一種用于減壓擴散爐的尾氣真空除酸過濾器的制造方法
【技術領域】
[0001]本發明涉及減壓擴散爐的尾氣處理設備，尤其涉及一種用于減壓擴散爐的尾氣真空除酸過濾器。
【背景技術】
[0002]目前減壓擴散技術已經作為一種先進的技術手段應用在硅片的擴散工藝中，減壓擴散由于其能顯著地提高方塊電阻，并在高方阻下仍具有很好的均勻性，提高氣體的使用效率，提高產能，因而具有非常廣闊的前景。由于減壓擴散的爐體(即擴散爐，是半導體生產線前工序的重要工藝設備之一，用于大規模集成電路、分立器件、電力電子、光電器件和光導纖維等行業的擴散、氧化、退火、合金及燒結等)內處于負壓狀態，外界空氣容易進入擴散反應爐污染硅片，因此減壓擴散對裝置的密封性提出很高的要求，同時，反應爐產生的尾氣中含有偏磷酸，具有很強的腐蝕性，因此，減壓擴散技術對尾氣處理提出了很高的要求。而常壓擴散中，尾氣直接通過廢氣管排出，不需要經過真空栗，所以不需要除酸。現有技術中沒有專門為除酸而設計的真空過濾器，現有的過濾器一般也不適合減壓擴散尾氣處理的要求，而一般的真空過濾器也因耐腐蝕能力不強而無法應用于減壓擴散尾氣處理技術中。
【發明內容】
[0003]本發明要解決的技術問題是克服現有技術的不足，提供一種結構簡單且可除去尾氣中偏磷酸的用于減壓擴散爐的尾氣真空除酸過濾器。
[0004]為解決上述技術問題，本發明采用以下技術方案:
一種用于減壓擴散爐的尾氣真空除酸過濾器，包括密封的過濾筒體以及分設于過濾筒體兩端的進氣管和出氣管，所述進氣管的出氣端與過濾筒體連通，所述出氣管的進氣端與過濾筒體連通，所述過濾筒體內填充有用于除酸的吸附劑，所述進氣管的出氣端設有多個同于進氣管出氣的通氣小孔，所述出氣管的進氣端設有多個用于出氣管進氣的通氣小孔，所述吸附劑的粒徑大于所述通氣小孔的孔徑。
[0005]作為上述技術方案的進一步改進:
所述進氣管的出氣端延伸至所述過濾筒體內，所述進氣管位于過濾筒體內的外圓周面上設有多個所述通氣小孔，且所述出氣端的端面密封設置，所述出氣管的進氣端延伸至所述過濾筒體內，所述出氣管位于過濾筒體內的外圓周面上設有多個所述通氣小孔，且所述進氣端的端面密封設置。
[0006]所述進氣管與過濾筒體之間螺紋連接，所述進氣管上套設于有進氣管法蘭，所述進氣管法蘭與過濾筒體之間壓設有氟橡膠密封圈。
[0007]所述出氣管與過濾筒體之間螺紋連接，所述出氣管上套設于有出氣管法蘭，所述出氣管法蘭與過濾筒體之間壓設有氟橡膠密封圈。
[0008]所述吸附劑為氧化鋁顆粒。
[0009]所述過濾筒體為一端開口的半封閉筒體結構，所述過濾筒體開口一端通過端蓋密封連接，所述進氣管位于端蓋一側。
[0010]所述進氣管為聚四氟乙烯管，所述出氣管為聚四氟乙烯管，所述過濾筒體為聚四氟乙烯筒體，所述端蓋為聚四氟乙烯端蓋。
[0011]所述端蓋通過端蓋螺栓與過濾筒體固定連接，且端蓋與過濾筒體之間設有氟橡膠端蓋密封圈。
[0012]與現有技術相比，本發明的優點在于:
(I)本發明的用于減壓擴散爐的尾氣真空除酸過濾器，采用密封的且內部填充具有吸酸功能的吸附劑的過濾筒體，使減壓擴散爐的尾氣在進入真空栗排出之前通過該過濾筒體除酸，避免尾氣中的偏磷酸對真空栗的腐蝕，結構簡單，提高了真空栗的使用壽命。
[0013](2)本發明的用于減壓擴散爐的尾氣真空除酸過濾器，吸附劑為氧化鋁顆粒，可以很好地吸收偏磷酸，比一般粉末狀顆粒要更適合氣體的流通。
[0014](3)本發明的用于減壓擴散爐的尾氣真空除酸過濾器，在位于過濾筒體內的進氣管和出氣管的管外壁上開設小孔，可以增加尾氣在過濾筒體內的流動行程，加強了對尾氣中偏磷酸的吸收。
