專利名稱：薄膜微機械錨的制作方法
技術領域：
本發明涉及微電子機械部件，尤其涉及一種薄膜微機械錨。
背景技術：
在微電子機械系統(MEMS)中，錨是很常用的微結構，其作用是對連接在它上面的懸浮微結構(如懸臂梁或者橋等)提供機械支撐。錨的剛度極大的影響了懸浮微結構的性能。普通設計的錨與襯底的有效接觸面積較小，厚度偏低，因而不能向連接在它上面的懸浮微結構的邊界條件離固支要求很遠。而策電子機械系統設計建模時一般假設微結構的邊界條件為固支邊界條件。所以變通設計的錨使實際狀況與預期假設偏差很大，結果導致整個微電子機械系統工程性能失敗。
三、技術內容1、技術問題本發明提供一種能夠提高整體剛度的薄膜微機械錨，它能在不增加版圖的條件下，向連接在其上的懸浮結構提供更大的支撐強度和固支的邊界條件。
2、技術方案一種涉及微電子機械的薄膜微機械錨，包括錨體1，在錨體1上設有支撐提供面3，該錨體1設在襯底2上，錨體1由錨體內層11和錨體外層12組成，錨體內層11設在襯底2上，錨體外層12包覆于錨體內層11上。
3、技術效果①由于本發明的錨體由錨體內層薄膜和錨體外層薄膜組合而成，所以在厚度上得到增加，整體剛度得以提高，不僅能夠向連接在其上的微結構提供更大上限的支撐力，也因為整體結構剛度的增加而提供了更接近于固支的支撐邊界條件。并且，本發明不需要增加額外的版圖，只需采用普通錨制作所用的雙層掩膜版技術。②因為本發明具有兩個突出的支腳，使其在支撐提供面附近有更多與襯底接觸的面積，增加了與襯底的有效接觸面積，所以，這一技術措施可以進一步提高本發明的整體剛度，并使本發明更接近于固支的支撐邊界條件。
四
圖1是本發明的結構立體圖。
圖2是本發明實施例的俯視圖。
圖3是本發明實施例的A-A剖視圖。
圖4是本發明另一實施例的A-A剖視圖。
圖5是本發明實施例的B-B剖視圖。
圖6是本發明實施例的C-C剖視圖。
五、具體實施方案一種涉及微電子機械的薄膜微機械錨，包括錨體1，在錨體1上設有支撐提供面3，該錨體1設在襯底2上，錨體1由錨體內層11和錨體外層12組成，錨體內層11設在襯底2上，錨體外層12包覆于錨體內層11上，錨體1在支撐提供面3的側旁設有支腳4，支腳4由支腳內層41和支腳外層42組成，支腳外層42包覆于支腳內層41，上述錨體內層11和支腳內層41均可以是由二氧化硅、磷硅玻璃等犧牲層材料制成的薄膜層，錨體外層12和支腳外層42均可以是由多晶硅等結構層材料制成的薄膜層。
權利要求
1.一種涉及微電子機械的薄膜微機械錨，包括錨體(1)，在錨體(1)上設有支撐提供面(3)，該錨體(1)設在襯底(2)上，其特征在于錨體(1)由錨體內層(11)和錨體外層(12)組成，錨體內層(11)設在襯底(2)上，錨體外層(12)包覆于錨體內層(11)上。
2.根據權利要求1所述的微電子機械的薄膜微機械錨，其特征在于在錨體(1)支撐提供面(3)的側旁設有支腳(4)。
3.根據權利要求2所述的微電子機械的薄膜微機械錨，其特征在于支腳(4)由支腳內層(41)和支腳外層(42)組成，支腳外層(42)包覆于支腳內層(41)。
全文摘要
本發明公開了一種涉及微電子機械的薄膜微機械錨，包括錨體，在錨體上設有支撐提供面，該錨體設在襯底上，錨體由錨體內層和錨體外層組成，錨體內層設在襯底上，錨體外層包覆于錨體內層上。由于本發明的錨體由錨體內層薄膜和錨體外層薄膜組合而成，所以在厚度上得到增加，整體剛度得以提高，不僅能夠向連接在其上的微結構提供更大上限的支撐力，也因為整體結構剛度的增加而提供了更接近于固支的支撐邊界條件。并且，本發明不需要增加額外的版圖，只需采用普通錨制作所用的雙層掩膜版技術。
文檔編號B81B7/00GK1451601SQ0313153
公開日2003年10月29日 申請日期2003年5月23日 優先權日2003年5月23日
發明者劉相韜, 黃慶安 申請人:東南大學