一種p型、n型重摻硅料染色分揀的方法
【技術領域】
[0001]本發明涉及硅料加工技術領域,具體涉及一種P型、N型重摻硅料染色分揀的方法。
【背景技術】
[0002]隨著大規模集成電路和光伏產業的發展,集成度的不斷提高,對硅原料的需求越來越高,同時對硅片的質量要求也越來越高,在生產過程中,經常需要處理和回收利用碎硅料,而碎硅料中除有較多石子、金屬、纖維等雜物需清除外,還會遇到在低濃度摻雜的合格料中摻有高濃度摻雜的P型和N型重摻料的情形,在清理碎硅料時需將這部分重摻硅料分揀出去;現有的P型、N型重摻硅料分揀方法,因重摻料與合格料顏色相近不好區分,故通常是采用儀器分揀,儀器的購買成本較高,且儀器分揀重摻耗時長,工效差,不利于大批量的碎硅料回收利用。
【發明內容】
[0003]本發明的目的旨在提供一種P型、N型重摻硅料染色分揀的方法,可將P型、N型重摻硅料從合格料中快速分揀出來。
[0004]為實現上述目的,本發明的一種P型、N型重摻硅料染色分揀的方法,包括以下步驟:配制腐蝕液一染色一分揀,
[0005]I)配制腐蝕液:取55%濃度氫氟酸11-13、70%濃度硝酸950-1050、85%濃度磷酸9.5-10.5,置于浸泡池,現配現用;2)染色:將待分揀碎硅片置于浸泡池內的步驟I)配制的腐蝕液中,浸泡3-4小時,浸泡后P型重摻染為藍黑色,N型重摻染為淡褐色;3)分揀:將浸泡后的碎硅片轉入漂洗槽內用純水浸漂20分鐘,浸漂結束、烘干后,分揀出碎硅片中的藍黑色P型重摻和淡褐色N型重摻。
[0006]本發明的一種P型、N型重摻硅料染色分揀的方法與現有技術相比具有如下優異效果。
[0007]采用本發明的P型、N型重摻硅料染色分揀的方法,根據合格料為低濃度摻雜、重摻料為高濃度摻雜,以及它們的型號不同、摻雜不同,化學電勢能也不相同,以至于在腐蝕液中絡合速率有快有慢的原理,將P型、N型重摻硅料分別染色,從而可以快速分揀出P型、N型重摻硅料,提高了分揀的工效,并且不需要通過專用分揀儀器,降低了生產成本。
【具體實施方式】
[0008]下面對本發明的一種清除碎硅片中雜質的方法作進一步的詳細說明。
[0009]本發明的一種P型、N型重摻硅料染色分揀的方法,包括以下步驟:配制腐蝕液一染色一分揀,
[0010]I)配制腐蝕液:取55%濃度氫氟酸11-13、70%濃度硝酸950-1050、85%濃度磷酸9.5-10.5,置于浸泡池,現配現用;2)染色:將待分揀碎硅片置于浸泡池內的步驟I)配制的腐蝕液中,浸泡3-4小時,浸泡后P型重摻染為藍黑色,N型重摻染為淡褐色;3)分揀:將浸泡后的碎硅片轉入漂洗槽內用純水浸漂20分鐘,浸漂結束、烘干后,分揀出碎硅片中的藍黑色P型重摻和淡褐色N型重摻。
[0011]實施例1:
[0012]一種P型、N型重摻硅料染色分揀的方法,包括以下步驟:
[0013]I)配制腐蝕液:取55%濃度氫氟酸11、70%濃度硝酸950、85%濃度磷酸9.5,置于浸泡池,現配現用;2)染色:將待分揀碎硅片置于浸泡池內的步驟I)配制的腐蝕液中,浸泡3小時,浸泡后P型重摻染為藍黑色,N型重摻染為淡褐色;3)分揀:將浸泡后的碎娃片轉入漂洗槽內用純水浸漂20分鐘,浸漂結束、烘干后,分揀出碎硅片中的藍黑色P型重摻和淡褐色N型重摻。
[0014]實施例2:
[0015]一種P型、N型重摻硅料染色分揀的方法,包括以下步驟:
[0016]I)配制腐蝕液:取55%濃度氫氟酸12、70%濃度硝酸1000、85%濃度磷酸10,置于浸泡池,現配現用;2)染色:將待分揀碎硅片置于浸泡池內的步驟I)配制的腐蝕液中,浸泡3.5小時,浸泡后P型重摻染為藍黑色,N型重摻染為淡褐色;3)分揀:將浸泡后的碎硅片轉入漂洗槽內用純水浸漂20分鐘,浸漂結束、烘干后,分揀出碎硅片中的藍黑色P型重摻和淡褐色N型重摻。
