一種研磨機研磨液攪拌桶的制作方法
【專利摘要】本實用新型涉及一種研磨機研磨液攪拌桶,所述研磨液攪拌桶上固有攪拌桶蓋,并在攪拌桶蓋上安裝有支撐桿、攪拌電機與泵浦安裝板;此支撐桿頂部安裝有氣缸安裝座并在氣缸安裝座上安裝氣缸,氣缸下部的活塞桿與支撐桿中部安裝的滑塊座連接,滑塊座上安裝有相配合使用的滑塊,滑塊座與泵浦安裝板通過連接桿連接,泵浦安裝板上安裝有泵浦;所述攪拌電機下部安裝有攪拌桿。本實用新型的有益效果為:通過將泵浦做成上下可調式,當研磨機器開始工作時,泵浦插入研磨液攪拌桶進行工作,當研磨機器停止工作時泵浦通過氣缸將其提出研磨液攪拌桶,不僅能延長泵浦的壽命,而且能夠降低泵浦的腐蝕磨損給研磨液帶來的二次污染。
【專利說明】一種研磨機研磨液攪拌桶
【技術領域】
[0001 ] 本實用新型涉及一種研磨機研磨液攪拌桶。
【背景技術】
[0002]藍寶石(AL203)為六方對稱結構,它作為最硬的氧化物晶體,具備優良的光化學和物理性能。機械強度高,耐化學腐蝕,有較好的導熱性、熱穩定性,透光波段寬,是理想的窗口襯底基本材料,另外,它具有電絕緣性,化學性能穩定,漏電容和寄生電容小,是極好的半導體、超導襯底材料。
[0003]作為襯底用的藍寶石晶體基片一般為2英寸,4英寸等。用作半導體襯底的光學藍寶石晶體基片對其表面有很高的要求,包括平面度,平行度達到0.005mm,光潔度達到
0.5nm。
[0004]現有的研磨機原理是將藍寶石平面研磨利用自由散粒磨料碳化硼在工件被加工面及磨盤基面上相對運動,使工件表面獲得非常高的平整度及光滑度的技術。在實際磨拋過程中,工件固定無需強夾、真空、磁鐵,只是自然地放置在磨盤上,因此,減少的了沖擊及發熱產生的次生變形,更用利于高精度和高光潔度的加工。即使一個沒有經驗的操作員也可以輕易獲得最佳0.2um的平面度及Ra0.02um粗糙度。磨削液是碳化硼水溶液,加上些許防銹液,碳化硼比較昂貴,研磨過程一直需要均勻的添加研磨液,因此需要研磨液捅回收研磨液,并利用泵浦對磨盤添加穩定流量的研磨液。
[0005]現存在的主要缺點是碳化硼比較容易沉淀,因此需要長時間攪拌,即使是機器不工作也要攪拌,在機器停止工作時,泵浦也停止工作了。這樣泵浦長時間與流動的碳化硼會有磨損,降低泵浦的壽命。
實用新型內容
[0006]針對上述問題中存在的不足之處,本實用新型提供一種研磨機研磨液攪拌桶。
[0007]為實現上述目的,本實用新型提供一種研磨機研磨液攪拌桶,所述研磨液攪拌桶上固有攪拌桶蓋,并在攪拌桶蓋上安裝有支撐桿、攪拌電機與泵浦安裝板;此支撐桿頂部安裝有氣缸安裝座并在氣缸安裝座上安裝氣缸,氣缸下部的活塞桿與支撐桿中部安裝的滑塊座連接,滑塊座上安裝有相配合使用的滑塊,滑塊座與泵浦安裝板通過連接桿連接,泵浦安裝板上安裝有泵浦;所述攪拌電機下部安裝有攪拌桿。
[0008]進一步的,所述支撐桿與氣缸安裝座通過螺紋連接。
[0009]優選的,所述連接桿與泵浦安裝板、滑塊座為焊接或螺紋連接。
[0010]進一步的,所述攪拌桶蓋上開有與泵浦、攪拌桿相配合的圓孔。
[0011]本實用新型的有益效果為:通過將泵浦做成上下可調式,當研磨機器開始工作時,泵浦插入研磨液攪拌桶進行工作,當研磨機器停止工作時泵浦通過氣缸將其提出研磨液攪拌桶,不僅能延長泵浦的壽命,而且能夠降低泵浦的腐蝕磨損給研磨液帶來的二次污染。【專利附圖】
【附圖說明】
[0012]圖1為本實用新型一種研磨機研磨液攪拌桶的結構示意圖。
[0013]圖中:1、氣缸安裝座;2、支撐桿;3、滑塊座;4、滑塊;5、連接桿;6、泵浦;7、攪拌桶蓋;8、泵浦安裝板;9、氣缸;10、攪拌電機;11、攪拌桿。
【具體實施方式】
