一種晶片承載器的制造方法
【專利摘要】本實用新型涉及一種晶片承載器。本實用新型包括承載器主體和承載器提鉤；承載器主體包括支撐板、帶有卡槽的支撐桿；支撐桿包括兩根側邊支撐桿和一根底部支撐桿，三根支撐桿相互平行；兩根側邊支撐桿到底部支撐桿的距離相等，兩側邊支撐桿上的卡槽與水平線的角度相等并與晶片邊緣相切；支撐板為兩塊豎直的互相平行的平板，兩塊平板通過三根支撐桿相連接；支撐板上有互相對應的固定孔，固定孔與三根支撐桿相配合；三根支撐桿上的卡槽一一對應；承載器提鉤包括提桿、橫桿、鉤子；提桿和橫桿、鉤子均為螺紋連接；承載器提鉤與承載器主體相配合。本實用新型提高了晶片提拉轉運等操作過程的便利性、穩定性和可靠性。
【專利說明】一種晶片承載器
【技術領域】
[0001]本實用新型涉及一種晶片承載器。
【背景技術】
[0002]在MEMS技術科研生產過程中，經常需要對晶片進行各種溶液浸泡腐蝕、沖洗、轉移等操作，因此需要一種能夠對晶片起到穩固支撐，抗酸堿溶液，同時不對晶片表面造成磕碰劃傷的承載器。目前常見的承載器通常是由石英材料制成的帶“提耳”的承載器，極易對硅片表面造成劃傷，影響后續工藝質量；同時硅片放置于這類石英花籃承載器中時無法穩定支撐，相鄰的晶片間可能發生傾倒和吸附的現象，另外該類承載器極易由于碰撞和跌落導致碎裂，由此可見這類石英花籃承載器存在明顯的使用缺陷。
實用新型內容
[0003]本實用新型所要解決的技術問題是:提出一種能夠對晶片進行穩定支承，同時起到良好保護作用，且便于各項操作，易于制造和使用的晶片承載器，這種承載器能夠靈活組裝，同時可適用于不同尺寸的晶片。
[0004]本實用新型采取的技術方案為:一種晶片承載器，其特征是:所述承載器包括承載器主體和承載器提鉤；承載器主體包括支撐板1、帶有卡槽2的支撐桿；支撐桿包括兩根側邊支撐桿3和一根底部支撐桿4，三根支撐桿相互平行；兩根側邊支撐桿3到底部支撐桿4的距離相等，兩側邊支撐桿上的卡槽與水平線的角度相等并與晶片5邊緣相切；支撐板I為兩塊豎直的互相平行的平板，兩塊平板通過三根支撐桿相連接；支撐板I上有互相對應的固定孔，固定孔與三根支撐桿相配合；三根支撐桿上的卡槽一一對應；承載器提鉤包括提桿11、橫桿12、鉤子13 ;提桿11和橫桿12、鉤子13均為螺紋連接；承載器提鉤與承載器主體相配合。
[0005]進一步的，用于固定側邊支撐桿的固定孔有兩對。
[0006]本實用新型的有益效果:本實用新型一種晶片承載器，采用板狀和桿狀結構進行組裝，通過變換固定孔安裝可適用于三寸、四寸等多種不同尺寸晶片的承載需求；三根支撐桿及其上的卡槽對晶片形成穩固的三點支撐，防止晶片組承載器上左右晃動或掉出；本實用新型提高了晶片提拉轉運等操作過程的便利性、穩定性和可靠性。
【專利附圖】
【附圖說明】
[0007]圖1是本實用新型晶片承載器的結構示意圖；
[0008]圖2是本實用新型晶片承載器中承載器主體結構示意圖；
[0009]圖3是本實用新型晶片承載器中支撐板示意圖；
[0010]圖4是本實用新型晶片承載器中側邊支撐桿示意圖
[0011]其中，1-支撐板、2-卡槽、3-側邊支撐桿、4-底部支撐桿、5-晶片、6-三寸晶片固定孔、7-四寸晶片固定孔、8-底部支撐桿固定孔、9-加強桿固定孔、10-加強桿、11-提桿、12-橫桿、13-鉤子。