[0017]實施例3:
[0018]一種P型、N型重摻硅料染色分揀的方法,包括以下步驟:
[0019]I)配制腐蝕液:取55%濃度氫氟酸13、70%濃度硝酸1050、85%濃度磷酸10.5,置于浸泡池,現配現用;2)染色:將待分揀碎硅片置于浸泡池內的步驟I)配制的腐蝕液中,浸泡4小時,浸泡后P型重摻染為藍黑色,N型重摻染為淡褐色;3)分揀:將浸泡后的碎硅片轉入漂洗槽內用純水浸漂20分鐘,浸漂結束、烘干后,分揀出碎硅片中的藍黑色P型重摻和淡褐色N型重摻。
[0020]以上實施例僅對本發明精神的舉例說明,本發明所屬技術領域的技術人員可以對所描述的實施例做不同方式的修改或補充或采用類似的方式替換,但并非偏離本發明的精神所定義的范圍。
【主權項】
1.一種P型、N型重摻硅料染色分揀的方法,包括以下步驟:配制腐蝕液一染色一分揀,其特征在于: (I)配制腐蝕液:取55%濃度氫氟酸11-13、70%濃度硝酸950-1050、85%濃度磷酸9.5-10.5,置于浸泡池,現配現用;(2)染色:將待分揀碎硅片置于浸泡池內的步驟(I)配制的腐蝕液中,浸泡3-4小時,浸泡后P型重摻染為藍黑色,N型重摻染為淡褐色;(3)分揀:將浸泡后的碎硅片轉入漂洗槽內用純水浸漂20分鐘,浸漂結束、烘干后,分揀出碎硅片中的藍黑色P型重摻和淡褐色N型重摻。
2.根據權利要求1所述的P型、N型重摻硅料染色分揀的方法,其特征在于: (I)配制腐蝕液:取55%濃度氫氟酸11、70%濃度硝酸950、85%濃度磷酸9.5,置于浸泡池,現配現用;(2)染色:將待分揀碎硅片置于浸泡池內的步驟(I)配制的腐蝕液中,浸泡3小時,浸泡后P型重摻染為藍黑色,N型重摻染為淡褐色;(3)分揀:將浸泡后的碎硅片轉入漂洗槽內用純水浸漂20分鐘,浸漂結束、烘干后,分揀出碎硅片中的藍黑色P型重摻和淡褐色N型重摻。
3.根據權利要求1所述的P型、N型重摻硅料染色分揀的方法,其特征在于: (I)配制腐蝕液:取55%濃度氫氟酸12、70%濃度硝酸1000、85%濃度磷酸10,置于浸泡池,現配現用;(2)染色:將待分揀碎硅片置于浸泡池內的步驟(I)配制的腐蝕液中,浸泡3.5小時,浸泡后P型重摻染為藍黑色,N型重摻染為淡褐色;(3)分揀:將浸泡后的碎硅片轉入漂洗槽內用純水浸漂20分鐘,浸漂結束、烘干后,分揀出碎硅片中的藍黑色P型重摻和淡褐色N型重摻。
4.根據權利要求1所述的P型、N型重摻硅料染色分揀的方法,其特征在于: (I)配制腐蝕液:取55%濃度氫氟酸13、70%濃度硝酸1050、85%濃度磷酸10.5,置于浸泡池,現配現用;(2)染色:將待分揀碎硅片置于浸泡池內的步驟(I)配制的腐蝕液中,浸泡4小時,浸泡后P型重摻染為藍黑色,N型重摻染為淡褐色;(3)分揀:將浸泡后的碎硅片轉入漂洗槽內用純水浸漂20分鐘,浸漂結束、烘干后,分揀出碎硅片中的藍黑色P型重摻和淡褐色N型重摻。
【專利摘要】本發明涉及硅料加工技術領域,具體涉及一種P型、N型重摻硅料染色分揀的方法,包括以下步驟:配制腐蝕液→染色→分揀,采用本發明的P型、N型重摻硅料染色分揀的方法,根據合格料為低濃度摻雜、重摻料為高濃度摻雜,以及它們的型號不同、摻雜不同,化學電勢能也不相同,以至于在腐蝕液中絡合速率有快有慢的原理,將P型、N型重摻硅料分別染色,從而可以快速分揀出P型、N型重摻硅料,提高了分揀的工效,并且不需要通過專用分揀儀器,降低了生產成本。
【IPC分類】B07C5-342, B07C5-02
【公開號】CN104624512
【申請號】CN201510043376
【發明人】梅川奇, 傅卓理, 何賢安
【申請人】江西久順科技有限公司
【公開日】2015年5月20日
【申請日】2015年1月21日