一種多晶硅切割液沉降裝置制造方法
【專利摘要】本實用新型提供一種多晶硅切割液沉降裝置，包括與切割機機床排水口連接的沉降箱，在沉降箱一端頂部設有切割液進液管，另一端側壁上設有排水口，所述排水口的位置處設有濾網，沉降箱內豎直設置兩塊平行擋板將沉降箱隔成依次相鄰的一級沉降室、二級沉降室和三級沉降室，所述擋板上端與沉降箱頂部之間設置有濾網，所述一級沉降室與二級沉降室之間的濾網為一級濾網，二級沉降室與三級沉降室之間的濾網為二級濾網，所述排水口位置處的濾網為三級濾網，所述切割液進液管傾斜伸入到一級沉降室內，所述切割液進液管的管口低于擋板上端邊緣。該結構避免了多晶硅切割液在長長的管道中沉積堵塞管道的問題，同時除去切割液中懸浮物，使切割液可以直接排放。
【專利說明】一種多晶硅切割液沉降裝置
【技術領域】
[0001]本實用新型涉及多晶硅生產領域，特別涉及一種多晶硅切割液沉降裝置。
【背景技術】
[0002]多晶硅，具有半導體性質，是極為重要的優良半導體材料，電子工業中廣泛用于制造半導體收音機、錄音機、電冰箱、彩電、錄像機、電子計算機等的基礎材料，是生產單晶娃的直接原料，是當代人工智能、自動控制、信息處理、光電轉換等半導體器件的電子信息基礎材料。在太陽能利用上，單晶硅和多晶硅也發揮著巨大的作用，國際上多晶硅生產主要的傳統工藝有:改良西門子法、硅烷法和流化床法。目前被廣泛采用的德國西門子公司于1954年發明的多晶硅制造方法(也稱為西門子法):采用高純三氯氫硅和高純氫氣按照一定的配比混合在一起構成原料混合氣體，通入還原反應器中，在加熱的高純娃芯上不斷沉積，使硅芯的直徑逐漸變粗而形成多晶硅棒。
[0003]西門子法中運用到的硅芯主要是依靠硅芯爐拉制而成，而硅芯要配對后兩根一組裝夾于還原爐中，必須對其進行加工處理，如在大頭處開U型丫口，根部磨錐等；另外拉制硅芯需要硅芯母料，硅芯母料由硅棒切割而成。在此加工整形過程中會產生大量的多晶硅切割液，這部分切割液包含大量的粉塵和懸浮物，現有技術中是將切割液在經排污管道排放至大型沉降池沉降，粉塵經過沉降沉在池底，上層液體則通過凈化處理后排放。上述切割液的處理過程中存在以下問題，一方面，切割液在管道中輸送過程中，切割液中粉塵會在排污管中逐漸沉降，隨著時間的推移越積越多，最終堵塞管道，而這些固體粉塵沉降導致的管道堵塞進行通堵難度極大，這是因為硅粉沉降在管道內的吸附力很大，采用螺旋鋼絲旋轉通堵很難徹底疏通，隔I個月左右又會堵塞。為了徹底疏通，需要截斷管道，從斷面清洗管道內部，這樣能保證I年左右的暢通時間，因此這樣也不如人意；管道堵塞排污不暢又會導致生產不能連續運行。另一方面，沉降池體積較大，所以在打撈清理期間需要停產2天，需要先將沉降池里的采用排污泵抽排后轉入廢水處理，排污泵在抽排過程中消耗大量的能量，水排出后就需要安排大量的人力物力對沉降池進行打撈清理，然后人工打撈沉降的固體污泥并將污泥裝袋轉運。可見將切割液排入沉降池沉降，不但容易堵塞輸送管道，造成通堵困難，而且沉降池的打撈耗時耗力，增加了生產成本。
實用新型內容
[0004]本實用新型的目的在于提供一種多晶硅切割液沉降裝置，該多晶硅切割液沉降裝置避免了切割液長距離輸送過程中造成的管道堵塞問題，通過該沉降裝置沉降后的水可以直接排放，不污染環境。
[0005]為解決上述技術問題，本實用新型通過以下技術方案實現:
