襯底保持裝置制造方法
【專利摘要】本發(fā)明的課題在于提供一種襯底保持裝置，其可在不使襯底全部區(qū)域發(fā)生撓曲的情況下保持襯底，并且可簡單且低價地制作。所述襯底保持裝置具有肘節(jié)夾具(30)，該肘節(jié)夾具(30)沿襯底的邊緣部(P1)而設(shè)置，且夾持該襯底的邊緣部(P1)而保持襯底。其特征在于，該肘節(jié)夾具(30)以襯底(P)的中心(P2)為基準(zhǔn)，面對且呈輻射狀設(shè)置，在各面對部位，沿相反方向拉伸上述襯底的同時夾持襯底(P)。
【專利說明】襯底保持裝置
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及襯底的保持技術(shù)，具體地涉及一種襯底保持裝置，適用于比如非電解的顯影處理、蝕刻處理、剝離處理或電解液覆蓋處理等的襯底的水平運送。
【背景技術(shù)】
[0002]作為這種現(xiàn)有技術(shù)，公知有如下的專利文獻(xiàn)I所示的運送系統(tǒng)(參照圖9)。
[0003]該運送系統(tǒng)100包括持握裝置101，該持握裝置101具有從襯底W的內(nèi)側(cè)和外側(cè)夾持襯底的滾輪101a、101b。另外，持握裝置101在襯底W的左、右兩側(cè)方相互對合而設(shè)置。而且，如圖10所示，如果在滾輪IOlaUOlb的間隙中插入襯底W，沿相反的方向使各滾輪旋轉(zhuǎn)，則將襯底W拉入滾輪101a、101b內(nèi)而進(jìn)行持握。另外，對于持握裝置101、101，在襯底的左、右的控制的方向是相反的，襯底W以其中心線Wl為邊界，在沿左、右寬度方向受到拉伸。即，由于產(chǎn)生以中心線Wl為邊界而相反的方向的拉力，故襯底W在不發(fā)生因該拉力而撓曲的情況下被保持。
[0004]現(xiàn)有技術(shù)文獻(xiàn)
[0005]專利文獻(xiàn)
[0006]專利文獻(xiàn)1:日本特表第2010-529294號公報
【發(fā)明內(nèi)容】
[0007]發(fā)明要解決的問題
[0008]但是，在上述運送系統(tǒng)100中，雖然以襯底W的中心線Wl為邊界，沿其左、右寬度方向可抑制襯底的撓曲，但是，在襯底W的長度方向使拉力產(chǎn)生偏差，襯底會產(chǎn)生波狀起伏。特別是，在供給電解液覆蓋處理等的水平運送裝置中，由于因其撓曲，處理液殘留于襯底上，故在確保質(zhì)量方面要求進(jìn)行改善。
[0009]另外，在上述運送系統(tǒng)中，必須要求用于分別驅(qū)動各滾輪的驅(qū)動裝置以及用于正確地控制各滾輪的旋轉(zhuǎn)量的控制裝置，但是，所述裝置復(fù)雜且價格昂貴。另外，由于處理液的附著，使?jié)L輪的保持力發(fā)生變化，故無法獲得穩(wěn)定的保持力，必須要求部件的定期更換和維修。
[0010]本發(fā)明是在考慮了上述的技術(shù)課題而提出的，本發(fā)明的目的在于提供一種襯底保持裝置，其可在不使襯底全部區(qū)域撓曲的情況下保持襯底，并且可簡單而低價地制作。
[0011]用于解決問題的技術(shù)方案
[0012]為了實現(xiàn)上述目的，本發(fā)明采取如下構(gòu)成。
[0013]一種襯底保持裝置，該襯底保持裝置具有多個保持件，該保持件沿襯底的邊緣部而設(shè)置，并且夾持該襯底的邊緣部而保持襯底，其特點在于， [0014]這些保持件以上述襯底的中心為基準(zhǔn)，相對且呈輻射狀設(shè)置，在各面對部位，沿相反方向拉伸上述襯底的同時夾持襯底。
[0015]其中，術(shù)語“襯底”主要指印刷電路襯底，但是其并不限于印刷電路襯底，廣泛地包括比如薄膜、玻璃等的薄板狀的部件。
[0016]按照該結(jié)構(gòu)的本發(fā)明，以襯底的中心為基準(zhǔn)，面對且呈輻射狀設(shè)置保持件。另外，由于在各面對部位，沿相反方向拉伸襯底的同時夾持襯底，故在該面對部位之間產(chǎn)生的張力以襯底的中心為基準(zhǔn)，沿相反方向作用。另外，由于保持件以襯底的中心為基準(zhǔn)呈輻射狀設(shè)置，故在襯底的各方向保持拉力的平衡，襯底在沒有于其全部區(qū)域內(nèi)發(fā)生撓曲的情況下被保持。
