單晶硅生長爐真空尾氣自動除塵裝置的制造方法
【專利說明】
【技術領域】
[0001]本發明涉及單晶硅生長設備的環保、節能領域，特別是單晶硅生長爐真空尾氣處理技術領域。
【【背景技術】】
[0002]單晶硅生長爐是一種在真空和惰性氣體(氬氣為主)環境中，用石墨加熱器將多晶硅等多晶材料熔化，用直拉法生長無錯位單晶的設備。目前的單晶硅生長爐在長晶過程中，爐內會產生粉塵和一氧化碳顆粒。為了保證單晶生長爐內真空，需要接入真空栗抽真空，產生的尾氣接入油霧分離器過濾之后排入大氣中。在真空栗抽真空過程中，爐內氣體中大量粉塵和一氧化碳顆粒會直接吸入真空栗內，粉塵與真空栗內的潤滑油混合，導致真空栗潤滑失效，如若潤滑油更換不及時，會導致真空栗損壞，但潤滑油更換頻繁，不僅資源浪費嚴重，而且加大了拉晶成本，影響生產效率。當前的解決方式是在真空栗體與單晶爐之間連接一個除塵過濾罐。除塵過濾罐內含濾芯，氣體通過濾芯能過濾大量粉塵。但同時粉塵會附著在濾芯上，很快會使濾芯堵塞，導致單晶爐內壓力急劇升高，從而影響生產。因此，工人會經常手動打開過濾爐，拿出濾芯，清理附著在濾芯上的粉塵。這個過程需要人工操作，不僅耗時影響工作效率，而且增加很多額外勞動力。
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【發明內容】
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[0003]本發明的目的就是解決現有技術中存在的問題，提供一種單晶硅生長爐真空尾氣自動除塵裝置，能夠讓真空栗在抽真空的過程中過濾掉爐內氣體中的粉塵，同時也能自動清理附著在除塵器濾芯上的粉塵。提高成品率，減少勞動成本的同時，大大的提高了生產效率。
[0004]為實現上述目的，本發明提出了一種單晶硅生長爐真空尾氣自動除塵裝置，組成包括主罐體、主罐體上蓋、毛刷固定架、毛刷、絲桿升降器、提升架、進出口管道組件、儲氣罐；所述主罐體上蓋設有動力機構，該機構包含電機、磁性聯軸器。電機與磁性聯軸器通過同步帶連接，磁性聯軸器與主罐體上蓋連接，磁性聯軸器主軸直接伸入除塵罐內與毛刷固定架連接，毛刷安裝在毛刷固定架上；所述絲桿升降器與主罐體連接，提升架與絲桿升降器連接，主罐體上蓋與提升架連接；所述儲氣罐與脈沖閥連接，脈沖閥與主罐體之間通過波紋管連接；所述進出口管道組件包含進氣接口、出氣接口、備用應急接口、截止閥，進氣接口與單晶爐連接，出氣接口與真空栗連接。
[0005]作為優選，所述磁性聯軸器與主罐體上蓋之間通過密封圈連接，磁性聯軸器內部為非接觸式連接，有效防止除塵罐真空泄漏。
[0006]作為優選，所述毛刷固定架結構呈三等分均勻分開，3個毛刷分別安裝在固定架上，毛刷的位置前后上下可做調整。
[0007]作為優選，所述波紋管直接通入濾芯內部，通過脈沖閥不間斷放氣噴吹。
[0008]作為優選，所述主罐體設有粉塵清理出口，該出口位于主罐體下端，數量至少為兩個。
[0009]作為優選，所述主罐體設有觀察窗口，該窗口位于主罐體中部和下部，4個均勻相對交錯分布，觀察窗口為4個。
[0010]作為優選，所述進出口管道組件設有備用應急出口，應急出口可與備用自動清灰除塵罐。
[0011]作為優選，所述進出口管道組件中打開相應的截止閥，單晶爐可直接與真空栗連接。
[0012]本發明的有益效果:本發明能自動完成粉塵過濾和濾芯清理維護整個過程。當真空栗工作時，單晶爐內氣體會通過自動清理除塵罐，除塵罐內的濾芯過濾的過程中會附著大量粉塵，這時爐內的毛刷會做間歇旋轉運動，清理濾芯表面粉塵。當單晶硅生長爐停止工作后，用儲氣罐內的氣體噴吹除塵罐內的濾芯，達到進一步清理濾芯的效果。用毛刷和噴氣清理同時進行，清理徹底，清理效率高，清理操作的自動化程度高，操作方便，使用安全。
