一種金剛砂分選系統的制作方法
【專利摘要】本實用新型公開了一種金剛砂分選系統,包括將金剛砂與水攪拌成原液流的混合裝置;再將攪拌后的原液流進行分選的分選裝置;然后將分選后的分選液流再次攪拌的,并將攪拌后的分選液流沉淀的分流裝置;最后,根據砂粒粒度大小不同,承受水的浮力也不同,粒徑越大,沉淀速度越快,反之則慢,通過沉淀一定時間將分流液流進行分裝的分裝裝置,可將一大一小砂粒分開,研磨時,使金剛砂粒度分布相對集中,不易造成硅片表面某點劃傷或損壞,提高硅片良品率。
【專利說明】一種金剛砂分選系統
【技術領域】
[0001]本實用新型涉及一種對金剛砂砂粒進行分選的裝置。
【背景技術】
[0002]硅片的研磨通常是采用天然金剛砂或人造砂通過與水及助磨劑按照一定的比例配合,再通過研磨機上下研磨盤的正反方向運動,使硅片通過介質(研磨液)與磨盤三者之間的摩擦,從而達到磨削的目的。
[0003]現有金剛砂生產方式主要是采用碾壓或球磨機破碎,得到的粒度參差不齊,粒度分散較大。經檢測,W14規格金剛砂,粒度分布為:7-10um ≤8.4%,10_14um≥76.6%,14-20um ≤15%,平均粒徑13.5um,最大粒徑20um,而大粒徑的砂粒在研磨過程中,使研磨盤在壓合運轉過程中最先接觸硅片表面,這樣極易將硅片表面某點劃傷或損壞,形成坑洞性白點,造成良品率下降。
實用新型內容
[0004]本實用新型針對上述不足之處提供了一種金剛砂分選系統,可分選出相近粒徑的砂粒,采用分選后的砂粒,在研磨過程中不易造成硅片表面某點劃傷或損壞,從而提高了硅片良品率。
[0005]為了實現上述目的,本實用新型采用的技術方案是:
[0006]一種金剛砂分選系統,其特征在于:包括混合金剛砂和水形成原液流的混合裝置,與混合裝置連接分選原液流的分選裝置;分選裝置連接分流裝置,分流裝置連接分裝裝置。
[0007]作為優選,所述混合裝置包括攪拌桶,攪拌桶內可設攪拌裝置。
[0008]作為優選,所述分選裝置包括用于篩選原液流的分選篩、位于分選篩下端的分選桶,分選篩可選用振動篩,混合裝置的出料口置于分選篩的上部。
[0009]作為優選,所述分流裝置包括盛裝分選液流的沉淀桶和在沉淀桶內進行攪拌的攪拌機;分選桶與沉淀桶連通。
[0010]作為優選,所述分裝裝置包括盛裝細砂粒的溢流桶和合格砂粒的分流桶,溢流桶與沉淀桶的上部連通,分流桶與沉淀桶的下部連通。
[0011]作為優選,所述攪拌桶下部設有一帶閥門的第一液流管道與分選篩連接;分選桶的下部設有帶閥門的第二液流管道與沉淀桶連接;沉淀桶的上部設有一帶閥門的溢流管道與溢流桶連接,沉淀桶的下部設有的一帶閥門的第三液流管道與分流桶連接。
[0012]作為優選,所述分選篩的網格容小于16um的砂粒通過。
[0013]與現有技術相比,本實用新型的優點在于:將金剛砂與水攪拌成原液流的混合裝置;再將攪拌后的原液流進行分選的分選裝置;然后將分選后的分選液流再次攪拌的,并將攪拌后的分選液流沉淀的分流裝置;最后,根據砂粒粒度大小不同,承受水的浮力也不同,粒徑越大,沉淀速度越快,反之則慢,通過沉淀一定時間將分流液流進行分裝的分裝裝置,可將一大一小砂粒分開,研磨時,使金剛砂粒度分布相對集中,不易造成硅片表面某點劃傷或損壞,提聞娃片良品率。
【專利附圖】
【附圖說明】
[0014]圖1為本實用新型的結構示意圖;
[0015]圖中:1_攪拌機、2-攪拌桶、3-原液流、4-第一液流管道、5-分選篩、6-振動電機、
7-振動彈簧、8-分選桶、9-分選液流、10-第二液流管道、11-攪拌機、12-沉淀桶、13-分流液流、14-溢流管道、15-第三液流管道、16-分流桶、17-合格砂粒、18-溢流桶、19-細砂粒。
【具體實施方式】
[0016]下面將結合附圖對本實用新型作進一步說明。