[0006]一種多晶硅切割液沉降裝置，包括與切割機機床排水口連接的沉降箱，所述沉降箱一端的頂部設有切割液進液管，另一端的側壁上設有排水口，所述排水口的位置處設有濾網，所述沉降箱內豎直設置兩塊平行擋板將沉降箱隔成依次相鄰的一級沉降室、二級沉降室和三級沉降室，所述擋板上端與沉降箱的頂部之間設置有濾網，所述一級沉降室與二級沉降室之間的濾網為一級濾網，二級沉降室與三級沉降室之間的濾網為二級濾網，所述排水口的位置處的濾網為三級濾網，所述切割液進液管傾斜伸入到一級沉降室內，所述伸入到一級沉降室的切割液進液管的管口低于擋板上端邊緣。
[0007]所述沉降室的底部設置有籃子，所述籃子與沉降室活動連接，所述籃子里設置有蓬松的鋼絲球。蓬松鋼絲球是市面上出售的鋼絲球拉扯蓬松使用。
[0008]所述二級沉降室與三級沉降室之間的隔板的高度低于一級沉降室與二級沉降室之間的隔板高度30cm。
[0009]所述一級濾網為80目濾網。
[0010]所述二級濾網為120目濾網。
[0011]所述三級濾網為200目濾網。
[0012]有益效果:
[0013]1、本實用新型通過沉降箱沉降切割液，通過三個依次相鄰的沉降室沉降切割液中的粉塵，同時液體中的懸浮物隨液體從擋板上方的濾網和排水口出的濾網的三重沉降處理，與現有技術相比，能一次就除去了切割液中的粉塵和懸浮物，沉降后的液體無需再經過轉入廢水處理，可以直接排放到外界。減少了切割液沉降工藝，采用沉降箱，因沉降箱體積小，放在距離切割機床較近，輸送管道短，因此在切割液進入沉降箱的過程中不會堵塞管道，解決了現有技術中管道堵塞通堵困難的問題。采用沉降箱沉降，可以快速清理箱底的粉塵，無需停產，更不需要排污泵排水，節省了人力，物力，降低了能耗。所述沉降箱一端的頂部設有切割液進液管，切割液進液管傾斜伸入到一級沉降室內，所述伸入到一級沉降室的切割液進液管的管口低于擋板上端邊緣，切割液流入沉降箱自動形成漩渦，粉塵在漩渦產生的離心力條件下加速了沉降的速率，使濾網不會被很快的堵塞，保證切割液連續，穩定，有效的沉降處理。
[0014]2、本實用新型在沉降室的底部設置有籃子，并在籃子里設置蓬松的鋼絲球，粉塵沉降到沉降室底部的時候，很大一部分粉塵附著到了鋼絲球上，能防止已經沉降的粉塵再次沉降室翻騰堵塞濾網，籃子與沉降室是活動連接，在需要清理沉降室里的沉降物時，只要將沉降室里的籃子取出，大部分的粉塵因為附著在籃子里的蓬松鋼絲球上被取出，這樣使得清理沉降箱粉塵被快速，輕松的被清理出來。
[0015]3、本實用新型采用一級濾網為80目濾網過濾掉切割液中0.18mm以上的顆粒，二級濾網為120目濾網過濾0.12mm以上的微粒，三級濾網為200目濾網0.075mm以上的微粒。設置這樣的三重濾網過濾，三層濾網相互配合，不會出現因為各級濾網目數太大使得濾網經常堵塞的問題，也不會出現因為濾網目數太小使得一些懸浮物過濾不完整問題，提高了多晶硅切割液的沉降效率，而且從沉降箱排水口出來的水達到排放要求，懸浮物低于國家排放標準100mg/L，可以排放至雨水溝，不需要像現有技術中那樣子需要再次經過廢水處理工藝。
【專利附圖】
【附圖說明】
[0016]圖1為本實用新型結構示意圖。
[0017]圖2為本實用新型一級或二級沉降室結構示意圖。
[0018]I沉降箱、2切割機機床排水口、3切割液進液管、4 一級濾網、5 二級濾網、6三級濾網、7 —級沉降室、8、二級沉降室、9擋板、10三級沉降室、11沉降箱排水口、12蓬松鋼絲球、13籃子。