[0017]即，在本發(fā)明中，以襯底的中心為基準(zhǔn)，以點對稱地方式設(shè)置各保持件，保持襯底的各方向的張力的平衡。
[0018]另外，上述保持件也可為，相對該襯底使角度可自由變更的方式設(shè)置的結(jié)構(gòu)。
[0019]在該結(jié)構(gòu)中，由于相對襯底可自由地改變保持件的角度，故即使在襯底的外形尺寸改變的情況下，仍可將基準(zhǔn)與襯底的中心正確地對準(zhǔn)。
[0020]還有，上述保持件還可為具有用于調(diào)整保持力的保持力調(diào)整機(jī)構(gòu)的結(jié)構(gòu)。
[0021]按照該結(jié)構(gòu)，由于可在設(shè)置保持件的各部位分別調(diào)節(jié)襯底的保持力，故可抑制由于保持力的差異所造成的拉力的偏離。
[0022]此外，上述保持件也可為下述的結(jié)構(gòu)，其具有用于夾持該襯底的臂，上述臂相對上述襯底，以可從其表面?zhèn)茸杂尚D(zhuǎn)的方式設(shè)置。
[0023]按照該結(jié)構(gòu)，在臂旋轉(zhuǎn)而倒向襯底側(cè)時，由于臂相對襯底沿臂的延伸方向稍微錯開，故在該結(jié)構(gòu)中，利用該“錯開”拉動襯底。另外，由于利用在臂的旋轉(zhuǎn)時產(chǎn)生的“錯開”拉動襯底，故可簡單而低價地制作。另外，在上面描述中，表面?zhèn)扰c襯底的內(nèi)、外無關(guān)，僅指襯底的面。
[0024]再有，其特點在于，在上述臂上設(shè)置與上述襯底接觸的附件，其接觸面在沿上述臂的縱向的直線上呈圓弧狀鼓起。
[0025]按照具有這樣的表面形狀的附件，即使在附件和襯底之間的角度發(fā)生改變的情況下，附件的邊緣仍不會鉤掛于襯底上，另外，由于接觸點均不相對固定位置而錯開，故可在固定位置以良好的精度夾持襯底。即，在襯底和附件之間，沒有作用不合理的力，還能抑制保持位置的錯開。
[0026]另外，其特點在于，上述臂可向遠(yuǎn)離上述襯底的方向開放，并且該開放時的臂的角度按照相對襯底的表面，以90°以上而打開的方式設(shè)定。
[0027]按照該結(jié)構(gòu)，由于相對襯底的表面，臂以90°以上的程度打開，故相對本裝置，可從其正面?zhèn)妊b卸襯底。
[0028]此外，上述保持件也可為肘節(jié)夾具。
[0029]即，由于肘節(jié)夾具具有增力機(jī)構(gòu)，故通過采用肘節(jié)夾具，即使通過微小的力，仍可保持襯底。
[0030]發(fā)明的效果`
[0031]如上所述，按照本發(fā)明，其可在不使襯底全部區(qū)域發(fā)生撓曲的情況下保持襯底，另外，可提供簡單且低價地制作的襯底保持裝置。特別是，具有還廣泛地適用于實施強力的噴淋處理、強力的吹氣除液處理等的場合的優(yōu)點。
【專利附圖】
【附圖說明】[0032]圖1為本實施方式所示的襯底保持裝置的俯視圖；
[0033]圖2為本實施方式所示的保持件的側(cè)視圖；
[0034]圖3為表示圖2所示的保持件的開放狀態(tài)的側(cè)視圖；
[0035]圖4為圖2所示的保持件的俯視圖；
[0036]圖5為設(shè)置于保持件前端的附件的放大圖；
[0037]圖6為表示本實施方式所示的附件和襯底的接觸狀態(tài)的主要部分的放大圖；
[0038]圖7為表示經(jīng)過圖6的步驟，保持襯底的狀態(tài)的主要部分的放大圖；
[0039]圖8為表示作用于襯底上的拉力的示意圖； [0040]圖9為表不現(xiàn)有的運送系統(tǒng)的王視圖；
[0041]圖10為組裝于現(xiàn)有的運送系統(tǒng)中的滾輪的放大圖；
【具體實施方式】
[0042]下面參照附圖，對本發(fā)明的襯底保持裝置I進(jìn)行說明。
[0043]本實施方式所示的襯底保持裝置I如圖1所示，由架狀的支架2和肘節(jié)夾具30 (保持件)構(gòu)成，該支架2沿襯底P的邊緣部Pl而設(shè)置，該肘節(jié)夾具30以襯底P的中心P2為
基準(zhǔn)面對且呈輻射狀設(shè)置。
