制的重復次數。
13.一種真空泵控制方法，所述真空泵具有為使排氣目標空間具有預定真空度而進行排氣的泵機構以及用于驅動該泵機構的電動機，其特征在于，在所述真空泵每單位時間的負荷轉矩的增加量發生急劇上升變化時，進行減速控制以使電動機的旋轉速度下降。
全文摘要
本發明涉及一種真空泵的控制裝置，該真空泵(20)具有為使排氣目標空間具有預定真空度而進行排氣的泵機構(21)以及用于驅動該泵機構(21)的電動機(22)。在所述真空泵(20)每單位時間的負荷轉矩的增加量發生急劇上升變化時，真空泵(20)的控制裝置進行減速控制以使電動機(22)的旋轉速度下降。
文檔編號F04B37/00GK1514133SQ20031012544
公開日2004年7月21日 申請日期2003年12月18日 優先權日2002年12月18日
發明者川口真廣, 山本真也, 佐藤大輔, 越坂亮介, 藏本覺, 也, 介, 輔 申請人:株式會社豐田自動織機