專利名稱：用于集成電路制造的電鍍槽結(jié)構(gòu)的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型涉及一種用于集成電路制造的電鍍槽結(jié)構(gòu)。
背景技術(shù)：
隨著半導(dǎo)體集成電路的不斷向前發(fā)展，器件尺寸不斷縮小，互連線的尺寸也隨之等比例縮小。為了降低互連本身的電阻，使用銅互連代替鋁互連已經(jīng)成為業(yè)界常見(jiàn)的技術(shù)。當(dāng)前，銅互連技術(shù)中，電化學(xué)鍍(ECP/E⑶)工藝是最為主流的銅成膜方法。為了取得良好的填充效果，電化學(xué)鍍的電鍍液中一般會(huì)加入有機(jī)添加劑，添加劑在一段時(shí)間后可能會(huì)分解，發(fā)生成分變化，因此，電鍍液需要定期更換。目前主流的ECP/ECD設(shè)備電鍍液采用兩種供給方式，一種是大鍍液槽設(shè)計(jì)，另一種是小鍍液槽設(shè)計(jì)。其中，大鍍液槽設(shè)計(jì)是指設(shè)備各電鍍槽的電鍍液存儲(chǔ)在同一個(gè)大鍍液槽內(nèi)，該大鍍液槽同時(shí)向各個(gè)電鍍槽分別供給電鍍液形成循環(huán)回路。小鍍液槽設(shè)計(jì)是指各個(gè)電鍍槽都有單獨(dú)的小鍍液槽，各小鍍液槽分別向各自對(duì)應(yīng)的電鍍槽供給電鍍液形成循環(huán)回路。在小鍍液槽中，鍍液槽內(nèi)的電鍍液采用定期更換的方式，使添加劑在分解之前就被更換掉，使鍍液成分始終處于比較穩(wěn)定的狀態(tài)。但是，在更換陽(yáng)極液時(shí)，陽(yáng)極會(huì)有一段時(shí)間暴露在空氣中，由于陽(yáng)極一般采用銅，非常容易引起氧化。因此，在更換完陽(yáng)極液后，需要跑多片晶圓(wafer)，使得陽(yáng)極表面的氧化層去除。如此，造成了晶圓的浪費(fèi)。在大鍍液槽中，由于鍍液槽容量比較大，一般不采取全部更換的方式，而是根據(jù)成分變化，部分更換鍍液及補(bǔ)充添加劑，從而保證鍍液成分始終處于一個(gè)比較穩(wěn)定的狀態(tài)，同時(shí)也避免了陽(yáng)極暴露在空氣中的情況。但是，采用這種換液方式，需要增加一套成分分析的組件，但是這套組件成本非常昂貴，一般在幾十萬(wàn)美元以上，如此會(huì)大大增加成本。另外，如果陽(yáng)極接觸到被添入陰極液的添加劑，有可能會(huì)在陽(yáng)極表面形成陽(yáng)極泥 (anode slime)。陽(yáng)極泥是指在電流作用下陽(yáng)極在溶解過(guò)程中產(chǎn)生的不溶性殘?jiān)?。由于該?yáng)極泥會(huì)阻礙電鍍過(guò)程。因此，若產(chǎn)生了陽(yáng)極泥，則需要將鍍液槽打開(kāi)進(jìn)行維護(hù)，操作比較繁瑣，影響較大。為了防止陽(yáng)極接觸添加劑，可以在鍍液槽內(nèi)增加一層陽(yáng)離子透膜。該陽(yáng)離子透膜能將陰極液和陽(yáng)極液分開(kāi)，其僅允許陽(yáng)離子能夠沒(méi)有阻礙地透過(guò)，而大分子的有機(jī)物添加劑無(wú)法通過(guò)陽(yáng)離子透膜到達(dá)該陽(yáng)極表面，從而防止在陽(yáng)極表面形成陽(yáng)極泥。但是，該陽(yáng)離子透膜比較嬌貴，需要一直處于濕潤(rùn)狀態(tài)，否則容易干掉硬化，從而失去功效。而且，在設(shè)備日常維護(hù)中需要經(jīng)常擦拭腔體，也有可能碰到這層膜，從而，導(dǎo)致這層陽(yáng)離子透膜的損壞。因此，如何提供一種可以避免陽(yáng)極接觸空氣和添加劑的用于集成電路制造的電鍍槽結(jié)構(gòu)是本領(lǐng)域技術(shù)人員亟待解決的一個(gè)技術(shù)問(wèn)題。