[0044]支架2由富含耐腐蝕性的金屬性的板構(gòu)成，其外形尺寸按照與運送對象的襯底P吻合的方式設(shè)計。另外，在支架2的各部位安裝肘節(jié)夾具30，通過該多個肘節(jié)夾具30將襯底P保持于支架2內(nèi)部。
[0045]肘節(jié)夾具(在下面簡稱為夾具30)如圖2所示，包括:固定臂31，該固定臂31從內(nèi)面?zhèn)戎С幸r底P ;從動臂32，該從動臂32以可旋轉(zhuǎn)的方式支承于該固定臂31上；肘式機(jī)構(gòu)33，該肘式機(jī)構(gòu)33使該從動臂32朝向固定臂31按壓；操作桿34，該操作桿34與組裝于該肘式機(jī)構(gòu)33中的連桿33a連接。另外形成下述的結(jié)構(gòu)，其中，在固定臂31和從動臂32的前端組裝橡膠制的附件35、36，固定臂和從動臂31、32分別經(jīng)由附件35、36，將襯底P夾于其前端部分。
[0046]上述從動臂32以設(shè)置于其基端的支承軸32a為中心，按照可旋轉(zhuǎn)的方式設(shè)置于固定臂31側(cè)。另外，從動臂32經(jīng)由肘式機(jī)構(gòu)33的連桿33a、33b與操作桿34連接，操作桿34的操作力經(jīng)由肘式機(jī)構(gòu)33，使從動臂32旋轉(zhuǎn)到固定臂31側(cè)。即，通過操作桿34的操作，從動臂32倒向襯底P側(cè)。
[0047]另外，固定臂和從動臂31、32以及夾具30可采用比如金屬、樹脂而形成。
[0048]此外，對肘式機(jī)構(gòu)33進(jìn)行說明，該肘式機(jī)構(gòu)33為使操作力倍增的連桿機(jī)構(gòu)的一種，包括輸入操作力的第I連桿33a ;第2連桿33b，該第2連桿33b與該第I連桿33a連接，且其長度大于第I連桿；滑動件33c，該滑動件33c將第2連桿33b的運動轉(zhuǎn)換為直線運動。
[0049]另外，該夾具30中，第I連桿33a和操作桿34成一體地設(shè)置，滑動件33c相當(dāng)于從動臂32。此外，滑動件33c原本為進(jìn)行直線運動的部件，但經(jīng)由支承軸32a，以可旋轉(zhuǎn)的方式設(shè)置滑動件33c，由此，可將該直線運動轉(zhuǎn)換為旋轉(zhuǎn)運動。即，作為滑動件33c的從動臂32通過操作桿34的操作而旋轉(zhuǎn)。
[0050]還有，該連桿比為:使輸入到該第I連桿33a中的操作力倍增的比例，如果對滑動件33c施加負(fù)荷，則可使大于該負(fù)荷的相反方向的力作用于該滑動件33c上。另外，由于操作力的倍增原理依據(jù)普通的“杠桿原理”，故在本說明書中省略其說明。
[0051 ] 接著，參照圖2和圖3對從動臂32進(jìn)行說明。
[0052]以可旋轉(zhuǎn)的方式設(shè)置于固定臂31上的從動臂32在倒向固定臂31側(cè)時，在將襯底P拉于夾具內(nèi)側(cè)的同時倒入。即，由于在從動臂32旋轉(zhuǎn)時，相對固定臂31側(cè)的附件36，使從動臂32側(cè)的附件35在臂的延伸方向前后移動的同時進(jìn)行旋轉(zhuǎn)，故在附件36、附件35之間，產(chǎn)生使襯底P相對固定臂31進(jìn)行前后運動的力。
[0053]此外，與此有關(guān)，在本實施方式中，以在從動臂32和固定臂31之間夾持襯底P的狀態(tài)為基準(zhǔn)，按照夾具向內(nèi)的力(圖2中的箭頭A)作用于襯底P上的方式設(shè)定連桿的長度。即，由于使襯底P相對固定臂31而前后運動的力沿與從動臂32的操作量達(dá)到一定量相反的方向作用，故考慮這一點而確定連桿的長度。于是，夾持于從動臂32和固定臂31之間的襯底P承受夾具向內(nèi)的力，在被拉向于夾具內(nèi)部的同時受到夾持。
[0054]然后，參照圖5和圖7，對分別設(shè)置于固定臂和從動臂31、32的前端的附件35、36進(jìn)行說明。另外，由于從動臂32側(cè)的附件35、與固定臂31側(cè)的附件36為相同結(jié)構(gòu)，以相同方式組裝，故在下面以從動臂32側(cè)的附件35為主進(jìn)行說明。
