專利名稱：分選機處理晶圓片的系統的制作方法
技術領域：
本實用新型涉及一種對晶圓片進行分選的分選機系統。
背景技術：
在半導體的制作工藝中，需要對半導體進行重排和分選，但是現在通常采用攝像機進行采樣，然后進行分選，但是攝像機鏡頭對一些排列緊密或者間距較大的晶圓片采樣時，經常漏選，而且效率低下。
實用新型內容本實用新型目的是針對現有技術存在的缺陷提供一種分選機處理晶圓片的系統。本實用新型為實現上述目的，采用如下技術方案本實用新型分選機處理晶圓片的系統，包括晶圓片檢測裝置、分選機數據轉換單元、分選機控制裝置和分選機執行裝置，其中晶圓片檢測裝置的輸出端接分選機數據轉換單元的輸入端，分選機控制裝置與分選機數據轉換單元雙向通信，分選機控制裝置的輸出端接分選機執行裝置的輸入端。本實用新型簡化了生產工藝、設備簡單，檢測精度高。
圖1 :本實用新型結構圖。
具體實施方式
如圖1所示，本實用新型分選機處理晶圓片的系統，包括晶圓片檢測裝置、分選機數據轉換單元、分選機控制裝置和分選機執行裝置，其中晶圓片檢測裝置的輸出端接分選機數據轉換單元的輸入端，分選機控制裝置與分選機數據轉換單元雙向通信，分選機控制裝置的輸出端接分選機執行裝置的輸入端。
權利要求1. 一種分選機處理晶圓片的系統，其特征在于包括晶圓片檢測裝置、分選機數據轉換單元、分選機控制裝置和分選機執行裝置，其中晶圓片檢測裝置的輸出端接分選機數據轉換單元的輸入端，分選機控制裝置與分選機數據轉換單元雙向通信，分選機控制裝置的輸出端接分選機執行裝置的輸入端。
專利摘要本實用新型公布了一種分選機處理晶圓片的系統，包括晶圓片檢測裝置、分選機數據轉換單元、分選機控制裝置和分選機執行裝置，其中晶圓片檢測裝置的輸出端接分選機數據轉換單元的輸入端，分選機控制裝置與分選機數據轉換單元雙向通信，分選機控制裝置的輸出端接分選機執行裝置的輸入端。本實用新型簡化了生產工藝、設備簡單，檢測精度高。
文檔編號B07C5/34GK201940377SQ20102062282
公開日2011年8月24日 申請日期2010年11月25日 優先權日2010年11月25日
發明者張春華, 張馨月 申請人:無錫春輝科技有限公司