一種低溫純化器的制造方法
【技術領域】
[0001 ] 本實用新型涉及一種純化器，具體涉及一種低溫純化器。
【背景技術】
[0002]隨著國民經濟高科技發展，人們對氣體純度的要求越來越高。半導體工業提供了一個對超高純生產氣體的需求不斷增加的具體例子，在半導體的制造時，反應性氣體的純度對半導體器件的品質具有很重要的影響。為了滿足這些需求，人們對氣體超高純化的方法進行了廣泛的科技研究。超高純氣體通常是通過以下方法制得的:使用具有純化器的純化系統，對生產氣體進行處理，從中除去雜質。目前，大部分的研究和開發努力都集中在純化器中的介質上，并且己經能夠使氣體純度達99.999 %，但是在一些情況下，純化器介質的吸收特性限制了特定純化器介質所能達到的雜質去除水平，而且在低溫純化方面效果比較差。因此，人們仍然需要對氣體純化系統進行改進。
【發明內容】
[0003]本實用新型的目的在于提供一種結構簡單，成本低廉，低溫冷卻效果好的一種低溫純化器。
[0004]本實用新型采取的技術方案為:
[0005]—種低溫純化器，其特征在于，包括順次連接的氣體瓶、閥門分配箱、預冷器、低溫純化裝置和加熱器，所述低溫純化裝置包括密閉腔體和純化螺管，所述密閉腔體內充滿降溫材料，純化螺管浸沒于降溫材料，純化螺管內設有純化介質，純化螺管的一端與預冷器的輸出端連接，純化螺管的另一端與加熱器相連接。
[0006]進一步地，所述預冷器與閥門分配箱的連接管道上設有載氣體入口，低溫純化裝置與加熱器件的連接管道上設有載氣體出口。
[0007]進一步地，所述純化介質為佛石、或氧化硅或碳的一種或多種的混合物。
[0008]再進一步地，所述降溫材料為液態氧。
[0009]采取以上技術方案后，本實用新型的有益效果為:本實用新型結構簡單、成本低廉，所采用液態氧降溫材料低溫冷卻效果好，工作效率高，操作簡便，值得推廣應用。
【附圖說明】
[0010]圖1為本實用新型的結構示意圖。
[0011 ]圖中:氣體瓶I，閥門分配箱2，預冷器3，低溫純化裝置4，加熱器5，載氣體入口 6，純化螺管7，純化介質8，降溫材料9，載氣體出口 10。
【具體實施方式】
[0012]以下結合附圖對本實用新型的【具體實施方式】做進一步詳述:
[0013]—種低溫純化器，包括順次連接的氣體瓶1、閥門分配箱2、預冷器3、低溫純化裝置4和加熱器5，所述低溫純化裝置包括密閉腔體和純化螺管7，所述密閉腔體內充滿降溫材料9，所述降溫材料9為液態氧，純化螺管7浸沒于降溫材料9，純化螺管7內設有純化介質8，所述純化介質8為佛石、或氧化硅或碳的一種或多種的混合物，純化螺管7的一端與預冷器3的輸出端連接，純化螺管7的另一端與加熱器5相連接。所述預冷器3與閥門分配箱2的連接管道上設有載氣體入口 6，低溫純化裝置4與加熱器5間的連接管道上設有載氣體出口 10。
【主權項】
1.一種低溫純化器，其特征在于，包括順次連接的氣體瓶、閥門分配箱、預冷器、低溫純化裝置和加熱器，所述低溫純化裝置包括密閉腔體和純化螺管，所述密閉腔體內充滿降溫材料，純化螺管浸沒于降溫材料，純化螺管內設有純化介質，純化螺管的一端與預冷器的輸出端連接，純化螺管的另一端與加熱器相連接。2.根據權利要求1所述的一種低溫純化器，其特征在于，所述預冷器與閥門分配箱的連接管道上設有載氣體入口，低溫純化裝置與加熱器件的連接管道上設有載氣體出口。3.根據權利要求1所述的一種低溫純化器，其特征在于，所述降溫材料為液態氧。
【專利摘要】本實用新型涉及一種低溫純化器，包括順次連接的氣體瓶、閥門分配箱、預冷器、低溫純化裝置和加熱器，所述低溫純化裝置包括密閉腔體和純化螺管，所述密閉腔體內充滿降溫材料，純化螺管浸沒于降溫材料，純化螺管內設有純化介質，純化螺管的一端與預冷器的輸出端連接，純化螺管的另一端與加熱器相連接。其結構簡單、成本低廉，所采用液態氧降溫材料低溫冷卻效果好，工作效率高，操作簡便，值得推廣應用。
【IPC分類】B01D53/04
【公開號】CN205340483
【申請號】CN201521037924
【發明人】顧大元, 趙遠, 陳斌, 徐輝, 季成, 陶愛堂, 徐振兵, 蘆國富, 陳衛, 謝濤, 劉小燕, 毛金榮
【申請人】泰興市智光環保科技有限公司
【公開日】2016年6月29日
【申請日】2015年12月15日