[0055]附件35 (36)由橡膠制成，在其中心部分設(shè)置支承軸35a (36a)，該支承軸35a (36a)的外周上形成有螺紋。另外，附件35 (36)經(jīng)由支承軸35a (36a)，與臂31 (32)螺紋連接。此外，支承軸35a (36a)按照以上下貫通臂31 (32)的方式設(shè)置(參照圖2)，如果在將支承軸35a (36a)組裝于臂31 (32)上的狀態(tài)使支承軸35a (36a)旋轉(zhuǎn)，則可調(diào)整附件35 (36)的突出量。另外，圖5中的標(biāo)號35b (36b)表不支承軸35a (36a)用的鎖定螺母。
[0056]此外，橡膠制成的附件35 (36)的前端呈半球面狀，與襯底P的接觸狀態(tài)保持良好。另外，關(guān)于這一點，如果著眼于從動臂32的附件35，則即使在附件35的支承軸35a和襯底P之間所成角度Θ1變化的情況下，接觸角Θ2(Θ2< Θ1)在平時保持在90°左右。由此，與附件35的角度無關(guān)，在襯底P上始終作用有垂直方向的壓力。
[0057]關(guān)于此，在本實施方式所示的夾具30中，由于將襯底P拉到內(nèi)側(cè)而夾持，故附件35的接觸角Θ2按照極小而為銳角的方式設(shè)定。另外，作為在銳角側(cè)設(shè)定接觸角Θ2的方法，使從動臂32側(cè)的附件35稍多地突出。
[0058]即，在附件35與襯底P之間的角度Θ I滿足90°時，在該狀態(tài)，將附件35的支承軸35a向襯底P側(cè)稍稍延伸，由此，其觸點在襯底邊緣部側(cè)錯開，附件35的接觸角Θ 2設(shè)定在銳角側(cè)。另外，如果根據(jù)該設(shè)定，將附件35與襯底P之間的角度Θ I保持在90°，則襯底P在因該觸點的錯開，沿夾具向內(nèi)(圖7中的箭頭A方向)受到拉伸的同時，受到夾持。
[0059]另外，通過接觸角Θ 2的調(diào)整，襯底P和附件35的觸點也稍稍錯開，但是由于附件35的前端由半球形狀的橡膠制成，具有柔性，故通過附件35的微小變形，將其錯位吸收。由此，即使調(diào)整接觸角Θ 2，襯底P仍在不歪斜的情況下保持于附件35的中間處。
[0060]像這樣，在本實施方式中，由于具有可將襯底P的接觸角Θ 2調(diào)整到任意值的附件35 (36)，故可將襯底P的保持力在夾具各部位調(diào)整到所需的強度。
[0061]此外，由于襯底P的保持力與附件35(36)的緊固轉(zhuǎn)矩成比例，故如果通過扳手等對該緊固轉(zhuǎn)矩的數(shù)值進(jìn)行管理，則可在各方向以更加良好的精度調(diào)節(jié)作用于襯底P上的拉力。[0062]還有，像這樣構(gòu)成的夾具30設(shè)置于支架2的各部位。設(shè)置于支架2的各部位的夾具30以襯底P的中心P2為基準(zhǔn)，面對且呈輻射狀設(shè)置。即，各夾具30朝向襯底P的中心P2而設(shè)置，并且以襯底P的中心P2為基準(zhǔn)，設(shè)置為點對稱。另外，各夾具30按照如圖4所示，相對襯底P而角度自由的方式設(shè)置，可以所需的角度而保持襯底P。
[0063]然后，對夾具30的操作方法進(jìn)行說明。
[0064]在打開夾具30時，拉起操作桿34 (參照圖3)，沿遠(yuǎn)離固定臂31的方向，對從動臂32進(jìn)行操作。另外，打開時的臂角度按照相對襯底表面，以90°以上而打開的方式設(shè)定。因此，由于在夾具30打開時，襯底P的正面?zhèn)鹊恼麄€面打開，故容易進(jìn)行襯底P的更換。
[0065]另外，如果通過設(shè)置在各部分上的夾具30夾持襯底P的邊緣部Pl，使操作桿34倒入，則襯底P在以其中心為基準(zhǔn)，向各方向拉伸的同時被保持。于是，相對襯底P，在各方向產(chǎn)生拉力，襯底P以不在全部區(qū)域內(nèi)發(fā)生撓曲的情況下被保持。