[0015](4)本發明的用于減壓擴散爐的尾氣真空除酸過濾器，過濾筒體采用法蘭加密封圈方式密封，能有效地防止氣體泄露，可以確保該過濾器在真空下工作，過濾筒體、端蓋采用聚四氟乙烯材料，可以有效地防止過濾器被尾氣腐蝕，各密封圈采用氟橡膠材料，避免被尾氣腐蝕。
【附圖說明】
[0016]圖1是本發明的結構示意圖。
[0017]圖2是本發明的過濾筒體內氣體流向示意圖。
[0018]圖中各標號表不:
1、進氣管；2、進氣管法蘭；3、氟橡膠密封圈；4、端蓋螺栓；5、氟橡膠端蓋密封圈；8、出氣管；9、出氣管法蘭；10、通氣小孔；11、吸附劑；13、過濾筒體；14、端蓋。
【具體實施方式】
[0019]以下結合說明書附圖和具體實施例對本發明作進一步詳細說明。
[0020]如圖1所示，本實施例的用于減壓擴散爐的尾氣真空除酸過濾器，包括密封的過濾筒體13以及分設于過濾筒體13兩端的進氣管I和出氣管8，進氣管I的出氣端與過濾筒體13連通，出氣管8的進氣端與過濾筒體13連通，過濾筒體13內填充有用于除酸的吸附劑11，進氣管I的出氣端設有多個同于進氣管I出氣的通氣小孔10，出氣管8的進氣端設有多個用于出氣管8進氣的通氣小孔10，吸附劑11的粒徑大于通氣小孔10的孔徑，避免吸附劑11進入進氣管I或者出氣管8。減壓擴散爐的尾氣進入進氣管1，經進氣管I的通氣小孔10進入過濾筒體13，經過吸附劑11除去尾氣中的偏磷酸，凈化后的氣體經出氣管8的通氣小孔10進入出氣管8，出氣管8連通真空栗(圖中未示出)，凈化后的無酸氣體通過真空栗排出。減壓擴散爐的尾氣在進入真空栗排出之前通過本實施例的除酸過濾器凈化除酸，避免尾氣中的偏磷酸對真空栗的腐蝕，結構簡單，提高了真空栗的使用壽命。
[0021]本實施例中，吸附劑11為氧化鋁顆粒，可以很好地吸收偏磷酸，且氧化鋁顆粒的直徑大于通氣小孔10，不僅能防止顆粒進入進氣管I或者出氣管8，而且比一般粉末狀顆粒要更適合氣體的流通。除本實施例外，也可以采用類似氧化鋁顆粒的其他具有吸酸作用的顆粒代替。
[0022]本實施例中，進氣管I的出氣端延伸至過濾筒體13內，進氣管I位于過濾筒體13內的外圓周面上設有多個通氣小孔10，且出氣端的端面密封設置，出氣管8的進氣端延伸至過濾筒體13內，出氣管8位于過濾筒體13內的外圓周面上設有多個通氣小孔10，且進氣端的端面密封設置。如圖2所示，在進氣管I和出氣管8的管外壁上開設小孔，可以增加尾氣在過濾筒體13內的流動行程，加強了對偏磷酸的吸收。
[0023]本實施例中，進氣管I與過濾筒體13之間螺紋連接，進氣管I上套設于有進氣管法蘭2，進氣管法蘭2與過濾筒體13之間壓設有氟橡膠密封圈3。出氣管8與過濾筒體13之間螺紋連接，出氣管8上套設于有出氣管法蘭9，出氣管法蘭9與過濾筒體13之間壓設有氟橡膠密封圈3。過濾筒體13為一端開口的半封閉筒體結構，此開口便于將氧化鋁顆粒裝入過濾筒體13內，過濾筒體13開口一端通過端蓋14密封連接，進氣管I位于端蓋14 一偵U。進氣管I為聚四氟乙烯管，出氣管8為聚四氟乙烯管，過濾筒體13為聚四氟乙烯筒體，端蓋14為聚四氟乙烯端蓋。端蓋14通過端蓋螺栓4與過濾筒體13固定連接，且端蓋14與過濾筒體13之間設有氟橡膠端蓋密封圈5。過濾筒體13采用法蘭加密封圈方式密封，能有效地防止氣體泄露，可以確保該過濾器在真空下工作。過濾筒體13、端蓋14采用聚四氟乙烯材料，可以有效地防止過濾器被尾氣腐蝕，各密封圈采用氟橡膠材料，避免被尾氣腐蝕。