實(shí)用新型內(nèi)容本實(shí)用新型的目的在于提供一種用于集成電路制造的電鍍槽結(jié)構(gòu)，可以防止陽(yáng)極接觸空氣和添加劑，防止陽(yáng)極氧化和產(chǎn)生陽(yáng)極泥。
3[0009]為了達(dá)到上述的目的，本實(shí)用新型采用如下技術(shù)方案一種用于集成電路制造的電鍍槽結(jié)構(gòu)，包括電鍍槽、陽(yáng)極液鍍液槽和陰極液鍍液槽，所述電鍍槽通過(guò)第一陽(yáng)離子透膜分為陰極液腔室和陽(yáng)極液腔室，所述陽(yáng)極液腔室包括第一陽(yáng)極液腔室和第二陽(yáng)極液腔室，所述第一陽(yáng)極液腔室和所述第二陽(yáng)極液腔室通過(guò)第二陽(yáng)離子透膜分隔，所述第二陽(yáng)極液腔室設(shè)有陽(yáng)極，所述陰極液腔室和所述陰極液鍍液槽構(gòu)成陰極液循環(huán)回路，所述第一陽(yáng)極液腔室和所述陽(yáng)極液鍍液槽構(gòu)成第一陽(yáng)極液循環(huán)回路， 所述第二陽(yáng)極液腔室和所述陽(yáng)極液鍍液槽構(gòu)成第二陽(yáng)極液循環(huán)回路。優(yōu)選，所述第二陽(yáng)離子透膜和第一陽(yáng)極液腔室的部分底板圍成所述第二陽(yáng)極液腔室，或者，所述第二陽(yáng)離子透膜通過(guò)隔離壁和第一陽(yáng)極液腔室的部分底板圍成所述第二陽(yáng)極液腔室，或者，所述第二陽(yáng)離子透膜和第一陽(yáng)極液腔室的底板和周壁下部圍成所述第二陽(yáng)極液腔室。優(yōu)選，所述隔離壁采用聚偏氟乙烯或者陶瓷或者兩者的結(jié)合。優(yōu)選，所述陰極液循環(huán)回路還包括第一液壓泵、第一閥和第二閥，陰極液鍍液槽的輸出端依次經(jīng)第一液壓泵和第一閥與陰極液腔室的輸入端連接，陰極液腔室的輸出端經(jīng)第二閥與陰極液鍍液槽的輸入端連接。優(yōu)選，所述第一液壓泵和所述第一閥之間還設(shè)有過(guò)濾器。優(yōu)選，所述第一陽(yáng)極液循環(huán)回路和第二陽(yáng)極液循環(huán)回路共用一個(gè)第二液壓泵。優(yōu)選，第一陽(yáng)極液循環(huán)回路還包括第三閥和第四閥，所述第二陽(yáng)極液循環(huán)回路還包括第五閥和第六閥，陽(yáng)極液鍍液槽的輸出端和第二液壓泵的輸入端連接，第二液壓泵的輸出端分成兩路，一路經(jīng)過(guò)第三閥和第一陽(yáng)極液腔室的輸入端連接，另一路經(jīng)第五閥與第二陽(yáng)極液腔室的輸入端連接，第一陽(yáng)極液腔室的輸出端經(jīng)第四閥和陽(yáng)極液鍍液槽的輸入端連接，第二陽(yáng)極液腔室的輸出端經(jīng)第六閥和陽(yáng)極液鍍液槽的輸入端連接。優(yōu)選，所述第二陽(yáng)極液腔室和所述第一陽(yáng)極液腔室的容量比是0. 025-0. 15。優(yōu)選，所述陰極液鍍液槽的容量為15 20L，所述陽(yáng)極液鍍液槽的容量為15 20L。優(yōu)選，所述第二陽(yáng)極液腔室有0. 5L 2L。