專利名稱：真空腔體用自旋轉裝置的制作方法
技術領域：
本實用新型屬于真空設備領域，涉及一種用于有毒、有害、有腐蝕性氣體密閉腔體內部可自旋轉的裝置，具體的說是一種真空腔體用自旋轉裝置。
背景技術：
真空腔體中一般都需要配置旋轉裝置，尤其是在半導體、微電子真空設備中，就要兼顧工藝中對均勻性和真空腔體的密閉性的高要求，現有設備的旋轉裝置都是由轉動電機帶動傳動軸方式給真空腔體內部提供旋轉動力源。此種方法對轉動軸和真空腔體之間的轉動密封要求很高，既要轉動順暢又要保證轉動時的密封性，而且要防止長時間的轉動后密封處的防磨損。用電機帶動轉動軸的傳動裝置中密封的方法一般有兩種:①密封圈(Ο-ring)密封:在轉動軸與真空腔體銜接處上加入密封圈。優點是價格便宜，維修、更換簡單。但密封圈易磨損、密封性差、穩定性差、防腐蝕性差，多用于真空度要求不高的設備。②磁流體密封:磁流體密封技術是在磁性流體的基礎上發展而來的，當磁流體注入磁場的間隙時，它可以充滿整個間隙，形成一種“液體的O型密封圈”。磁流體密封裝置的功能是把旋轉運動傳遞到密封容器內，常用于真空密封。優點是密封效果好、穩定、多由于真空度要求高的設備。但磁流體密封裝置價格昂貴，結構復雜且更換安裝繁瑣。
實用新型內容為了克服上述缺陷，本實用新型提供了一種真空腔體用自旋轉裝置，其不僅結構簡單，而且能滿足轉動順暢和轉動時的氣密性要求。本實用新型為了解決其技術問題所采用的技術方案是:一種真空腔體用自旋轉裝置，包括旋轉托盤、殼體和設于所述殼體內的螺旋狀發條、內外斜齒齒輪、定向旋轉叉和轉動軸，所述內外斜齒齒輪為環形輪，該環形輪的內側面沿其周向依次設有朝向同一方向的若干個內斜齒，該環形輪的外側面上沿其周向依次設有朝向同一方向的若干個外斜齒，且該環形輪的內斜齒和外斜齒的傾斜方向相反；所述轉動軸上端固定于所述旋轉托盤上，所述轉動軸下端依次穿過所述內外斜齒齒輪、發條和外殼；所述定向旋轉叉包括若干個止檔部，該定向旋轉叉的中心固定于所述轉動軸上，該定向旋轉叉的若干個止檔部的末端分別抵靠所述內外斜齒齒輪的內斜齒上使所述內外斜齒齒輪僅能相對該定向旋轉叉朝與所述內斜齒傾斜方向相同的方向旋轉而朝另一個相反的方向止轉；所述螺旋狀發條的內端固定于所述轉動軸上，所述螺旋狀發條的外端固定于所述殼體上；在所述殼體內側面上設有若干個棘爪，該若干個棘爪的末端抵靠所述內外斜齒齒輪的外斜齒使該內外斜齒齒輪僅能相對所述棘爪朝向與所述外斜齒的傾斜方向相同的方向旋轉而朝向另一個相反的方向止轉。作為本實用新型的進一步改進，在所述轉動軸上還固設一置物托盤，該置物托盤位于所述定向旋轉叉和旋轉托盤之間。[0009]作為本實用新型的進一步改進，所述定向旋轉叉上的止檔部為三個，且該三個止檔部均布于該定向旋轉叉上。作為本實用新型的進一步改進，所述殼體呈一端開口的圓柱形。作為本實用新型的進一步改進，所述棘爪為三個，該三個棘爪均布于所述殼體的內側面上。本實用新型的有益效果是:本實用新型通過用發條自旋轉裝置來代替電機轉動軸的旋轉方式，解決轉動軸密封的問題。