【具體實施方式】
[0012]下面結合說明書附圖對本實用新型的【具體實施方式】做進一步說明。
[0013]參見圖1，一種晶片承載器，包括承載器主體、承載器提鉤；承載器主體包括支撐板1、帶卡槽2的支撐桿，支撐桿包括兩根側邊支撐桿3和一根底部支撐桿4，三根支撐桿相互平行；兩根側邊支撐桿3到底部支撐桿4的距離相等，兩側邊支撐桿上的卡槽2與水平線的角度相等并與晶片5邊緣相切；支撐板I為兩塊豎直的互相平行的平板，兩塊平板通過三根支撐桿相連接；支撐板I上有互相對應的固定孔:三寸晶片固定孔6、四寸晶片固定孔7、底部支撐桿固定孔8、加強桿固定孔9。固定孔與三根支撐桿及加強桿10相配合。三根支撐桿上的卡槽 對應。承載器提鉤包括提桿11、橫桿12、鉤子13 ;提桿11和橫桿12、鉤子13均為螺紋連接；承載器提鉤與承載器主體相配合。
[0014]使用時先將支撐桿和加強桿10通過其上兩端的方形固定端及螺紋桿安裝到支撐板上的固定孔，并用螺母緊固，根據需求可選擇三寸晶片固定孔6或四寸晶片固定孔7 ;承載器提鉤則通過將提桿11、橫桿12和鉤子13緊固組合形成使用狀態，與承載器配套。
[0015]兩根加強桿10起到加強整體結構強度作用；該實用新型一次可對10片晶片同時進行操作，承載器整體可放入直徑大于150mm燒杯或磨口瓶中；本實用新型整體采用聚四氟乙烯材料，可對晶片起到良好的支撐和保護作用，避免操作過程中對晶片表面的磕碰和劃傷；
[0016]具體實施過程步驟如下:
[0017]1、承載器主體組裝:分別在三根支撐桿和兩根加強桿的兩端用螺母將其和兩塊支撐板上的固定孔緊固到一起，形成承載器主體；
[0018]2、提鉤組裝:將提桿、橫桿和鉤子通過兩端的固定孔和螺母緊固到一起形成提鉤；
[0019]3、晶片提拉轉運:將承載器放置于水平面上，將待操作的晶片放入承載器相應卡槽中，將提鉤鉤住承載器兩側邊支撐桿端部的凸出部分進行提拉轉運等各項操作。
【權利要求】
1.一種晶片承載器，其特征是:所述承載器包括承載器主體和承載器提鉤；承載器主體包括支撐板(I)、帶有卡槽(2)的支撐桿；支撐桿包括兩根側邊支撐桿(3)和一根底部支撐桿(4)，三根支撐桿相互平行；兩根側邊支撐桿(3)到底部支撐桿(4)的距離相等，兩側邊支撐桿上的卡槽與水平線的角度相等并與晶片(5)邊緣相切；支撐板(I)為兩塊豎直的互相平行的平板，兩塊平板通過三根支撐桿相連接；支撐板(I)上有互相對應的固定孔，固定孔與三根支撐桿相配合；三根支撐桿上的卡槽 對應；承載器提鉤包括提桿(11)、橫桿(12)、鉤子(13);提桿(11)和橫桿(12)、鉤子(13)均為螺紋連接；承載器提鉤與承載器主體相配合。
2.根據權利要求1所述的晶片承載器，其特征還在于:用于固定側邊支撐桿的固定孔有兩對。
3.根據權利要求1所述的晶片承載器，其特征還在于:所述支撐板(I)上帶有加強桿(10)。
4.根據權利要求1、2、3中任一項所述的晶片承載器，其特征還在于:用于固定側邊支撐桿的固定孔為方形。
【文檔編號】B81C1/00GK203612945SQ201320816922
【公開日】2014年5月28日 申請日期:2013年12月11日 優先權日:2013年12月11日
【發明者】何福林, 熊恒, 劉奇鋒 申請人:西安飛行自動控制研究所