本實(shí)用新型的有益效果如下本實(shí)用新型用于集成電路制造的電鍍槽結(jié)構(gòu)相比現(xiàn)有技術(shù)，多增加了一層陽(yáng)離子透膜(即第二陽(yáng)離子透膜)和一個(gè)陽(yáng)極液循環(huán)回路(即第二陽(yáng)極液循環(huán)回路)，使陽(yáng)極處于兩層陽(yáng)離子透膜的保護(hù)中，在不影響陽(yáng)極離子傳輸?shù)那闆r下，大大降低了日常使用中可能存在的陽(yáng)離子透膜損壞而使陽(yáng)極受污染的風(fēng)險(xiǎn)，防止陽(yáng)極泥產(chǎn)生。并且在更換陽(yáng)極液時(shí)， 可以使得陽(yáng)極始終處于保留的陽(yáng)極液中，避免了陽(yáng)極在更換陽(yáng)極頁(yè)時(shí)暴露在空氣中產(chǎn)生氧化，有效減少了陽(yáng)極的損耗。由于每次保留的陽(yáng)極液很少，因此當(dāng)保留的陽(yáng)極液與新鮮補(bǔ)充的陽(yáng)極液一起混合后，對(duì)陽(yáng)極液質(zhì)量的影響極小，不會(huì)對(duì)生產(chǎn)產(chǎn)生不良影響。
本實(shí)用新型的用于集成電路制造的電鍍槽結(jié)構(gòu)由以下的實(shí)施例及附圖給出。圖1為本實(shí)用新型用于集成電路制造的電鍍槽結(jié)構(gòu)實(shí)施例的結(jié)構(gòu)示意圖；圖2為所述第二陽(yáng)離子透膜和第一陽(yáng)極液腔的部分底板圍成所述第二陽(yáng)極液腔
4室的結(jié)構(gòu)示意圖；圖3為所述第二陽(yáng)離子透膜和第一陽(yáng)極液腔室底板和周壁下部圍成所述第二陽(yáng)極液腔室的結(jié)構(gòu)示意圖。圖中，1-電鍍槽、10-第一陽(yáng)離子透膜、11-陰極液腔室、12-陽(yáng)極液腔室、120-第二陽(yáng)離子透膜分隔、121-第一陽(yáng)極液腔室、122-第二陽(yáng)極液腔室、123-隔離壁、2-陽(yáng)極液鍍液槽、3-陰極液鍍液槽、4-陽(yáng)極、5-第一液壓泵、61-第一閥、62-第二閥、63-第三閥、64-第四閥、65-第五閥、66-第六閥、7-第二液壓泵、8-過(guò)濾器、9-硅片。
具體實(shí)施方式
以下將對(duì)本實(shí)用新型的用于集成電路制造的電鍍槽結(jié)構(gòu)作進(jìn)一步的詳細(xì)描述。下面將參照附圖對(duì)本實(shí)用新型進(jìn)行更詳細(xì)的描述，其中表示了本實(shí)用新型的優(yōu)選實(shí)施例，應(yīng)該理解本領(lǐng)域技術(shù)人員可以修改在此描述的本實(shí)用新型而仍然實(shí)現(xiàn)本實(shí)用新型的有利效果。因此，下列描述應(yīng)當(dāng)被理解為對(duì)于本領(lǐng)域技術(shù)人員的廣泛知道，而并不作為對(duì)本實(shí)用新型的限制。為了清楚，不描述實(shí)際實(shí)施例的全部特征。在下列描述中，不詳細(xì)描述公知的功能和結(jié)構(gòu)，因?yàn)樗鼈儠?huì)使本實(shí)用新型由于不必要的細(xì)節(jié)而混亂。應(yīng)當(dāng)認(rèn)為在任何實(shí)際實(shí)施例的開(kāi)發(fā)中，必須作出大量實(shí)施細(xì)節(jié)以實(shí)現(xiàn)開(kāi)發(fā)者的特定目標(biāo)，例如按照有關(guān)系統(tǒng)或有關(guān)商業(yè)的限制，由一個(gè)實(shí)施例改變?yōu)榱硪粋€(gè)實(shí)施例。另外，應(yīng)當(dāng)認(rèn)為這種開(kāi)發(fā)工作可能是復(fù)雜和耗費(fèi)時(shí)間的，但是對(duì)于本領(lǐng)域技術(shù)人員來(lái)說(shuō)僅僅是常規(guī)工作。為使本實(shí)用新型的目的、特征更明顯易懂，