[0013]本發明的特征及優點將通過實主罐體施例結合附圖進行詳細說明。
【【附圖說明】】
[0014]圖1是本發明一種單晶硅生長爐真空尾氣自動除塵裝置的結構示意圖；
[0015]圖2是本發明一種單晶硅生長爐真空尾氣自動除塵裝置的內部結構示意圖；
[0016]圖3是本發明一種單晶硅生長爐真空尾氣自動除塵裝置的局部結構示意圖；
[0017]圖中:1-主罐體、2-主罐體上蓋、3-電機、4-同步帶、5-磁性聯軸器、6-提升架、7-絲桿升降器、8-觀察窗口、9-粉塵清理出口、10-儲氣罐、11-儲氣罐、12-脈沖閥、13-進出口管道組件、14-波紋管、15-進氣接口、16-截止閥、17-備用應急接口、18-濾芯、19-毛刷、20-毛刷固定架、21-磁性聯軸器主軸
【【具體實施方式】】
[0018]參閱圖1、圖2、圖3，本發明包括主罐體1、主罐體上蓋2、提升架6、絲桿升降器7、儲氣罐11、進出口管道組件13、毛刷19、毛刷固定架20 ;所述主罐體上蓋2設有動力機構，該機構包含電機3、磁性聯軸器5。電機3與磁性聯軸器5通過同步帶4連接，磁性聯軸器5與主罐體上蓋2連接，磁性聯軸器主軸21直接伸入罐內與毛刷固定架20連接，毛刷19分別安裝在毛刷固定架20上；所述絲桿升降器7與主罐體I連接，提升架6與絲桿升降器7連接，主罐體上蓋2與提升架6連接；所述儲氣罐11與脈沖閥12連接，脈沖閥12與主罐體I之間通過波紋管14連接；所述進出口管道組件包含進氣接口 15、出氣接口 10、備用應急接口 17、截止閥16，進氣接口 15與單晶爐連接，出氣接口 10與真空栗連接。
[0019]所述磁性聯軸器5與主罐體上蓋2之間通過密封圈連接，磁性聯軸器5內部為非接觸式連接，有效防止除塵罐真空泄漏。所述毛刷固定架20結構呈三等分均勻分開，3個毛刷19分別安裝在毛刷固定架20上，毛刷19的位置前后上下可做調整。所述主罐體I設有粉塵清理出口 9，該出口位于主罐體I下端，數量至少為兩個。所述主罐體I設有觀察窗口6，該窗口位于主罐體I中部和下部，4個均勻相對交錯分布，觀察窗口 8的數量為4個。所述進出口管道組件設有備用應急出口 17，備用應急出口 17可與備用自動清灰除塵罐。所述進出口管道組件中打開相應的截止閥16，單晶爐可直接與真空栗連接。
[0020]本發明工作過程:
[0021]本發明一種單晶硅生長爐真空尾氣自動除塵裝置在工作過程中，進氣口接15接單晶爐，出氣接口 10與真空栗連接。當生長爐工作時，為了保持生長爐內真空，真空栗開始工作，此時爐內氣體經過自動清灰除塵罐過濾，然后進入真空栗。這個過程中自動清灰除塵罐內濾芯會慢慢積起粉塵。這時電機3啟動，帶動同步帶4轉動，同步帶4帶動磁性聯軸器5轉動，磁性聯軸器主軸21帶動毛刷固定架20間歇勻速旋轉。此時安裝在毛刷固定架20上的3個毛刷19開始貼著濾芯18表面旋轉，刷掉一部分粉塵。在停機后，脈沖閥12開始工作，向除塵罐內部的濾芯17內表面作間斷式吹氣，進一步清理濾芯內粉塵。這個過程中可以通過觀察窗口 8觀察濾芯18粉塵清理情況。在停機維護的時候，可以通過粉塵清理出口 9將會落入爐內粉塵清理掉掉。當尾氣自動除塵裝置在長時間使用后需要更換濾芯17和毛刷19時，可以用人工手搖絲桿升降器7，絲桿升降器7帶動提升架6上升，提升架6提起主罐體上蓋2，抬到一定高度后，可以拆掉毛刷固定架20上的螺栓，然后旋轉提升架6把主罐體上蓋避開后，可以輕易拿出濾芯17并更換。同時也可以拿出毛刷固定架20，手動更換毛刷19。
[0022]本發明能自動完成粉塵過濾和濾芯清理維護整個過程。當真空栗工作時，單晶爐內氣體會通過自動清理除塵罐，除塵罐內的濾芯過濾的過程中會附著大量粉塵，這時爐內的毛刷會做間歇旋轉運動，清理濾芯表面粉塵。當生長爐停止工作后，用儲氣罐內的氣體噴吹除塵罐內的濾芯，達到進一步清理濾芯的效果。用毛刷和噴氣清理同時進行，清理徹底，清理效率高，清理操作的自動化程度高，操作方便，使用安全。