[0014]如圖1所示,本實用新型實施例所述的一種研磨機研磨液攪拌桶,所述研磨液攪拌桶12上固有攪拌桶蓋7,并在攪拌桶蓋7上安裝有支撐桿2、攪拌電機10與泵浦安裝板8 ;此支撐桿2頂部安裝有氣缸安裝座I并在氣缸安裝座I上安裝有氣缸9,氣缸9下部的活塞桿與支撐桿2中部安裝的滑塊座3連接,滑塊座3上安裝有相配合使用的滑塊4,滑塊座3與泵浦安裝板8通過連接桿5連接,泵浦安裝板8上安裝有泵浦6 ;所述攪拌電機10下部安裝有攪拌桿11。通過將泵浦做成上下可調式,當研磨機器開始工作時,泵浦插入研磨液攪拌桶進行工作,當研磨機器停止工作時泵浦通過氣缸將其提出研磨液攪拌桶,不僅能延長泵浦的壽命,而且能夠降低泵浦的腐蝕磨損給研磨液帶來的二次污染。
[0015]所述支撐桿2與氣缸安裝座I通過螺紋連接。支撐桿與氣缸安裝座也可以通過鉚釘、螺栓或焊接連接,優選螺紋連接其拆卸方便。
[0016]所述連接桿5與泵浦安裝板8、滑塊座3為焊接或螺紋連接。通過使用連接桿將泵浦安裝板與滑塊座連接可將停止工作時的泵浦通過氣缸將其提出研磨液攪拌桶,不僅能延長泵浦的壽命,而且能夠降低泵浦的腐蝕磨損給研磨液帶來的二次污染。
[0017]所述攪拌桶蓋7上開有與泵浦6、攪拌桿11相配合的圓孔。在攪拌桶蓋上開有圓孔方便泵浦與攪拌桿提出。
[0018]具體使用時:氣缸9固定在氣缸安裝座I上,氣缸安裝座I與支撐桿2螺紋連接,支撐桿2連接到攪拌桶蓋7上,攪拌桶蓋7固定在研磨液攪拌桶12上,支撐桿2裝有滑塊4,滑塊4安裝在滑塊座3上,滑塊座3與泵浦安裝板8通過連接桿5連接在一起。泵浦6安裝在泵浦安裝板8上,攪拌電機10安裝在攪拌桶蓋7上,攪拌電機10與攪拌桿11固接,并帶動其實行對磨削液的攪拌。
[0019]當機器暫停工作時,氣缸I下部的活塞桿上升后,帶動滑塊座3向上運動,因滑塊座3與泵浦安裝板8通過連接桿5連接在一起的,因此泵浦安裝板8 一起向上運動,這樣泵浦6就可以上升至研磨液攪拌桶12以外。當機器工作時氣缸活塞桿下降,同原理使得泵浦6插入研磨液攪拌桶12以內進行研磨液輸送。
[0020]惟以上所述者,僅為本實用新型的較佳實施例而已,舉凡熟悉此項技藝的專業人士。在了解本實用新型的技術手段之后,自然能依據實際的需要,在本實用新型的教導下加以變化。因此凡依本實用新型申請專利范圍所作的同等變化與修飾,曾應仍屬本實用新型專利涵蓋的范圍內。
【權利要求】
1.一種研磨機研磨液攪拌桶,其特征在于:所述研磨液攪拌桶(12)上固有攪拌桶蓋(7),并在攪拌桶蓋(7)上安裝有支撐桿(2)、攪拌電機(10)與泵浦安裝板(8);此支撐桿(2)頂部安裝有氣缸安裝座(I)并在氣缸安裝座(I)上安裝有氣缸(9),氣缸(9)下部的活塞桿與支撐桿(2 )中部安裝的滑塊座(3 )連接,滑塊座(3 )上安裝有相配合使用的滑塊(4 ),滑塊座(3 )與泵浦安裝板(8 )通過連接桿(5 )連接,泵浦安裝板(8 )上安裝有泵浦(6 );所述攪拌電機(10 )下部安裝有攪拌桿(11)。
2.根據權利要求1所述的研磨機研磨液攪拌桶,其特征在于:所述支撐桿(2)與氣缸安裝座(I)通過螺紋連接。
3.根據權利要求1所述的研磨機研磨液攪拌桶,其特征在于:所述連接桿(5)與泵浦安裝板(8)、滑塊座(3)為焊接或螺紋連接。
4.根據權利要求1所述的研磨機研磨液攪拌桶,其特征在于:所述攪拌桶蓋(7)上開有與泵浦(6)、攪拌桿(11)相配合的圓孔。
【文檔編號】B01F7/18GK203663755SQ201420002567
【公開日】2014年6月25日 申請日期:2014年1月3日 優先權日:2014年1月3日
【發明者】岳偉, 陳志嵩, 殷華林, 戴安娜, 伊蓮娟, 毛可勇, 李海寧 申請人:常州貝斯塔德機械科技有限公司