以下結(jié)合附圖對(duì)本實(shí)用新型的具體實(shí)施方式
作進(jìn)一步的說(shuō)明。需說(shuō)明的是，附圖均采用非常簡(jiǎn)化的形式且均使用非精準(zhǔn)的比率， 僅用以方便、明晰地輔助說(shuō)明本實(shí)用新型實(shí)施例的目的。請(qǐng)參閱圖1，這種用于集成電路制造的電鍍槽結(jié)構(gòu)，包括電鍍槽1、陽(yáng)極液鍍液槽2 和陰極液鍍液槽3。所述電鍍槽1通過(guò)第一陽(yáng)離子透膜10分為陰極液腔室11和陽(yáng)極液腔室12。硅片9在陰極液腔室11內(nèi)進(jìn)行電鍍。所述陽(yáng)極液腔室12包括第一陽(yáng)極液腔室121 和第二陽(yáng)極液腔室122，所述第一陽(yáng)極液腔室121和所述第二陽(yáng)極液腔室122通過(guò)第二陽(yáng)離子透膜120分隔。所述第二陽(yáng)極液腔室122設(shè)有陽(yáng)極4。所述陰極液腔室11和所述陰極液鍍液槽3構(gòu)成陰極液循環(huán)回路。所述第一陽(yáng)極液腔室121和所述陽(yáng)極液鍍液槽2構(gòu)成第一陽(yáng)極液循環(huán)回路。所述第二陽(yáng)極液腔室122和所述陽(yáng)極液鍍液槽2構(gòu)成第二陽(yáng)極液循環(huán)回路。所述陰極液循環(huán)回路還包括第一液壓泵5、第一閥61和第二閥62，陰極液鍍液槽3 的輸出端依次經(jīng)第一液壓泵5和第一閥61與陰極液腔室11的輸入端連接，陰極液腔室11 的輸出端經(jīng)第二閥62與陰極液鍍液槽3的輸入端連接。所述第一液壓泵5和所述第一閥 61之間還設(shè)有過(guò)濾器8，用于向陰極液腔室11供應(yīng)干凈的陰極液。本實(shí)施例中，所述第二陽(yáng)離子透膜120直接通過(guò)隔離壁123和第一陽(yáng)極液腔室121 的部分底板圍成所述第二陽(yáng)極液腔室122，其中，所述隔離壁123采用聚偏氟乙烯(PVDF)或者陶瓷或者兩者的結(jié)合，這兩種材料制成的隔離壁123性能穩(wěn)定，極難與陽(yáng)極液發(fā)生反應(yīng)。當(dāng)然，所述第二陽(yáng)離子透膜120也可以和第一陽(yáng)極液腔121的部分底板圍成所述第二陽(yáng)極液腔室122，其中，所述第二陽(yáng)離子透膜120呈倒扣的圓桶型，如圖2所示。或者，所述第二陽(yáng)離子透膜120和第一陽(yáng)極液腔室121的底板和周壁下部圍成所述第二陽(yáng)極液腔室122，如圖3所示。所述第一陽(yáng)極液循環(huán)回路和第二陽(yáng)極液循環(huán)回路共用一個(gè)第二液壓泵7。