[0023]上述實施例是對本發明的說明，不是對本發明的限定，任何對本發明簡單變換后的方案均屬于本發明的保護范圍。
【主權項】
1.一種單晶硅生長爐真空尾氣自動除塵裝置，其特征在于:包括主罐體(1)、主罐體上蓋(2)、提升架(6)、絲桿升降器(7)、儲氣罐(11)、進出口管道組件(13)、毛刷(19)、毛刷固定架(20 );所述主罐體上蓋(2 )設有動力機構，該機構包含電機(3 )、磁性聯軸(5 )，電機(3 )與磁性聯軸器(5)通過同步帶(4)連接，磁性聯軸器(5)與主罐體上蓋(2)連接，磁性聯軸器主軸(21)直接伸入罐內與毛刷固定架(20)連接，毛刷(19)分別安裝在毛刷固定架(20)上；所述主罐體(I)與絲桿升降器(7)連接，提升架(6)與絲桿升降器(7)連接，主罐體上蓋(2)與提升架(6)連接；所述儲氣罐(11)與脈沖閥(12)連接，脈沖閥(12)與主罐體(I)之間通過波紋管(14)連接；所述進出口管道組件包含出氣接口(10)、進氣接口(15)、截止閥(16)、備用應急接口(17)，進氣接口(15)與單晶爐連接，出氣接口(10)與真空栗連接。2.如權利要求1所述的一種單晶硅生長爐真空尾氣自動除塵裝置，其特征在于:所述磁性聯軸器(5)與主罐體上蓋(2)之間通過密封圈連接，磁性聯軸器(5)內部為非接觸式連接，有效防止自動除塵裝置真空泄漏。3.如權利要求1所述的一種單晶硅生長爐真空尾氣自動除塵裝置，其特征在于:所述毛刷固定架(20)結構呈三等分均勻分開，3個毛刷(19)分別安裝在毛刷固定架(20)上，毛刷(19)的位置前后上下可做調整。4.如權利要求1所述的一種單晶硅生長爐真空尾氣自動除塵裝置，其特征在于:所述波紋管(14)直接通入濾芯(18)內部，通過脈沖閥控制(12)不間斷放氣噴吹。5.如權利要求1所述的一種單晶硅生長爐真空尾氣自動除塵裝置，其特征在于:所述主罐體(I)設有粉塵清理出口(9)，該出口位于主罐體(I)下端，數量至少為兩個。6.如權利要求1所述的一種單晶硅生長爐真空尾氣自動除塵裝置，其特征在于:所述主罐體(I)設有觀察窗口( 6 )，該窗口位于主罐體(I)中部和下部，4個均勻相對交錯分布，觀察窗口(8)的數量為4個。7.如權利要求1所述的一種單晶硅生長爐真空尾氣自動除塵裝置，其特征在于:所述進出口管道組件設有備用應急出口( 17)，備用應急出口( 17)可與備用自動清灰除塵罐，所述進出口管道組件中打開相應的截止閥(16)，單晶爐可直接與真空栗連接。
【專利摘要】本發明公開了一種單晶硅生長爐真空尾氣自動除塵裝置，組成包括主罐體、主罐體上蓋、毛刷固定架、毛刷、絲桿升降器、進出口管道組件、儲氣罐；所述過濾罐內含有濾芯、毛刷，主罐體上蓋設有毛刷旋轉機構；所述上蓋提升機構，包含絲桿升降器、提升架。主罐體與絲桿升降器連接，絲桿升降器與提升架連接，提升架與主罐體上蓋連接；所述儲氣罐與脈沖閥連接，脈沖閥與主罐體之間通過波紋管連接；所述進出口管道組件中出氣接口與真空泵連接，應急接口與備用的自動清灰除塵罐連接。爐內的毛刷做間歇旋轉運動，清理濾芯表面粉塵。又用儲氣罐內的氣體噴吹除塵罐內的濾芯。毛刷和噴氣清理同時進行，清理徹底，效率高，清理操作的自動化程度高，操作方便，使用安全。
【IPC分類】B01D46/00, C30B15/30, B01D46/42, C30B29/06
【公開號】CN105056646
【申請號】CN201510448267
【發明人】侯繼偉
【申請人】侯繼偉
【公開日】2015年11月18日
【申請日】2015年7月28日