水噴淋處理與燃燒廢氣凈化裝置的制造方法
【專利摘要】本實用新型提供一種水噴淋處理與燃燒廢氣凈化裝置，包括水噴淋洗滌處理塊及廢氣燃燒處理塊，所述水噴淋洗滌處理塊用于對尾氣進行噴淋洗滌及凈化，所述廢氣燃燒處理塊用于燃燒經所述水噴淋洗滌處理塊處理后的廢氣，所述水噴淋洗滌處理塊與所述廢氣燃燒處理塊通過一管道連接，在所述管道處設置有一干燥裝置，用于干燥經過所述管道的氣體。本實用新型的優點在于，避免了管道因廢氣水的沉積而造成腐蝕，造成設備壽命的減短；干燥的氣體可以更快速的完全燃燒，降低燃氣的使用量，節約公司的成本費用；干燥的氣體可以更充分的完全燃燒，從而最終排到大氣中的氣體更清潔，污染少，更環保。
【專利說明】
水噴淋處理與燃燒廢氣凈化裝置
技術領域
[0001]本實用新型涉及半導體外延設備領域，尤其涉及一種水噴淋處理與燃燒廢氣凈化
目.0
【背景技術】
[0002]在半導體外延生產中，每日有大量的廢氣產生，若不經過凈化處理直接排放到大氣中，則會對整個大氣環境造成很大的污染，人長期生活在這樣的環境中，會對生命安全造成很大的隱患，在這樣的背景下，尾氣凈化裝置應運而生。
[0003]參見圖1，現有的水噴淋處理與燃燒廢氣凈化裝置包括水噴淋洗滌處理塊I及廢氣燃燒處理塊2，尾氣先經過水噴淋洗滌處理塊I，進行第一道凈化工序，在水噴淋洗滌處理塊I中，尾氣經過水洗滌之后還要經過多道噴淋凈化處理，處理之后會通過管道3進入第二道凈化工序，即進入廢氣燃燒處理塊2中，進行燃燒處理，如圖1中箭頭所示。
[0004]目前的裝置存在如下問題:
[0005]1、管道3會因水汽的沉積，出現嚴重的腐蝕，從而存在安全隱患。
[0006]2、經過水噴淋洗滌處理塊I之后，尾氣中含有大量的水汽，在沒有其它處理措施的情況下，直接進入到廢氣燃燒處理塊2中進行廢氣燃燒處理，由于含有大量的水汽，因此，會造成燃料的成本費用的增加，廢氣不完全燃燒。尾氣的不完全燃燒，有毒氣體的殘余，它們排放到大氣中，污染大氣，同時對工作人員的生命安全造成危害。
【實用新型內容】
[0007]本實用新型所要解決的技術問題是，提供一種用于水噴淋處理與燃燒廢氣凈化裝置，其能夠提供穩定有效的氣體供應。
[0008]為了解決上述問題，本實用新型提供了一種水噴淋處理與燃燒廢氣凈化裝置，包括水噴淋洗滌處理塊及廢氣燃燒處理塊，所述水噴淋洗滌處理塊用于對尾氣進行噴淋洗滌及凈化，所述廢氣燃燒處理塊用于燃燒經所述水噴淋洗滌處理塊處理后的廢氣，所述水噴淋洗滌處理塊與所述廢氣燃燒處理塊通過一管道連接，在所述管道處設置有一干燥裝置，用于干燥經過所述管道的氣體。
[0009]進一步，所述干燥裝置包括干燥劑，設置在所述管道內，用于吸收經過所述管道的氣體內的水分，以實現干燥氣體的目的。
[0010]進一步，所述干燥裝置包括一冷卻構件，用于使經過所述管道的氣體內的水分冷凝，以實現干燥氣體的目的。
[0011 ]進一步，所述冷卻構件包覆在所述管道外壁。
[0012]進一步，所述冷卻構件為水冷構件。
[0013]本實用新型的優點在于，避免了管道因廢氣水的沉積而造成腐蝕，造成設備壽命的減短;干燥的氣體可以更快速的完全燃燒，降低燃氣的使用量，節約公司的成本費用;干燥的氣體可以更充分的完全燃燒，從而最終排到大氣中的氣體更清潔，污染少，更環保。
【附圖說明】
[0014]圖1是現有的水噴淋處理與燃燒廢氣凈化裝置的結構示意圖；