第一陽(yáng)極液循環(huán)回路還包括第三閥63和第四閥64，所述第二陽(yáng)極液循環(huán)回路還包括第五閥65和第六閥66，陽(yáng)極液鍍液槽2的輸出端和第二液壓泵7的輸入端連接，第二液壓泵7的輸出端分成兩路，一路經(jīng)過(guò)第三閥63和第一陽(yáng)極液腔室121的輸入端連接，另一路經(jīng)第五閥65與第二陽(yáng)極液腔室122的輸入端連接，第一陽(yáng)極液腔室121的輸出端經(jīng)第四閥64和陽(yáng)極液鍍液槽2的輸入端連接，第二陽(yáng)極液腔室122的輸出端經(jīng)第六閥66和陽(yáng)極液鍍液槽2的輸入端連接。所述第二陽(yáng)極液腔室122和所述第一陽(yáng)極液腔室121的容量比是0. 025 0. 15。 本實(shí)施例中，所述陰極液鍍液槽3的容量有15 20L，所述陽(yáng)極液鍍液槽2的容量也有15 20L。所述第二陽(yáng)極液腔室122有0. 5L 2L。這種用于集成電路制造的電鍍槽結(jié)構(gòu)在正常工作時(shí)，陰極液循環(huán)回路、第一陽(yáng)極液循環(huán)回路和第二陽(yáng)極液循環(huán)回路各自循環(huán)工作，此時(shí)，第一液壓泵5和第二液壓泵7以及第一閥61、第二閥62、第三閥63、第四閥64、第五閥65、第六閥66全為打開(kāi)狀態(tài)。由于第一陽(yáng)極液循環(huán)回路和第二陽(yáng)極液循環(huán)回路共用陽(yáng)極液鍍液槽2和第二液壓泵7，因此第一陽(yáng)極液循環(huán)回路和第二陽(yáng)極液循環(huán)回路中的陽(yáng)極液的成分是相同的。當(dāng)需要更換陰極液時(shí)，首先，關(guān)閉第一液壓泵5，并使第一閥61和第二閥62保持打開(kāi)狀態(tài)，使得陰極液腔室11內(nèi)的陰極液全部回流到陰極液鍍液槽3內(nèi)，并通過(guò)該陰極液鍍液槽3排放。等排放完成后，在該陰極液鍍液槽3內(nèi)補(bǔ)充新的陰極液，從而完成陰極液的更換。完成更換后，第一液壓泵5處于工作狀態(tài)，使第一閥61和第二閥62保持開(kāi)啟狀態(tài)，使陰極液處于循環(huán)狀態(tài)。當(dāng)需要更換陽(yáng)極液時(shí)，首先，關(guān)閉第二液壓泵7、第五閥65和第六閥66，使第二陽(yáng)極液腔室122內(nèi)保留陽(yáng)極液，而使陽(yáng)極4始終處于陽(yáng)極液的保護(hù)中，防止陽(yáng)極4接觸空氣而氧化。將第一陽(yáng)極液回路的第三閥63和第四閥64保持打開(kāi)狀態(tài)，使得第一陽(yáng)極液腔室121 內(nèi)的陽(yáng)極液全部回流到陽(yáng)極液鍍液槽2內(nèi)，并通過(guò)該陽(yáng)極液鍍液槽2排放。等排放完成后， 在該陽(yáng)極液鍍液槽2內(nèi)補(bǔ)充新的陽(yáng)極液。接著，開(kāi)啟第二液壓泵7，使得第一陽(yáng)極液循環(huán)回路開(kāi)始循環(huán)工作。最后，打開(kāi)第二陽(yáng)極液循環(huán)回路的閥門即第五閥65和第六閥66，使得第二陽(yáng)極液循環(huán)回路開(kāi)始循環(huán)工作。最終，使得兩個(gè)陽(yáng)極液循環(huán)回路內(nèi)的陽(yáng)極液混合，從而完成的陽(yáng)極液的更換。如此電鍍槽結(jié)構(gòu)可以重新進(jìn)入正常工作。完成更換后，第二液壓泵7 處于工作狀態(tài)，第三閥63、第四閥64、第五閥65和第六閥66保持開(kāi)啟狀態(tài)，使陽(yáng)極液處于循環(huán)狀態(tài)。