【具體實施方式】
[0019]下面結合【具體實施方式】說明本實用新型。
[0020]實施例1
[0021]如圖1所示，一種多晶硅切割液沉降裝置，包括與切割機機床排水口 2連接的沉降箱1，所述沉降箱I 一端的頂部設有切割液進液管3，另一端的側壁上設有排水口 11，所述排水口 11的位置處設有濾網4，所述沉降箱I內豎直設置兩塊平行擋板7將沉降箱I隔成依次相鄰的一級沉降室7、二級沉降室8和三級沉降室10，所述兩塊板7上端與沉降箱的頂部之間設置有濾網，所述一級沉降室與二級沉降室之間的濾網為一級濾網4，二級沉降室8與三級沉降室10之間的濾網為二級濾網5，所述排水口 11的位置處的濾網為三級濾網6，所述切割液進液管3傾斜伸入到一級沉降室內7，所述伸入到一級沉降室7的切割液進液管3的管口低于擋板9上端邊緣。操作時，切割液從切割機機床排水口 2排出，通過沉降箱I的切割液進液管3進入一級沉降室7，大量的粉塵在一級沉降室7沉降，當切割液的液位高度超過擋板9的高度時，切割液通過濾網進入二級沉降室8，切割液中的懸浮物被一級濾網過濾，這樣切割液就經過了一次沉降和過濾，再依次經過二級沉降室8和二級濾網5、三級沉降室10和三級濾網6的沉降和過濾，這樣不但能連續有效的進行沉降，而且能將切割液中的粉塵和懸浮物都分離出去。
[0022]本實用新型的沉降箱能與各種切割機連接，實現切割液的沉降，切割機主要有圓盤鋸切割機，套料機、磨錐機、開丫機等。
[0023]實施例2
[0024]一種多晶硅切割液沉降裝置，包括與切割機機床排水口 2連接的沉降箱1，所述沉降箱I 一端的頂部設有切割液進液管3，另一端的側壁上設有排水口 11，所述排水口 11的位置處設有濾網4，所述沉降箱I內豎直設置兩塊平行擋板7將沉降箱I隔成依次相鄰的一級沉降室7、二級沉降室8和三級沉降室10，所述兩塊板7上端與沉降箱的頂部之間設置有濾網，所述一級沉降室與二級沉降室之間的濾網為一級濾網4，二級沉降室8與三級沉降室10之間的濾網為二級濾網5，所述排水口 11的位置處的濾網為三級濾網6，所述切割液進液管3傾斜伸入到一級沉降室內7，所述伸入到一級沉降室7的切割液進液管3的管口低于擋板9上端邊緣。所述沉降室的底部設置有籃子，所述籃子與沉降室活動連接，所述籃子里設置有蓬松的鋼絲球。如圖2所示，本實施例以一級沉降室為例，在一級沉降室7的底部設有籃子13，籃子13可以是竹籃、金屬藍，塑料藍等，籃子13和一級沉降室7活動連接，這樣籃子13可以從一級沉降室7里取出，籃子13里面設有若干的蓬松鋼絲球12，當要清除一級沉降室底部的沉降物時，因為沉降物附著在蓬松的鋼絲球上，這樣取出裝蓬松鋼絲球籃子13的同時，就把沉降物從沉降室取出。
[0025]實施例3
[0026]一種多晶硅切割液沉降裝置，包括與切割機機床排水口 2連接的沉降箱1，所述沉降箱I 一端的頂部設有切割液進液管3，另一端的側壁上設有排水口 11，所述排水口 11的位置處設有濾網4，所述沉降箱I內豎直設置兩塊平行擋板7將沉降箱I隔成依次相鄰的一級沉降室7、二級沉降室8和三級沉降室10，所述兩塊板7上端與沉降箱的頂部之間設置有濾網，所述一級沉降室與二級沉降室之間的濾網為一級濾網4，二級沉降室8與三級沉降室10之間的濾網為二級濾網5，所述排水口 11的位置處的濾網為三級濾網6，所述切割液進液管3傾斜伸入到一級沉降室內7，所述伸入到一級沉降室7的切割液進液管3的管口低于擋板9上端邊緣。