[0017]參閱圖1,一種金剛砂分選系統,包括混合金剛砂和水形成原液流的混合裝置,與混合裝置連接分選原液流3的分選裝置;分選裝置連接分流裝置,分流裝置連接分裝裝置。
[0018]混合裝置包括攪拌桶2,攪拌桶2內可設攪拌裝置,攪拌裝置可選用攪拌機I ;
[0019]分選裝置包括用于篩選原液流3的分選篩5、位于分選篩5下端的分選桶8,分選篩5可選用振動篩,振動篩由振動電機6和振動彈簧7帶動分選篩5振動,混合裝置的出料口置于分選篩5的上部;分流裝置包括盛裝分選液流9的沉淀桶12和在沉淀桶12內進行攪拌的攪拌機11 ;分選桶8與沉淀桶12連通;所述分裝裝置包括盛裝細砂粒的溢流桶18和合格砂粒的分流桶16,溢流桶18與沉淀桶12的上部連通,分流桶16與沉淀桶12的下部連通;攪拌桶2下部設有一帶閥門的第一液流管道4與分選篩5連接;分選桶16的下部設有帶閥門的第二液流管道10與沉淀桶12連接;沉淀桶12的上部設有一帶閥門的溢流管道14與溢流桶18連接,沉淀桶12的下部設有的一帶閥門的第三液流管道15與分流桶16連接。將所述分選篩的網格容小于16um的砂粒通過,可過濾掉大粒度的金剛砂,以后分選出適于研磨硅片的金剛砂。
[0020]具體實例中,我們將金剛砂與純水按工藝比例配置倒入攪拌桶2內,并通過攪拌機I將其充分攪拌,攪拌后得到原液流3 ;打開攪拌桶2下部的第一液流管道4,將原液流3流入分選篩5上,通過振動電機6帶動分選篩5在振動彈簧7上作上下振動,并防止分選篩5堵塞,使能通過分選篩5的分選液流9流入分選桶8內;在這里再打開第二液流管道10,將分選液流9流入沉淀桶12內,通過攪拌機11進行攪拌,攪拌后將分選液流9沉淀,得到分流液流13 ;首先我們打開帶閥門的溢流管道14,將沉淀桶13內帶閥門的溢流管道14上的細砂粒19流入溢流桶18內,然后再打開第三液流管道15,將合格砂粒17流入分流桶16內。將一大一小砂粒剔除,得到所需范圍9-15um的砂粒,研磨時,使金剛砂粒度分布相對集中,不易造成娃片表面某點劃傷或損壞,提聞娃片良品率。
[0021]以上結合附圖對本實用新型的一種金剛砂分選系統進行了解釋,但是本實用新型的保護范圍不局限于此,凡基于以上實施例所作出的改動或變形均屬于本實用新型要求保護的范圍。
【權利要求】
1.一種金剛砂分選系統,其特征在于:包括混合金剛砂和水形成原液流的混合裝置,與混合裝置連接分選原液流的分選裝置;分選裝置連接分流裝置,分流裝置連接分裝裝置。
2.根據權利要求1所述的一種金剛砂分選系統,其特征在于:所述混合裝置包括攪拌桶,攪拌桶內可設攪拌裝置。
3.根據權利要求2所述的一種金剛砂分選系統,其特征在于:所述分選裝置包括用于篩選原液流的分選篩、位于分選篩下端的分選桶,分選篩可選用振動篩,混合裝置的出料口置于分選篩的上部。
4.根據權利要求3所述的一種金剛砂分選系統,其特征在于:所述分流裝置包括盛裝分選液流的沉淀桶和在沉淀桶內進行攪拌的攪拌機;分選桶與沉淀桶連通。
5.根據權利要求4所述的一種金剛砂分選系統,其特征在于:所述分裝裝置包括盛裝細砂粒的溢流桶和合格砂粒的分流桶,溢流桶與沉淀桶的上部連通,分流桶與沉淀桶的下部連通。
6.根據權利要求5所述的一種金剛砂分選系統,其特征在于:所述攪拌桶下部設有一帶閥門的第一液流管道與分選篩連接;分選桶的下部設有帶閥門的第二液流管道與沉淀桶連接;沉淀桶的上部設有一帶閥門的溢流管道與溢流桶連接,沉淀桶的下部設有的一帶閥門的第三液流管道與分流桶連接。
7.根據權利要求3所述的一種金剛砂分選系統,其特征在于:所述分選篩的網格容小于16um的砂粒通過。
【文檔編號】B03B7/00GK203663987SQ201320710353
【公開日】2014年6月25日 申請日期:2013年11月12日 優先權日:2013年11月12日
【發明者】趙富軍, 李鷺, 榮德 申請人:成都青洋電子材料有限公司