通過在真空腔體內內置一個自旋轉裝置來解決真空度要求極高和通入有毒、有害、有腐蝕性氣體的真空設備的電機轉軸帶動旋轉的密封問題。具有以下優點:①為設備提供旋轉動力源，解決了旋轉的工藝問題。②取代了電機帶動轉軸給真空腔體內提供動力源的傳統旋轉的方式，此種裝置的旋轉處密封的技術難題也仍刃而解。③解決了現有轉動方式引起的真空度下降問題。④減小了現有轉動方式在通入有毒、有害、有腐蝕性工藝氣體泄露的幾率。⑤節約成本，提高效率。
圖1為本實用新型分解結構示意圖。結合附圖，作以下說明:I——旋轉托盤2——殼體3—發條4—內外斜齒齒輪5——定向旋轉叉6——轉動軸41-內斜齒42-外斜齒51——止檔部7——棘爪8——置物托盤
具體實施方式
結合附圖，對本實用新型作詳細說明，但本實用新型的保護范圍不限于下述實施例，即但凡以本實用新型申請專利范圍及說明書內容所作的簡單的等效變化與修飾，皆仍屬本實用新型專利涵蓋范圍之內。如圖1所示，一種真空腔體用自旋轉裝置，包括旋轉托盤1、殼體2和設于所述殼體內的螺旋狀發條3、內外斜齒齒輪4、定向旋轉叉5和轉動軸6，所述內外斜齒齒輪為環形輪，該環形輪的內側面沿其周向依次設有朝向同一方向的若干個內斜齒41，該環形輪的外側面上沿其周向依次設有朝向同一方向的若干個外斜齒42，且該環形輪的內斜齒和外斜齒的傾斜方向相反；所述轉動軸上端固定于所述旋轉托盤上，所述轉動軸下端依次穿過所述內外斜齒齒輪、發條和外殼；所述定向旋轉叉包括若干個止檔部51,該定向旋轉叉的中心固定于所述轉動軸上，該定向旋轉叉的若干個止檔部的末端分別抵靠所述內外斜齒齒輪的內斜齒上使所述內外斜齒齒輪僅能相對該定向旋轉叉朝與所述內斜齒傾斜方向相同的方向旋轉而朝另一個相反的方向止轉；所述螺旋狀發條的內端固定于所述轉動軸上，所述螺旋狀發條的外端固定于所述殼體上；在所述殼體內側面上設有若干個棘爪7，該若干個棘爪的末端抵靠所述內外斜齒齒輪的外斜齒使該內外斜齒齒輪僅能相對所述棘爪朝向與所述外斜齒的傾斜方向相同的方向旋轉而朝向另一個相反的方向止轉。使用時，先沿與內外斜齒齒輪的內斜齒傾斜方向(如順時針方向)相反的方向(如逆時針方向)旋轉旋轉托盤1，旋轉托盤帶動轉動軸6旋轉，定向旋轉叉5也跟隨轉動軸6沿相同的方向(逆時針方向)旋轉，并卡緊內外斜齒齒輪4的內斜齒41使該內外斜齒齒輪4 一同沿相同的方向(逆時針方向)旋轉，由于發條3內端固定于轉動軸6上,該發條3也同轉動軸6 —同沿相同的方向(逆時針方向)旋轉，并產生收緊勢能。旋轉一定圈數后，將該旋轉裝置放入真空設備內，由于發條勢能的釋放會帶動轉動軸6和定向旋轉叉5沿與開始旋轉方向相反的方向(順時針方向)旋轉，由于內外斜齒齒輪4的外斜齒42被棘爪7阻止而不能同時旋轉，這樣定向旋轉叉5受到內外斜齒齒輪4的內斜齒41的阻力作用而緩慢轉動，也就帶動了旋轉托盤I 一起(沿順時針方向)緩慢轉動，從而實現真空設備內部的自轉動。優選的，在所述轉動軸上還固設一置物托盤8，該置物托盤位于所述定向旋轉叉和旋轉托盤之間。優選的，所述定向旋轉叉上的止檔部為三個，且該三個止檔部均布于該定向旋轉叉上。優選的，所述殼體呈一端開口的圓柱形。優選的，所述棘爪為三個，該三個棘爪均布于所述殼體的內側面上。