所述二級沉降室8與三級沉降室10之間的隔板高度低于一級沉降室7與二級沉降室8之間的隔板的高度30cm。在經過一級沉降室7的沉降，大量的粉塵和懸浮物本沉降和過濾留在了一級沉降室，本實用新型的二級沉降室8與三級沉降室10之間的隔板9高度低于一級沉降室與二級沉降室之間的隔板高度30cm，這種結構不但增大了二級沉降室8流入三級沉降池10的流量，保證沉降速度同時，濾網也不會很快被堵塞，有效提高了沉降效果。
[0027]實施4
[0028]一種多晶硅切割液沉降裝置，包括與切割機機床排水口 2連接的沉降箱1，所述沉降箱I 一端的頂部設有切割液進液管3，另一端的側壁上設有排水口 11，所述排水口 11的位置處設有濾網4，所述沉降箱I內豎直設置兩塊平行擋板7將沉降箱I隔成依次相鄰的一級沉降室7、二級沉降室8和三級沉降室10，所述兩塊板7上端與沉降箱的頂部之間設置有濾網，所述一級沉降室與二級沉降室之間的濾網為一級濾網4，二級沉降室8與三級沉降室10之間的濾網為二級濾網5，所述排水口 11的位置處的濾網為三級濾網6，所述切割液進液管3傾斜伸入到一級沉降室內7，所述伸入到一級沉降室7的切割液進液管3的管口低于擋板9上端邊緣。所述一級濾網4為80目濾網。所述二級濾網5為120目濾網。所述三級濾網6為200目濾網。根據濾網的使用情況，可用水管從反方向沖刷濾網來清理各級濾網上的懸浮物等。
【權利要求】
1.一種多晶硅切割液沉降裝置，其特征在于:包括與切割機機床排水口(2)連接的沉降箱(1),所述沉降箱(1) 一端的頂部設有切割液進液管(3),另一端的側壁上設有沉降箱排水口( 11)，所述沉降箱排水口( 11)的位置處設有濾網，所述沉降箱內豎直設置兩塊平行擋板(9)將沉降箱隔成依次相鄰的一級沉降室(了)、二級沉降室(8)和三級沉降室(10),所述擋板(9)上端與沉降箱1的頂部之間設置有濾網，所述一級沉降室(7)與二級沉降室(8 )之間的濾網為一級濾網(4)，二級沉降室(8 )與三級沉降室(10 )之間的濾網為二級濾網(5),所述排水口(11)位置處的濾網為三級濾網(6),所述切割液進液管(3)傾斜伸入到一級沉降室(7)內，所述伸入到一級沉降室(7)內的切割液進液管(3)的管口低于擋板(9)上端邊緣。
2.根據權利要求1所述的一種多晶硅切割液沉降裝置，其特征在于:所述沉降室的底部設置有籃子(13),所述籃子(13)與沉降室活動連接，所述籃子(13)內設置有蓬松的鋼絲球(⑵。
3.根據權利要求1所述的一種多晶硅切割液沉降裝置，其特征在于:所述二級沉降室(8)與三級沉降室(10)之間的隔板的高度低于一級沉降室(7)與二級沉降室(8)之間的隔板的高度30。！！！。
4.根據權利要求1所述的一種多晶硅切割液沉降裝置，其特征在于:所述一級濾網(4)為80目濾網。
5.根據權利要求1所述的一種多晶硅切割液沉降裝置，其特征在于:所述二級濾網(5)為120目濾網。
6.根據權利要求1所述的一種多晶硅切割液沉降裝置，其特征在于:所述三級濾網(6)為200目濾網。
【文檔編號】B01D36/04GK204193658SQ201420439920
【公開日】2015年3月11日 申請日期:2014年8月6日 優先權日:2014年8月6日
【發明者】陳彬, 甘居富, 李斌 申請人:四川永祥多晶硅有限公司