[0024]雖然本發明已以較佳實施例揭露如上，然而并非用以限定本發明。任何熟悉本領域的技術人員，在不脫離本發明技術方案范圍的情況下，都可利用上述揭示的技術內容對本發明技術方案做出許多可能的變動和修飾，或修改為等同變化的等效實施例。因此，凡是未脫離本發明技術方案的內容，依據本發明技術實質對以上實施例所做的任何簡單修改、等同變化及修飾，均應落在本發明技術方案保護的范圍內。
【主權項】
1.一種用于減壓擴散爐的尾氣真空除酸過濾器，包括密封的過濾筒體(13)以及分設于過濾筒體(13)兩端的進氣管(I)和出氣管(8)，所述進氣管(I)的出氣端與過濾筒體(13)連通，所述出氣管(8)的進氣端與過濾筒體(13)連通，其特征在于:所述過濾筒體(13)內填充有用于除酸的吸附劑(11)，所述進氣管(I)的出氣端設有多個同于進氣管(I)出氣的通氣小孔(10)，所述出氣管(8)的進氣端設有多個用于出氣管(8)進氣的通氣小孔(10)，所述吸附劑(11)的粒徑大于所述通氣小孔(10)的孔徑。2.根據權利要求1所述的用于減壓擴散爐的尾氣真空除酸過濾器，其特征在于:所述進氣管(I)的出氣端延伸至所述過濾筒體(13)內，所述進氣管(I)位于過濾筒體(13)內的外圓周面上設有多個所述通氣小孔(10)，且所述出氣端的端面密封設置，所述出氣管(8)的進氣端延伸至所述過濾筒體(13)內，所述出氣管(8)位于過濾筒體(13)內的外圓周面上設有多個所述通氣小孔(10)，且所述進氣端的端面密封設置。3.根據權利要求2所述的用于減壓擴散爐的尾氣真空除酸過濾器，其特征在于:所述進氣管(I)與過濾筒體(13)之間螺紋連接，所述進氣管(I)上套設于有進氣管法蘭(2)，所述進氣管法蘭(2)與過濾筒體(13)之間壓設有氟橡膠密封圈(3)。4.根據權利要求2所述的用于減壓擴散爐的尾氣真空除酸過濾器，其特征在于:所述出氣管(8)與過濾筒體(13)之間螺紋連接，所述出氣管(8)上套設于有出氣管法蘭(9)，所述出氣管法蘭(9)與過濾筒體(13)之間壓設有氟橡膠密封圈(3)。5.根據權利要求1至4任意一項所述的用于減壓擴散爐的尾氣真空除酸過濾器，其特征在于:所述吸附劑(11)為氧化鋁顆粒。6.根據權利要求1至4任意一項所述的用于減壓擴散爐的尾氣真空除酸過濾器，其特征在于:所述過濾筒體(13)為一端開口的半封閉筒體結構，所述過濾筒體(13)開口一端通過端蓋(14)密封連接，所述進氣管(I)位于端蓋(14) 一側。7.根據權利要求6所述的用于減壓擴散爐的尾氣真空除酸過濾器，其特征在于:所述進氣管(I)為聚四氟乙烯管，所述出氣管(8)為聚四氟乙烯管，所述過濾筒體(13)為聚四氟乙烯筒體，所述端蓋(14)為聚四氟乙烯端蓋。8.根據權利要求6所述的用于減壓擴散爐的尾氣真空除酸過濾器，其特征在于:所述端蓋(14)通過端蓋螺栓(4)與過濾筒體(13)固定連接，且端蓋(14)與過濾筒體(13)之間設有氟橡膠端蓋密封圈(5)。
【專利摘要】本發明公開了一種用于減壓擴散爐的尾氣真空除酸過濾器，包括密封的過濾筒體以及分設于過濾筒體兩端的進氣管和出氣管，進氣管的出氣端與過濾筒體連通，出氣管的進氣端與過濾筒體連通，過濾筒體內填充有用于除酸的吸附劑，進氣管的出氣端設有多個同于進氣管出氣的通氣小孔，出氣管的進氣端設有多個用于出氣管進氣的通氣小孔，吸附劑的粒徑大于通氣小孔的孔徑。本發明具有密封性好、防腐蝕性好、可有效除去減壓擴散爐的尾氣中的偏磷酸的優點。
【IPC分類】B01D46/24, B01D53/04
【公開號】CN105194949
【申請號】CN201510625656
【發明人】肖潔, 李明, 符慧能
【申請人】湖南紅太陽光電科技有限公司
【公開日】2015年12月30日
【申請日】2015年9月28日