本實(shí)用新型用于集成電路制造的電鍍槽結(jié)構(gòu)相比現(xiàn)有技術(shù)，多增加了一層陽(yáng)離子透膜(即第二陽(yáng)離子透膜)和一個(gè)陽(yáng)極液循環(huán)回路(即第二陽(yáng)極液循環(huán)回路)，使陽(yáng)極處于兩層陽(yáng)離子透膜的保護(hù)中，在不影響陽(yáng)極離子傳輸?shù)那闆r下，大大降低了日常使用中可能存在的陽(yáng)離子透膜損壞而使陽(yáng)極受污染的風(fēng)險(xiǎn)，防止陽(yáng)極泥產(chǎn)生。并且在更換陽(yáng)極液時(shí)，可以使得陽(yáng)極始終處于保留的陽(yáng)極液中，由于每次保留的陽(yáng)極液很少，與新鮮補(bǔ)充的陽(yáng)極液一起循環(huán)后，對(duì)陽(yáng)極液質(zhì)量的影響極小。由于陽(yáng)極始終處于陽(yáng)極液中，因此，避免了陽(yáng)極暴露在空氣中產(chǎn)生氧化的情況，減少了陽(yáng)極的損耗。[0041] 顯然，本領(lǐng)域的技術(shù)人員可以對(duì)本實(shí)用新型進(jìn)行各種改動(dòng)和變型而不脫離本實(shí)用新型的精神和范圍。這樣，倘若本實(shí)用新型的這些修改和變型屬于本實(shí)用新型權(quán)利要求及其等同技術(shù)的范圍之內(nèi)，則本實(shí)用新型也意圖包含這些改動(dòng)和變型在內(nèi)。
權(quán)利要求1.一種用于集成電路制造的電鍍槽結(jié)構(gòu)，包括電鍍槽、陽(yáng)極液鍍液槽和陰極液鍍液槽， 所述電鍍槽通過(guò)第一陽(yáng)離子透膜分為陰極液腔室和陽(yáng)極液腔室，其特征在于，所述陽(yáng)極液腔室包括第一陽(yáng)極液腔室和第二陽(yáng)極液腔室，所述第一陽(yáng)極液腔室和所述第二陽(yáng)極液腔室通過(guò)第二陽(yáng)離子透膜分隔，所述第二陽(yáng)極液腔室設(shè)有陽(yáng)極，所述陰極液腔室和所述陰極液鍍液槽構(gòu)成陰極液循環(huán)回路，所述第一陽(yáng)極液腔室和所述陽(yáng)極液鍍液槽構(gòu)成第一陽(yáng)極液循環(huán)回路，所述第二陽(yáng)極液腔室和所述陽(yáng)極液鍍液槽構(gòu)成第二陽(yáng)極液循環(huán)回路。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述用于集成電路制造的電鍍槽結(jié)構(gòu)，其特征在于所述陰極液循環(huán)回路還包括第一液壓泵、第一閥和第二閥，所述陰極液鍍液槽的輸出端依次經(jīng)第一液壓泵和第一閥與陰極液腔室的輸入端連接，所述陰極液腔室的輸出端經(jīng)第二閥與陰極液鍍液槽的輸入端連接。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述用于集成電路制造的電鍍槽結(jié)構(gòu)，其特征在于所述第二陽(yáng)離子透膜和第一陽(yáng)極液腔室的部分底板圍成所述第二陽(yáng)極液腔室，或者，所述第二陽(yáng)離子透膜通過(guò)隔離壁和第一陽(yáng)極液腔室的部分底板圍成所述第二陽(yáng)極液腔室，或者，所述第二陽(yáng)離子透膜和第一陽(yáng)極液腔室的底板和周壁下部圍成所述第二陽(yáng)極液腔室。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述用于集成電路制造的電鍍槽結(jié)構(gòu)，其特征在于所述隔離壁采用聚偏氟乙烯或者陶瓷或者兩者的結(jié)合。