[0015]圖2是本發明水噴淋處理與燃燒廢氣凈化裝置的一實施例的結構示意圖。
【具體實施方式】
[0016]下面結合附圖對本實用新型提供的水噴淋處理與燃燒廢氣凈化裝置的【具體實施方式】做詳細說明。
[0017]參見圖2，本實用新型一種水噴淋處理與燃燒廢氣凈化裝置包括水噴淋洗滌處理塊I及廢氣燃燒處理塊2。
[0018]所述水噴淋洗滌處理塊I用于對進入本實用新型水噴淋處理與燃燒廢氣凈化裝置的尾氣進行噴淋洗滌及凈化，進行尾氣的第一次凈化處理。由于該步驟采用水進行處理，因此，經過該水噴淋洗滌處理塊I凈化的氣體帶有大量水汽。
[0019]所述廢氣燃燒處理塊2用于燃燒經所述水噴淋洗滌處理塊I處理后的廢氣，即進行尾氣的第二道凈化處理。所述水噴淋洗滌處理塊I與所述廢氣燃燒處理塊2通過一管道3連接。來自所述水噴淋洗滌處理塊I的帶有水汽的廢氣通過管道3進入所述廢氣燃燒處理塊2進行處理。管道3會因水汽的沉積，出現嚴重的腐蝕，從而存在安全隱患，且廢氣在廢氣燃燒處理塊2中進行廢氣燃燒處理，由于含有大量的水汽，會造成燃料的成本費用的增加，廢氣不完全燃燒，廢氣的的不完全燃燒，造成有毒氣體的殘余，它們排放到大氣中，污染大氣，同時對工作人員的生命安全造成危害。
[0020]本實用新型水噴淋處理與燃燒廢氣凈化裝置在所述管道3處設置有一干燥裝置4，用于干燥經過所述管道3的氣體。
[0021]在本實用新型水噴淋處理與燃燒廢氣凈化裝置的一個實施例中，所述干燥裝置4包括干燥劑(附圖中未標示)。所述干燥劑設置在所述管道3內，用于吸收經過所述管道3的氣體內的水分，以實現干燥氣體的目的。
[0022]在本實用新型水噴淋處理與燃燒廢氣凈化裝置的另一實施例中，所述干燥裝置4包括一冷卻構件5，用于使經過所述管道3的氣體內的水分冷凝，以實現干燥氣體的目的，如圖2所示，所述冷卻構件5包覆在所述管道3外壁。所述冷卻構件5冷卻方式可以從現有技術中獲取，例如，所述冷卻構件為水冷構件，采用水冷的方式冷卻。
[0023]以上所述僅是本實用新型的優選實施方式，應當指出，對于本技術領域的普通技術人員，在不脫離本實用新型原理的前提下，還可以做出若干改進和潤飾，這些改進和潤飾也應視為本實用新型的保護范圍。
【主權項】
1.一種水噴淋處理與燃燒廢氣凈化裝置，其特征在于，包括水噴淋洗滌處理塊及廢氣燃燒處理塊，所述水噴淋洗滌處理塊用于對尾氣進行噴淋洗滌及凈化，所述廢氣燃燒處理塊用于燃燒經所述水噴淋洗滌處理塊處理后的廢氣，所述水噴淋洗滌處理塊與所述廢氣燃燒處理塊通過一管道連接，在所述管道處設置有一干燥裝置，用于干燥經過所述管道的氣體。2.根據權利要求1所述的水噴淋處理與燃燒廢氣凈化裝置，其特征在于，所述干燥裝置包括干燥劑，設置在所述管道內，用于吸收經過所述管道的氣體內的水分，以實現干燥氣體的目的。3.根據權利要求1所述的水噴淋處理與燃燒廢氣凈化裝置，其特征在于，所述干燥裝置包括一冷卻構件，用于使經過所述管道的氣體內的水分冷凝，以實現干燥氣體的目的。4.根據權利要求3所述的水噴淋處理與燃燒廢氣凈化裝置，其特征在于，所述冷卻構件包覆在所述管道外壁。5.根據權利要求3所述的水噴淋處理與燃燒廢氣凈化裝置，其特征在于，所述冷卻構件為水冷構件。
【文檔編號】B01D53/26GK205412591SQ201521007141
【公開日】2016年8月3日
【申請日】2015年11月27日
【發明人】吳慶東, 周康, 張思良, 郭昌
【申請人】上海新傲科技股份有限公司