權利要求1.一種真空腔體用自旋轉裝置，其特征在于:包括旋轉托盤(I)、殼體(2)和設于所述殼體內的螺旋狀發條(3)、內外斜齒齒輪(4)、定向旋轉叉(5)和轉動軸(6)，所述內外斜齒齒輪為環形輪，該環形輪的內側面沿其周向依次設有朝向同一方向的若干個內斜齒(41)，該環形輪的外側面上沿其周向依次設有朝向同一方向的若干個外斜齒(42)，且該環形輪的內斜齒和外斜齒的傾斜方向相反；所述轉動軸上端固定于所述旋轉托盤上，所述轉動軸下端依次穿過所述內外斜齒齒輪、發條和外殼；所述定向旋轉叉包括若干個止檔部(51)，該定向旋轉叉的中心固定于所述轉動軸上，該定向旋轉叉的若干個止檔部的末端分別抵靠所述內外斜齒齒輪的內斜齒上使所述內外斜齒齒輪僅能相對該定向旋轉叉朝與所述內斜齒傾斜方向相同的方向旋轉而朝另一個相反的方向止轉；所述螺旋狀發條的內端固定于所述轉動軸上，所述螺旋狀發條的外端固定于所述殼體上；在所述殼體內側面上設有若干個棘爪(7),該若干個棘爪的末端抵靠所述內外斜齒齒輪的外斜齒使該內外斜齒齒輪僅能相對所述棘爪朝向與所述外斜齒的傾斜方向相同的方向旋轉而朝向另一個相反的方向止轉。
2.根據權利要求1所述的真空腔體用自旋轉裝置，其特征在于:在所述轉動軸上還固設一置物托盤(8)，該置物托盤位于所述定向旋轉叉和旋轉托盤之間。
3.根據權利要求1或2所述的真空腔體用自旋轉裝置，其特征在于:所述定向旋轉叉上的止檔部為三個，且該三個止檔部均布于該定向旋轉叉上。
4.根據權利要求1或2所述的真空腔體用自旋轉裝置，其特征在于:所述殼體呈一端開口的圓柱形。
5.根據權利要求4所述的真空腔體用自旋轉裝置，其特征在于:所述棘爪為三個，該三個棘爪均布于所述殼體的內側面上。
專利摘要本實用新型公開了一種真空腔體用自旋轉裝置，包括旋轉托盤、殼體和設于所述殼體內的螺旋狀發條、內外斜齒齒輪、定向旋轉叉和轉動軸，內外斜齒齒輪為環形輪，該環形輪的內、外側面上分別設有內、外斜齒，該內、外斜齒的傾斜方向相反；轉動軸上端固定于旋轉托盤上，轉動軸下端依次穿過內外斜齒齒輪、發條和外殼；定向旋轉叉包括若干個止檔部，該定向旋轉叉的中心固定于轉動軸上，該若干個止檔部的末端分別抵靠內斜齒；螺旋狀發條的內端固定于轉動軸上，外端固定于殼體上；在殼體內側面上設有若干個棘爪，該若干個棘爪的末端抵靠外斜齒。該真空腔體用自旋轉裝置，其不僅結構簡單，而且能滿足轉動順暢和轉動時的氣密性要求。
文檔編號F03G1/02GK202991369SQ20122059456
公開日2013年6月12日 申請日期2012年11月13日 優先權日2012年11月13日
發明者盧狄克, 焦斌斌, 李志剛, 尚海平, 孔延梅 申請人:昆山光微電子有限公司