[0066]此外，如上所述，襯底P的保持力可分別設(shè)定于夾具上，由此，如圖8中的各箭頭A、B、C(A > B > C)所示，在襯底P的面對部位，在其跨度大的部位設(shè)定較大的拉力，與此相反，在其跨度短的部位設(shè)定較小的拉力，由此，襯底的全部區(qū)域中的拉力能以更加良好的精度保持平衡。如此，在本實施方式中，可在其全部區(qū)域內(nèi)不發(fā)生撓曲的情況下保持襯底P，另外，由于保持件采用部件數(shù)量少的夾具30，故可簡單且低價地制作。
[0067] 還有，上述實施方式僅是一個舉例，其細(xì)部可對應(yīng)于各種樣式而改變。比如，在本實施方式中，以長方形的襯底P為例而進(jìn)行說明，但是，也可通過改變支架2的形狀，以對應(yīng)圓形、長條形等各種形狀。保持件可采用具有增力機(jī)構(gòu)的肘節(jié)夾具30，也可采用不具有增力機(jī)構(gòu)的夾具。
[0068]標(biāo)號的說明:
[0069]標(biāo)號I表示襯底保持裝置；
[0070]標(biāo)號2表不支架;
[0071]標(biāo)號30表示肘節(jié)夾具；
[0072]標(biāo)號31表不固定臂；
[0073]標(biāo)號32表示從動臂；
[0074]標(biāo)號32a表示從動臂的支承軸；
[0075]標(biāo)號33表不肘式機(jī)構(gòu)；
[0076]標(biāo)號33a表示第I連桿；
[0077]標(biāo)號33b表示第2連桿；
[0078]標(biāo)號33c表不滑動件；
[0079]標(biāo)號34表不操作桿；
[0080]標(biāo)號35表從動臂側(cè)的附件；
[0081]標(biāo)號35a表不附件的支承軸；
[0082]標(biāo)號35b表不鎖定螺母；
[0083]標(biāo)號36表不固定臂側(cè)的附件；
[0084]標(biāo)號36a表不鎖定螺母；
[0085]標(biāo)號100表不運送系統(tǒng)；
[0086]標(biāo)號101a、IOlb表示滾輪；[0087]標(biāo)號P表不襯底；
[0088]標(biāo)號Pl表示襯底的邊緣部；
[0089]標(biāo)號P2表示襯底的中心；
[0090]標(biāo)號W表不襯底；
[0091]標(biāo)號Wl表示襯底的中心線。
【權(quán)利要求】
1.一種襯底保持裝置，該襯底保持裝置具有多個保持件，該保持件沿襯底的邊緣部而設(shè)置，并且夾持該襯底的邊緣部而保持襯底，其特征在于， 這些保持件以上述襯底的中心為基準(zhǔn)，相對且呈輻射狀設(shè)置，在各面對部位，沿相反方向拉伸上述襯底的同時夾持襯底。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的襯底保持裝置，其特征在于，上述保持件按照相對該襯底能自由調(diào)整角度的方式設(shè)置。
3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的襯底保持裝置，其特征在于，上述保持件具有用于調(diào)整保持力的保持力調(diào)整機(jī)構(gòu)。
4.根據(jù)權(quán)利要求1~3所述的襯底保持裝置，其特征在于，上述保持件具有用于夾持該襯底的臂； 上述臂相對上述襯底，以能從其表面?zhèn)茸杂尚D(zhuǎn)的方式設(shè)置。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的襯底保持裝置，其特征在于，在上述臂上設(shè)置與上述襯底接觸的附件，其接觸面在沿上述臂的縱向的直線上呈圓弧狀鼓起。
6.根據(jù)權(quán)利要求4或5所述的襯底保持裝置，其特征在于，上述臂可沿遠(yuǎn)離上述襯底的方向開放，并且該開放時的臂的角度按照相對襯底表面，以90°以上而打開的方式設(shè)定。
7.根據(jù)權(quán)利要求1~6中的任何一項所述的襯底保持裝置，其特征在于，上述保持件為肘節(jié)夾具。
【文檔編號】C25D17/06GK103726096SQ201310293729
【公開日】2014年4月16日 申請日期:2013年7月12日 優(yōu)先權(quán)日:2012年10月15日
【發(fā)明者】奈良利夫, 竹松晴美 申請人:艾工場股份有限公司, 東京化工機(jī)株式會社