5.根據(jù)權(quán)利要求2所述用于集成電路制造的電鍍槽結(jié)構(gòu)，其特征在于所述第一液壓泵和所述第一閥之間還設(shè)有過(guò)濾器。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述用于集成電路制造的電鍍槽結(jié)構(gòu)，其特征在于所述第一陽(yáng)極液循環(huán)回路和第二陽(yáng)極液循環(huán)回路共用一個(gè)第二液壓泵。
7.根據(jù)權(quán)利要求6所述用于集成電路制造的電鍍槽結(jié)構(gòu)，其特征在于第一陽(yáng)極液循環(huán)回路還包括第三閥和第四閥，所述第二陽(yáng)極液循環(huán)回路還包括第五閥和第六閥，陽(yáng)極液鍍液槽的輸出端和第二液壓泵的輸入端連接，第二液壓泵的輸出端分成兩路，一路經(jīng)過(guò)第三閥和第一陽(yáng)極液腔室的輸入端連接，另一路經(jīng)第五閥與第二陽(yáng)極液腔室的輸入端連接， 第一陽(yáng)極液腔室的輸出端經(jīng)第四閥和陽(yáng)極液鍍液槽的輸入端連接，第二陽(yáng)極液腔室的輸出端經(jīng)第六閥和陽(yáng)極液鍍液槽的輸入端連接。
8.根據(jù)權(quán)利要求1所述用于集成電路制造的電鍍槽結(jié)構(gòu)，其特征在于所述第二陽(yáng)極液腔室和所述第一陽(yáng)極液腔室的容量比是0. 025 0. 15。
9.根據(jù)權(quán)利要求1所述用于集成電路制造的電鍍槽結(jié)構(gòu)，其特征在于所述陰極液鍍液槽的容量為15 20L，所述陽(yáng)極液鍍液槽的容量為15 20L。
10.根據(jù)權(quán)利要求1所述用于集成電路制造的電鍍槽結(jié)構(gòu)，其特征在于所述第二陽(yáng)極液腔室有0. 5L 2L。
專利摘要這種用于集成電路制造的電鍍槽結(jié)構(gòu)，包括電鍍槽、陽(yáng)極液鍍液槽和陰極液鍍液槽，電鍍槽通過(guò)第一陽(yáng)離子透膜分為陰極液腔室和陽(yáng)極液腔室，陽(yáng)極液腔室包括第一陽(yáng)極液腔室和第二陽(yáng)極液腔室，第一陽(yáng)極液腔室和所述第二陽(yáng)極液腔室通過(guò)第二陽(yáng)離子透膜分隔，第二陽(yáng)極液腔室設(shè)有陽(yáng)極，陰極液腔室和所述陰極液鍍液槽構(gòu)成陰極液循環(huán)回路，第一陽(yáng)極液腔室和陽(yáng)極液鍍液槽構(gòu)成第一陽(yáng)極液循環(huán)回路，第二陽(yáng)極液腔室和所述陽(yáng)極液鍍液槽構(gòu)成第二陽(yáng)極液循環(huán)回路。由于陽(yáng)極處于兩層陽(yáng)離子透膜的保護(hù)中，因此可以降低日常使用中可能存在的陽(yáng)離子透膜損壞而使陽(yáng)極受污染的風(fēng)險(xiǎn)，而且，在更換陽(yáng)極液時(shí)，可以確保陽(yáng)極始終處于陽(yáng)極液中，從而防止陽(yáng)極氧化。
文檔編號(hào)C25D17/00GK202064023SQ20112007032
公開(kāi)日2011年12月7日 申請(qǐng)日期2011年3月17日 優(yōu)先權(quán)日2011年3月17日
發(fā)明者李佳青 申請(qǐng)人:上海集成電路研發(fā)中心有限公司